JP2003016987A

JP2003016987A - ショットキー電子銃及び電子線装置

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Publication number: JP2003016987A
Application number: JP2001193115A
Authority: JP
Inventors: Shunichi Watanabe; 俊一渡辺; Satoru Fukuhara; 福原　　悟; Kenichi Myochin; 健一明珍
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 2001-06-26
Filing date: 2001-06-26
Publication date: 2003-01-17
Anticipated expiration: 2021-06-26
Also published as: JP4268348B2

Abstract

(57)【要約】【課題】ＳＥ電子銃を搭載する電子線装置に用いられ
る高圧ケーブルの製作を容易にする。【解決手段】電子を放出する単結晶チップ１、チップ
１を加熱するフィラメント２、チップ１から電子を引出
す電界を与える引出電極７、及びフィラメント２から発
生する電子を抑制するサプレッサ電極６を備えているシ
ョットキー電子銃本体に、サプレッサ電極６に負の電圧
を印加する電池１５を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ショットキー電子
銃及びショットキー電子銃が搭載される電子顕微鏡や電
子線描画装置等の電子線装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図６は、従来のショットキー電子銃の構
成図である。同図において、１はタングステン（１０
０）等の耐高温金属材料からなる単結晶チップ、２はタ
ングステン等の多結晶線からなるヘアピン型のフィラメ
ントで、単結晶チップ１はフィラメント２に接合されて
いる。４はフィラメント２がスポット溶接されているス
テンレス等の端子、５はセラミック碍子である。３は酸
化物補給源で、単結晶チップ１の中央部、単結晶チップ
１の付け根、又はフィラメント２に付着され、単結晶チ
ップ１よりも仕事関数の低いジルコニウム等の金属酸化
物によって構成される。

【０００３】このジルコニウム等の金属酸化物３を１５
００°Ｋから１９００°Ｋ程度に加熱することで、金属
酸化物３は単結晶チップ１の軸方向に沿って拡散し、単
結晶チップ１の先端で酸素とジルコニウム等金属の単原
子層を形成する。このときジルコニウム等金属の単原子
層は表面拡散及び活性化エネルギーの高い特定の結晶面
に選択的に吸着、形成される。ここで、この特定な結晶
面が単結晶チップ１の先端となるような単結晶線を用い
ることで、単結晶チップ１の軸先端１のみを仕事関数の
低い状態に保つことができる。これにより、その部分か
ら高い放出電子電流密度が得られる。

【０００４】６はサプレッサ電極で、１５００°Ｋから
１９００°Ｋに熱せれたタングステンヘアピンフィラメ
ント２からの熱電子を抑制すると同時に、放出する電子
線量の制御も行う。７は引出電極で、単結晶チップ１先
端に電界を印加して、ショットキーエミッション（以
下、ＳＥと略す）を引出す働きをする。８は制御電極
で、引出電極７との間に静電レンズを形成し、引出され
た電子ビームの軌道を制御する。これら単結晶チップ
１、ヘアピンフィラメント２、サプレッサ電極６、引出
電極７、制御電極８等によってショットキー電子銃（以
下、ＳＥ電子銃と略す、図６では電子銃本体として示
す）が構成される。

【０００５】そして、このＳＥ電子銃の単結晶チップ１
には、数１００Ｖから数１００ｋＶの負の加速電圧（Ｖ
０）が、加速電源９より印加される。また、ヘアピンフ
ィラメント２には、フィラメント電流源１０から加熱電
流（Ｉｆ）が流され、単結晶チップ１の温度を１５００
°Ｋから１９００°Ｋまでの任意の一定温度に通電加熱
する。サプレッサ電極６には、単結晶チップ１に対し負
の電圧（Ｖｓ）がサプレッサ電源１１より印加される。
また、引出電極７には、チップ１に対し正の引出電圧
（Ｖ１）が引出電源１２より印加され、制御電極８に
は、制御電圧（Ｖ２）が制御電源１３より印加される。
そのため、上記各電源を備えた電源装置とＳＥ電子銃と
は、高圧ケーブル１４により接続されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記、ＳＥ電
子銃の電源装置には、加速電源９，フィラメント電流源
１０，サプレッサ電源１１，引出電源１２，及び制御電
源１３の５種類の電源が独立に必要であり、この結果、
電源装置とＳＥ電子銃とを接続する高圧ケーブル１４に
は５芯のケーブルが必要となる。

【０００７】ところが、従来からある４芯の高圧ケーブ
ルを用いる場合に比べて、この５芯の高圧ケーブル１４
を新たに製作するには、数１００ｋＶといった高い加速
電圧（Ｖ０）で使用する時には高い絶縁耐圧が必要とな
るので、その製作は困難を極め、コストは大幅に上昇す
る。

【０００８】一方、加速電圧（Ｖ０）が数１００ｋＶと
高くなった時、ＳＥ電子銃外側（大気中）で放電が発生
する。この放電を防止するために、一般には電子銃自体
をハウジングで覆い、ハウジング内の雰囲気を一旦真空
排気した後、数気圧の絶縁ガスで置換するという方法が
用いられている。特に高加速電圧の電子銃では、ハウジ
ングと高圧ケーブル１４とは一体となっているため，５
芯のものを製作する場合には前述のとおりコストが高く
なる。

【０００９】また一方で、従来の電界放出型電子銃（以
下、ＣＦＥ電子銃と略す）で使用されている４芯の高圧
ケーブル、及びこの４芯の高圧ケーブルと一体化される
ハウジングを、ＳＥ電子銃に使用する場合は、ハウジン
グ内部に新たに電源を設ける必要がある。しかし、前述
のとおり、ＳＥ電子銃のハウジング内は真空排気または
数気圧の絶縁ガスを充填させるために、電源に破損，腐
食等の悪影響を及ぼす可能性がある。

【００１０】そのため、ＳＥ電子銃で使用される高圧ケ
ーブルと、ＣＦＥ電子銃で使用される高圧ケーブルとは
共用できないという問題点もあった。本発明は上記の問
題を解決し得るＳＥ電子銃及び電子線装置を提供するこ
とを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明のショットキー電子銃は、電子を放出する
単結晶チップ、該単結晶チップを加熱するフィラメン
ト、該フィラメントから発生する電子を抑制するサプレ
ッサ電極、前記単結晶チップから電子を引出す電界を与
える引出電極、及び引出された電子の軌道を制御する制
御電極を備えているショットキー電子銃本体に、前記サ
プレッサ電極に負の電圧を印加する電池が設けられてい
ることを特徴とする。そして、前記電池は、気密容器内
に収容され、又は気密にモールドされて、該ショットキ
ー電子銃本体に設けられていることを特徴とする。

【００１２】また、本発明のショットキー電子銃は、電
子を放出する単結晶チップと、該単結晶チップを加熱す
るフィラメントと、該フィラメントから発生する電子を
抑制するサプレッサ電極と、前記単結晶チップから電子
を引出す電界を与える引出電極、引出された電子の軌道
を制御する制御電極、及び該制御電極を挟んで前記引出
電極と反対側に配置された複数の電極を有し、引出され
た電子を加速する多段加速管と、該多段加速管を収容
し、多段加速管外周との間に絶縁ガス封入空間を形成す
るハウジングと、該ハウジング内の絶縁ガス封入空間に
設けられ、前記サプレッサ電極に負の電圧を印加する電
池とを備えていることを特徴とする。そして、前記電池
は、気密容器内に収容され、又は気密にモールドされ
て、前記絶縁ガス封入空間に設けられていることを特徴
とする。

【００１３】また、本発明の電子装置は、電子を放出す
る単結晶チップ、該単結晶チップを加熱するフィラメン
ト、該フィラメントから発生する電子を抑制するサプレ
ッサ電極、及び前記単結晶チップから電子を引出す電界
を与える引出電極を収容するショットキー電子銃本体
と、前記単結晶チップに負の加速電圧を印加する加速電
源、前記フィラメントに加熱電流を供給するフィラメン
ト電流源、前記単結晶チップに対して負の電圧をサプレ
ッサ電極に印加するサプレッサ電源、及び前記単結晶チ
ップに対して正の電圧を引出電極に印加する引出電源か
らなる電源装置とを備えている電子線装置であって、前
記電源装置は、前記ショットキー電子銃本体と離間して
多芯ケーブルを介して接続された前記加速電源、フィラ
メント電流源、及び引出電源からなる第１の電源部と、
前記ショットキー電子銃本体に設けられた電池によって
構成されるサプレッサ電源からなる第２の電源部とから
なることを特徴とする。

【００１４】そして、前記第２電源部を構成するサプレ
ッサ電源としての電池は、陰極側が前記サプレッサ電極
に接続され、陽極側が前記多芯ケーブルよりも前記単結
晶チップ側の位置で前記加速電源からの負の加速電圧に
接続されていることを特徴とする。これにより、本発明
のショットキー電子銃及び電子線装置は、サプレッサ電
源として電池を用い、これを電子銃本体に設けることに
より、高圧ケーブルを介して接続される電源装置の電源
の数を４つに減らし，高圧ケーブルの芯数を４芯にする
ことができ、従来の４芯の高圧ケーブルをそのまま利用
できる。また，電池を電池ホルダに気密に内蔵し、又は
電池をその外部雰囲気、すなわちその設置場所の雰囲気
に対し気密にモールドしてショットキー電子銃本体に設
けることにより、ショットキー電子銃本体の雰囲気（気
圧等）の影響を受けない。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら本
発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。図１
は、本発明の一実施の形態としてのＳＥ電子銃の構成図
である。単結晶チップ１及びフィラメント２には、負の
電位をもった加速電圧（Ｖ０）が加速電源９より印加さ
れる。フィラメント２にはフィラメント電流（Ｉｆ）が
フィラメント電流源１０から供給され、単結晶チップ１
の温度を１５００°Ｋから１９００°Ｋに加熱する。

【００１６】サプレッサ電極６には単結晶チップ１に対
し、数１０Ｖ〜１ｋＶの負の電圧（Ｖｓ）がサプレッサ
電源としての電池１５により印加される。更に、引出電
極７及び制御電極８には引出電圧（Ｖ１），制御電圧
（Ｖ２）がそれぞれ引出電源１２，制御電源１３より印
加される。

【００１７】ここで、上述した加速電源９、フィラメン
ト電流源１０、サプレッサ電源としての電池１５、引出
電源１２、及び制御電源１３からなる電源装置は、加速
電源９、フィラメント電流源１０、引出電源１２、及び
制御電源１３を備える第１の電源部と、サプレッサ電源
としての電池１５からなる第２の電源部とに分かれてい
る。ここに単結晶チップ１、フィラメント２、サプレッ
サ電極６、引出電極７、制御電極８によりＳＥ電子銃が
構成され、これに電池１５を加えたものがＳＥ電子銃本
体を構成する。

【００１８】そして、第１の電源部を構成する各電源
９，１０，１２，１３は、ＳＥ電子銃本体とは別体に離
間して配置され、ＳＥ電子銃本体に設けられた単結晶チ
ップ１，フィラメント２，引出電極７，制御電極８と
は、４芯の高圧ケーブル１４を介して接続される。

【００１９】これに対し、第２の電源部としてサプレッ
サ電源を構成する電池１５は電子銃本体に直接取付けら
れている。そして、この電池１５の陽極側は、加速電源
９から単結晶チップ１に加速電圧（Ｖ０）を印加するた
めの加速電源ラインに、その高圧ケーブル１４よりも単
結晶チップ１側の回路位置（ライン位置）で接続され、
その陰極側は電子銃本体のサプレッサ電極６に接続され
ている。

【００２０】以上、本実施の形態のＳＥ電子銃及び電子
線装置によれば、サプレッサ電源として電池１５を用
い、これを電子銃本体に設けることにより、高圧ケーブ
ル１４を介して接続される電源装置の電源の数を４つに
減らし，高圧ケーブル１４の芯数を４芯にすることがで
きる。なお、ＳＥ電子銃本体をハウジングで覆い、ハウ
ジング内を真空にして使用することも可能である。

【００２１】図２は、本発明の他の実施の形態としての
ＳＥ電子銃の構成図である。本実施の形態のＳＥ電子銃
は、数１００ｋＶと高い加速電圧（Ｖ０）で使用される
ＳＥ電子銃であり、多段加速管１６が使用されている。
図２は、６段の加速管１６を用いた場合のＳＥ電子銃の
例である。

【００２２】ＳＥ電子銃本体は、ＳＥ電子銃本体外側
（大気中）で放電が発生するのを防止するため、ハウジ
ング２４で覆われている。その上で、数１００ｋＶの高
加速電圧（Ｖ０）で使用する場合は、後述するように、
ハウジング２４の内部を一旦真空排気した後、数気圧の
絶縁ガスで充填することで大気中の放電を防止する。

【００２３】単結晶チップ１及びフィラメント２には、
負の電位をもった加速電圧（Ｖ０）が加速電源９より印
加される。フィラメント２には、フィラメント電流（Ｉ
ｆ）がフィラメント電流源１０から供給され、単結晶チ
ップ１の温度を１５００°Ｋから１９００°Ｋに通電加
熱する。サプレッサ電極６には、単結晶チップ１に対し
数１０Ｖ〜１ｋＶの負の電圧（Ｖｓ）が、サプレッサ電
源としての電池１５より印加される。

【００２４】電池１５は気密容器である電池ホルダ１７
内に収納され、本実施の形態では、さらにこの電池ホル
ダ１７は電子銃本体のハウジング２４内に収納されて固
定される。一方、引出電極７には、単結晶チップ１に対
し正の引出電圧（Ｖ１）が、引出電源１２より印加され
ている。また、制御電極８には、単結晶チップ１に対し
正の制御電圧（Ｖ２）が、制御電源１３より印加され
る。

【００２５】そして、本実施の形態のＳＥ電子銃では、
この制御電極８を挟んで引出電極７と反対側には、５個
の電極１８，１９，２０，２１，２２が配置され、制御
電極８以下の電極１８，１９，２０，２１，２２の各段
間は数ＧΩの抵抗２３で接続され、最終段の電極２２は
グランドに接続される。したがって、制御電極８から最
終段の電極２２の間の各段間には、グランドに対する制
御電極８の電圧（Ｖ０−Ｖ２）を５等分した電圧がかか
ることになる。

【００２６】これにより、引出電極７、制御電極８、及
びこれら電極１８，１９，２０，２１，２２は、多段加
速管１６を構成する。これら多段加速管１６を構成する
各電極７，８，１８，１９，２０，２１，２２は、ハウ
ジング２４に設けられた筒状の電極支持体３３によっ
て、その長手方向（軸方向）に同軸に並んで配置されて
いる。

【００２７】単結晶チップ１及びサプレッサ電極６は、
この筒状の電極支持体３３内の長手方向（軸方向）一側
(マイナス側)に、多段加速管１６を構成する引出電極７
と電極支持体３３の軸方向に対向するように収容されて
いる。そして、この筒状の電極支持体３３内の雰囲気
は、超高真空に保たれている。

【００２８】また、本実施の形態のＳＥ電子銃は数１０
０ｋＶと高い加速電圧（Ｖ０）で使用されるため、ハウ
ジング２４内の雰囲気、すなわち電極支持体３３の周囲
の雰囲気は、一旦真空排気された後、数気圧の絶縁ガス
で充填することで、大気中の放電を防止するようになっ
ている。したがって、サプレッサ電源としての電池１５
を収納した電池ホルダ１７は、このハウジング２４内の
絶縁ガスで充填される絶縁ガス封入空間に配置されるこ
とになる。

【００２９】図３は、数気圧の絶縁ガスで充填されるハ
ウジング２４内に設けられ、サプレッサ電源としての電
池１５を収納する電池ホルダの構成図である。本実施の
形態の電池ホルダ１７は、電池１５を収容する筒状の胴
体部１７ａと、胴体部両端に取付けられ、胴体部両端の
電池装着口をそれぞれ閉塞する蓋体部１７ｂとからなる
筐体構成になっている。そして、胴体部１７ａ端面と蓋
体部１７ｂの対向接合面には、Ｏリング等のパッキン２
５が配設され、電池ホルダ１７の内部はホルダ外部と隔
離される。よって、電池ホルダ１７外側の雰囲気、すな
わちハウジング２４内の雰囲気の気圧が、前述した数気
圧の不活性ガスの充填によって変化しても、電池ホルダ
１７内部は、空気、不活性ガス等により所定圧（大気
圧）に保持される。この際も、この不活性ガスの圧力が
電池ホルダ１７の蓋体部１７ｂを胴体部１７ａの端面に
押し付けるように作用してパッキン２５のシール性が増
すことになる。

【００３０】また、電池ホルダ１７の２つの蓋体部１７
ｂにそれぞれ構成されているコネクタ端子２６，２７
は、組立中の感電を防止するために凹型の形状をしてい
る。図３ではマイナス（−）側のコネクタ端子２６は、
凸型のコネクタ端子２８が取付けられたケーブルにより
サプレッサ電極６に接続される。プラス（＋）側のコネ
クタ端子２７は、同じく凸型のコネクタ端子２８によっ
て、１ＭΩ程度の抵抗２９又はヒューズ３０を介して、
加速電圧Ｖ０に接続される。この抵抗２９又はヒューズ
３０は、短絡等により電池１５に過電流が流れ込むのを
防ぐために設けられている。

【００３１】さらに、電池１５を気密に収納した電池ホ
ルダ１７を、抵抗２９又はヒューズ３０等と一体にモー
ルドしてハウジング２４内に収容すると、作業者が高圧
部分に直接触ることなく，安全にＳＥ電子銃に着脱する
ことが可能となる。なお、電池ホルダ１７全体をモール
ドするものにあっては、電池ホルダ１７自体は、前述し
たようにパッキン２５でホルダ外部に対する気密性を保
持したものでなくともよく、電池１５を保持するだけの
構造でもよい。

【００３２】図４は電池ホルダ１７の変形例を示す図で
ある。同図に示すように、電池ホルダ１７にスイッチ３
１を取付け、カバー３２で電池ホルダ１７及びスイッチ
３１を一体的に覆う。スイッチ３１は、その操作端がハ
ウジング２４の装着方向に進退可能自在に突出してお
り、ハウジング２４の装着状態では、操作端はスイッチ
連通状態に保持される一方、ハウジング２４の非装着状
態では、操作端はスイッチ不通状態に保持される構成と
なっている。これにより、ハウジング２４が前述した筒
状の電極支持体３３を覆った状態でのみスイッチ３１が
オンとなることによって、更に安全に作業ができるよう
になる。

【００３３】図５は、本発明の電子装置の一の実施の態
様であるＳＥ電子銃５０を搭載した電子顕微鏡の構成図
である。図において、ＳＥ電子銃５０より出射された一
次電子５ａは、数段の集束レンズ５１及び対物レンズ５
２により、試料上５３に収束される。収束された一次電
子５ａは、試料内で回折や散乱等によりエネルギーが失
われ、試料５３を透過する。試料５３を透過した電子５
ｂは、投影レンズ５４を用いて再び収束され、検出器５
５に入射する。検出器５５に入射する電子５ｂの量は、
試料５３の構造，組成等によって変化する。よって、走
査コイル５６を用い一次電子５ａを試料５３上で走査す
ることにより、試料５３の組成や構造をディスプレイ５
７上に画像化することができる。電子顕微鏡を測長顕微
鏡等で使用する場合は、試料５３に入射する一次電子５
ａの量（プローブ電流：Ｉｐ）の制御はサプレッサ電圧
（Ｖｓ）を変化させて行っていた。本電子銃ではサプレ
ッサ電源に電池１５で使用するため電圧（Ｖｓ）を変化
させることが不可能である。しかし、図５に示すような
汎用の電子顕微鏡は測長機能を必要としないため、サプ
レッサ電圧（Ｖｓ）が一定でも、引出電圧（Ｖ１）およ
び集束レンズ５１の励磁電流を変化させることによりプ
ローブ電流を制御することができる。

【００３４】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ＳＥ電
子銃のサプレッサ電源をＳＥ電子銃に設けた電池に変更
することにより、高圧ケーブルを介して接続された電源
の数を４つに減らせるだけでなく，高圧ケーブル自体も
５芯から４芯にすることができる。よって、ＳＥ電子銃
を搭載する電子線装置に用いられる高圧ケーブルの製作
が容易になり、コストも大幅に削減できる。

【００３５】一方、ＳＥ電子銃を数１００ｋＶの高電圧
で使用する場合、ハウジングの内部の雰囲気が不活性ガ
スの充填によって変化しても、電池ホルダ１７内部は所
定圧（大気圧）のまま保持されるので、電池の破損，腐
食等は起こらない。よって、不活性ガスの充填による雰
囲気の変化に耐え得る専用の電池を開発する必要もなく
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態としてのＳＥ電子銃の構
成図である。

【図２】本発明の他の実施の形態としてのＳＥ電子銃の
構成図である。

【図３】サプレッサ電源としての電池を収納する電池ホ
ルダの構成図である。

【図４】電池ホルダの変形例を示す図である。

【図５】本発明の電子装置の一の実施の態様であるＳＥ
電子銃を搭載した電子顕微鏡の構成図である。

【図６】従来のショットキー電子銃の構造図である。

【符号の説明】

１単結晶チップ２フィラメント３補給源６サプレッサ電極７引出電極８制御電極９加速電源１０フィラメント電流源１１サプレッサ電源１２引出電源１３制御電源１４高圧ケーブル１５電池１６多段加速管１７電池ホルダ２４ハウジング５０ＳＥ電子銃

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者明珍健一茨城県ひたちなか市市毛882番地株式会社日立製作所計測器グループ内Ｆターム(参考） 2H097 BA10 CA01 CA16 5C030 BC03 CC07 5F056 CB01 EA02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電子を放出する単結晶チップ、該単結晶
チップを加熱するフィラメント、該フィラメントから発
生する電子を抑制するサプレッサ電極、前記単結晶チッ
プから電子を引出す電界を与える引出電極、及び引出さ
れた電子の軌道を制御する制御電極を備えているショッ
トキー電子銃本体に、前記サプレッサ電極に負の電圧を
印加する電池が設けられていることを特徴とするショッ
トキー電子銃。
【請求項２】前記電池は、気密容器内に収容されて前
記ショットキー電子銃本体に設けられていることを特徴
とする請求項１記載のショットキー電子銃。
【請求項３】前記電池は、気密にモールドされて該シ
ョットキー電子銃本体に設けられていることを特徴とす
る請求項１記載のショットキー電子銃。
【請求項４】電子を放出する単結晶チップと、該単結晶チップを加熱するフィラメントと、該フィラメントから発生する電子を抑制するサプレッサ
電極と、前記単結晶チップから電子を引出す電界を与える引出電
極、引出された電子の軌道を制御する制御電極、及び該
制御電極を挟んで前記引出電極と反対側に配置された複
数の電極を有し、引出された電子を加速する多段加速管
と、該多段加速管を収容し、多段加速管外周との間に絶縁ガ
ス封入空間を形成するハウジングと、該ハウジング内の絶縁ガス封入空間に設けられ、前記サ
プレッサ電極に負の電圧を印加する電池とを備えている
ことを特徴とするショットキー電子銃。
【請求項５】前記電池は、気密容器内に収容されて前
記絶縁ガス封入空間に設けられていることを特徴とする
請求項４記載のショットキー電子銃。
【請求項６】前記電池は、前記絶縁ガス封入空間に充
填される絶縁ガスに対し気密にモールドされて前記絶縁
ガス封入空間に設けられていることを特徴とする請求項
４記載のショットキー電子銃。
【請求項７】電子を放出する単結晶チップ、該単結晶
チップを加熱するフィラメント、該フィラメントから発
生する電子を抑制するサプレッサ電極、及び前記単結晶
チップから電子を引出す電界を与える引出電極を収容す
るショットキー電子銃本体と、前記単結晶チップに負の加速電圧を印加する加速電源、
前記フィラメントに加熱電流を供給するフィラメント電
流源、前記単結晶チップに対して負の電圧をサプレッサ
電極に印加するサプレッサ電源、及び前記単結晶チップ
に対して正の電圧を引出電極に印加する引出電源からな
る電源装置とを備えている電子線装置であって、前記電源装置は、前記ショットキー電子銃本体と離間し
て多芯ケーブルを介して接続された前記加速電源、フィ
ラメント電流源、及び引出電源からなる第１の電源部
と、前記ショットキー電子銃本体に設けられた電池によって
構成されるサプレッサ電源からなる第２の電源部とから
なることを特徴とする電子線装置。
【請求項８】前記第２電源部を構成するサプレッサ電
源としての電池は、陰極側が前記サプレッサ電極に接続
され、陽極側が前記多芯ケーブルよりも前記単結晶チッ
プ側の位置で前記加速電源からの負の加速電圧に接続さ
れていることを特徴とする請求項７記載の電子線装置。