JPWO2007055154A1 - 電子銃、電子ビーム露光装置及び露光方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に、本実施形態に係る電子ビーム露光装置の構成図を示す。
図2に、電子銃101の構成図を示す。本実施形態において、電子銃101は熱電界放射型を使用する。電子銃101は、電子源20と、引出電極21と、電子源20の両側に配されたカーボン製の電子源加熱用発熱体22と、電子源20と電子源加熱用発熱体22とを支持する支持具23と、支持具23を支持して囲んでいるサプレッサー電極24とを有している。電子源は、例えば単結晶のLaB6またはCeB6を用いる。
以下に、本実施形態で使用する電子源20の構成について説明する。
次に、本実施形態の電子銃を使用した露光装置の露光方法について説明する。
次に、上記の電子放出を制限する領域を電子源20に形成する方法について説明する。
以上説明したように、本実施形態では、電子源20のチップの先端部のみを露出させ、その他の側面部分は異種物質でカバーしている。例えば、電子源20をLaB6とした場合、この異種物質として例えばカーボンを使用する。
Claims (16)
- 電子を放出する電子源を有する電子銃において、
前記電子源は、電子を放出する電子放出領域と電子放出を制限する電子放出制限領域を有し、
前記電子放出制限領域は、前記電子源の先端部の電子放出面以外の該電子源の側面であって、前記電子源とは異なる物質で覆われ、
前記電子源の材料の昇華が発生しない程度の低い温度に保ちながら前記先端部に電界を印加して熱電界放射電子を放出させることを特徴とする電子銃。 - 前記電子源の材料は六ホウ化ランタン(LaB6)又は六ホウ化セリウム(CeB6)であることを特徴とする請求項1に記載の電子銃。
- 前記電子放出制限領域は、カーボンで覆われていることを特徴とする請求項1又は2に記載の電子銃。
- 前記温度は、1100℃から1300℃であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の電子銃。
- 前記先端部は、直径が1μmから200μmの平坦部分を有することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の電子銃。
- 前記電子源の先端部は略円錐形であり、円錐角が50度以下であることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の電子銃。
- 前記電子放出制限領域は、前記電子放出面と通電加熱のためのカーボンチップで挟まれる部分を除いた、前記電子源の側面及び裏面を含む領域であることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の電子銃。
- 請求項1から7のいずれか一項に記載の電子銃を有することを特徴とする電子ビーム露光装置。
- 電子を放出する電子源と、
前記電子源の電子放出面から所定の距離に配置されて電子を引出す引出し電極と、
前記引出し電極及び前記電子放出面の上方に配置されて前記電子源の側面からの電子放出を抑制するサプレッサー電極と、
前記引出し電極の下方に配置されて前記電子を加速する加速電極と
を有する電子銃において、
前記電子源の先端部の電子放出面以外の電子源の側面は前記電子源と異なる物質で覆われ、
前記電子源の材料の昇華が発生しない程度の低い温度に保ちながら前記先端部に電界を印加して熱電界放射電子を放出させることを特徴とする電子銃。 - 前記電子源の材料は六ホウ化ランタン(LaB6)又は六ホウ化セリウム(CeB6)であることを特徴とする請求項9に記載の電子銃。
- 前記異なる物質は、カーボンであることを特徴とする請求項9又は10に記載の電子銃。
- 前記温度は、1100℃から1300℃であることを特徴とする請求項9から11のいずれか一項に記載の電子銃。
- 前記引出し電極は、前記電子放出面から2mm以下の距離に設置されることを特徴とする請求項9から12のいずれか一項に記載の電子銃。
- 前記引出し電極と前記加速電極との間に、静電レンズ電極が設置されることを特徴とする請求項9から13のいずれか一項に記載の電子銃。
- 請求項9から14のいずれか一項に記載の電子銃を有することを特徴とする電子ビーム露光装置。
- 電子を放出する電子源と、前記電子源の電子放出面から所定の距離に設置されて電子を引出す引出し電極と、前記引出し電極及び前記電子放出面の上方に配置されて前記電子源の側面からの電子放出を抑制するサプレッサー電極と、前記引出し電極の下方に配置されて前記電子を加速する加速電極とを有する電子銃により、前記電子源の材料の昇華が発生しない程度の低い温度に保ちながら前記電子源の先端部に電界を印加して熱電界放射電子を放出させて試料を露光する露光方法において、
所定の時間、前記引出し電極の電位が前記電子源の先端部の電位よりも低くなるように電圧を印加した後、
前記引出し電極の電位が前記電子源の先端部の電位よりも高くなるように電圧を印加して露光を行うことを特徴とする露光方法。
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