JP2005228741A - 高輝度熱陰極 - Google Patents
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Abstract
【解決方法】この発明による改良型の熱陰極は、外側表面に炭素被膜を施した円錐状部と、例えば60度以下の比較的小さい円錐角とを備え、放出電子ビームの角度強度および輝度が大きく、寿命が長い。
【選択図】 図5A
Description
R. Davisほか著の論文参照)。すなわち、円錐が尖っているほど寿命は短い。陰極端部半径の減少ΔRfは円錐角2αおよび蒸発率ΔRvによって定まり、式1,すなわち、
[式1] ΔRf=ΔRv*(1/cosα−tanα)
で与えられる。真空度1×10−7Torr.の中の高品質LaB6結晶の場合は、ΔRvは0.04μm/時である。したがって、ΔFを陰極端部半径の所与の許容可能な喪失値とすると、陰極蒸発により短縮された結果の陰極寿命T(時間)の推算値は、式2,すなわち、
[式2] T=ΔF/ΔRv*(1/cosα−tanα)時間
で与えられる。
Chigaco (1984年)第163−170頁参照)。これらの電子は開口絞りで遮断する必要があり、そのために電子ビームカラムの構成および熱放散の管理が複雑になり、高電圧破壊を生ずることもあり得る。また、これら円錐状部表面からの放出電子は大域的空間電荷効果および確率的空間電荷効果の両方を悪化させ(J.
Orloff編 "Handbook of Changed Particle
Optics," CRC New York (1997年)第275−318頁参照)、そのためにビーム集束の質、ビームスポットサイズ最小値、並びに角度強度および輝度最大値について妥協が避けられなくなる。
Physics of Carbon」Marcel Dekker Inc. 1969年刊所載)に記載された手法など周知の手法を採用できる。炭素被膜の厚さは通常2μm乃至20μmとするが、LaB6表面の微小凹凸の初期値や採用した炭素被膜形成方法などに応じて好ましくは5μm乃至10μmとする。炭素被膜にはピンホールが生じないようにしなければならない。概括的にいうと、炭素被膜の厚さはLaB6の表面の微小凹凸の大きさの少なくとも2倍以上でなければならない。この厚さの条件は、採用した炭素被膜形成方法にも左右される。被膜が厚すぎると応力がかかって亀裂を生ずるので、厚すぎないように注意する必要がある。ピンホールなしの被膜の形成に必要な膜厚の最小値/最大値は被膜形成方法により異なる(「Vacuum
Technology and Coating Magazine」誌2004年1月号第6−12頁所載のD. Madox著の記事参照)。炭素被膜12の厚さは表面13全体にわたりほぼ均一とし、厚さの変動は所定の厚さの10%以内とする。炭素被膜は陰極の電界に直接に露出するので、厚さの不均一性はその電界に歪みを与え、陰極の電子光学的品質を損なう。
F. Vogel著の論文参照)、同軸ヒータの場合は円筒状にする必要がある(「Journal of Applied Physics」誌第53巻第3号(1982年3月号)所載のF.
Holn著の論文参照)。
of Applied Physics」誌第53巻第3号(1982年)第1283−1296頁所載のF. Hohn著の論文の記載してある。
12 炭素被膜
13 テーパ部表面
14 円錐状部
15 結晶質陰極本体
20 結晶質電子放出部
21 円錐状部
22 炭素被膜
30 支持部材
31 電子放出部ヒータ
Claims (25)
- 熱陰極であって、
端面および円錐状部を備える結晶質の電子放出部と、
前記円錐状部の外側表面に設けた炭素被膜と
を含む熱陰極。 - 前記結晶質の電子放出部が六ホウ化ランタン(LaB6)単結晶から成る請求項1記載の熱陰極。
- 前記円錐状部が20度乃至60度の範囲の円錐角を有する請求項1記載の熱陰極。
- 前記炭素被膜が、熱分解炭素およびダイアモンド様炭素(DLC)から成る群から選んだ炭素で形成されている請求項1記載の熱陰極。
- 前記円錐状部の外側表面が微小凹凸を有し、前記炭素被膜の厚さがその微小凹凸の大きさの少なくとも2倍である請求項1記載の熱陰極。
- 前記炭素被膜の厚さが2μm乃至20μmである請求項5記載の熱陰極。
- 端面および円錐状部を備える結晶質の電子放出部を有する熱陰極の改良であって、
前記円錐状部の外側表面に設けた炭素被膜
を含む改良。 - 前記結晶質の電子放出部が六ホウ化ランタン(LaB6)単結晶で構成されている請求項7記載の改良。
- 前記円錐状部の円錐角が20度乃至60度である請求項7記載の改良。
- 前記炭素被膜が、熱分解炭素およびダイアモンド様炭素(DLC)から成る群から選んだ炭素で形成されている請求項7記載の改良。
- 前記円錐状部の外側表面が微小凹凸を有し、前記炭素被膜の厚さがその微小凹凸の大きさの少なくとも2倍である請求項7記載の改良。
- 前記炭素被膜の厚さが2μm乃至20μmである請求項11記載の改良。
- 電子放出装置であって、
端面および円錐状部分を備える結晶質の電子放出部と、前記円錐状部分の表面に設けた炭素被膜とを有する熱陰極と、
電子放出部ヒータと、
前記結晶質の電子放出部の支持部材と
を含む電子放出装置。 - 前記結晶質の電子放出部が六ホウ化ランタン(LaB6)単結晶から成る請求項13記載の電子放出装置。
- 前記円錐状部が20度乃至60度の範囲の円錐角を有する請求項13記載の電子放出装置。
- 前記炭素被膜が、熱分解炭素およびダイアモンド様炭素(DLC)から成る群から選んだ炭素で形成されている請求項13記載の電子放出装置。
- 前記円錐状部の外側表面が微小凹凸を有し、前記炭素被膜の厚さがその微小凹凸の大きさの少なくとも2倍である請求項13記載の電子放出装置。
- 前記炭素被膜の厚さが2μm乃至20μmである請求項17記載の電子放出装置。
- 熱陰極用の結晶質電子放出部を製造する方法であって、
前記結晶質電子放出部の円錐状部の外側表面に炭素被膜を設ける過程
を含む方法。 - 前記炭素被膜がピンホールなしの被膜である請求項19記載の方法。
- 前記結晶質の電子放出部が六ホウ化ランタン(LaB6)単結晶から成る請求項19記載の方法。
- 前記円錐状部が20度乃至60度の範囲の円錐角を有する請求項19記載の方法。
- 前記炭素被膜が、熱分解炭素およびダイアモンド様炭素(DLC)から成る群から選んだ炭素で形成されている請求項19記載の方法。
- 前記円錐状部の外側表面が微小凹凸を有し、前記炭素被膜の厚さがその微小凹凸の大きさの少なくとも2倍である請求項19記載の方法。
- 前記炭素被膜の厚さが2μm乃至20μmである請求項24記載の方法。
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