JP2005063857A - 荷電粒子放射源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】荷電粒子放射能を有する物質と、碍子と、前記荷電粒子放射能を有する物質を把持し前記碍子に固定するための一対の支柱と、前記支柱を介して前記荷電粒子放射能を有する物質に電流を供給するための一対の端子とからなる構造体において、支柱と端子とが金属線又は金属箔を介して電気的に接合されていることを特徴とする荷電粒子放射源であり、好ましくは、碍子が、当該碍子の周囲部に段差を設けているものであり、更に好ましくは、荷電粒子放射能を有する物質が、希土類元素の六硼化物の単結晶からなることを特徴とする。
【選択図】図3
Description
2a、2b : 碍子
3a、3b : 支柱
4a、4b : カーボンヒーター
5 : チップ(陰極)
6a、6b : 金属線
7 : ろう付けした金属
8 : グリッド
9 : 引出し電極
10 : 電子ビーム
11 : スクリーン電極
12 : 電流計
13 : 高圧(加速)電源
14 : 加熱用電源
15 : バイアス用電源
Claims (3)
- 荷電粒子放射能を有する物質と、碍子と、前記荷電粒子放射能を有する物質を把持し前記碍子に固定するための一対の支柱と、前記支柱を介して前記荷電粒子放射能を有する物質に電流を供給するための一対の端子とからなる構造体において、支柱と端子とが金属線又は金属箔を介して電気的に接合されていることを特徴とする荷電粒子放射源。
- 碍子が、当該碍子の周囲部に段差を設けているものであることを特徴とする請求項1記載の荷電粒子放射源。
- 荷電粒子放射能を有する物質が、希土類元素の六硼化物の単結晶からなることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の荷電粒子放射源。
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Cited By (5)
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WO2007055154A1 (ja) * | 2005-11-08 | 2007-05-18 | Advantest Corporation | 電子銃、電子ビーム露光装置及び露光方法 |
JP2009134974A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 電子放出源 |
WO2010001796A1 (ja) * | 2008-07-02 | 2010-01-07 | 国立大学法人東北大学 | 希土類元素ホウ化物部材およびその製造方法 |
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007055154A1 (ja) * | 2005-11-08 | 2007-05-18 | Advantest Corporation | 電子銃、電子ビーム露光装置及び露光方法 |
JPWO2007055154A1 (ja) * | 2005-11-08 | 2009-04-30 | 株式会社アドバンテスト | 電子銃、電子ビーム露光装置及び露光方法 |
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JP2009134974A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 電子放出源 |
WO2010001796A1 (ja) * | 2008-07-02 | 2010-01-07 | 国立大学法人東北大学 | 希土類元素ホウ化物部材およびその製造方法 |
CN113628943A (zh) * | 2021-08-26 | 2021-11-09 | 中国科学院空天信息创新研究院 | 插拔式单晶硼化物阴极及其制备方法、和电子器件 |
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