JP2000294182A - 電界放射電子銃 - Google Patents
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/06—Sources
- H01J2237/063—Electron sources
- H01J2237/06308—Thermionic sources
- H01J2237/06316—Schottky emission
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電子顕微鏡や荷電粒子装置に用いられる電子
ビームの軸ずれの補正を備えた熱電界放射電子銃を提供
すること。 【解決手段】電子源真空筒の頂部に大気と真空を仕切る
ように設けられ、真空外から真空内へ高電圧を導入する
高圧導入部と、該高圧導入部と真空筒の間を接続する気
密シール部材と、該高圧導入部の真空側下面に取り付け
られた電界放射陰極と、該電界放射陰極と対向するよう
に前記真空筒に絶縁的に取り付けられる引出電極と、前
記高圧導入部に取り付けられる同じ長さの複数のポスト
であって先端が前記引出電極にスライド可能に当接する
ポストと、前記高圧導入部を真空外より水平方向に移動
させる移動機構とを備え、前記ポストを通して前記引出
電極に電圧を印加すると共に、前記移動機構によって前
記電界放射陰極と前記引出電極に対する相対位置が調節
可能とされていることを特徴とする。
ビームの軸ずれの補正を備えた熱電界放射電子銃を提供
すること。 【解決手段】電子源真空筒の頂部に大気と真空を仕切る
ように設けられ、真空外から真空内へ高電圧を導入する
高圧導入部と、該高圧導入部と真空筒の間を接続する気
密シール部材と、該高圧導入部の真空側下面に取り付け
られた電界放射陰極と、該電界放射陰極と対向するよう
に前記真空筒に絶縁的に取り付けられる引出電極と、前
記高圧導入部に取り付けられる同じ長さの複数のポスト
であって先端が前記引出電極にスライド可能に当接する
ポストと、前記高圧導入部を真空外より水平方向に移動
させる移動機構とを備え、前記ポストを通して前記引出
電極に電圧を印加すると共に、前記移動機構によって前
記電界放射陰極と前記引出電極に対する相対位置が調節
可能とされていることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子顕微鏡や荷電
粒子装置に使用される電界放射電子銃に関する。
粒子装置に使用される電界放射電子銃に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、安定な高輝度電子銃として、タン
グステン単結晶の針状電極にジルコニウム（Ｚｒ）と酸
素（Ｏ）とからなる被膜層を設けた、ＺｒＯ／Ｗ熱電界
放射電子銃が低加速電子ビームを必要とする電子顕微鏡
や他の荷電粒子装置に広く使用されている。
グステン単結晶の針状電極にジルコニウム（Ｚｒ）と酸
素（Ｏ）とからなる被膜層を設けた、ＺｒＯ／Ｗ熱電界
放射電子銃が低加速電子ビームを必要とする電子顕微鏡
や他の荷電粒子装置に広く使用されている。
【０００３】図２に熱電界放射電子銃の基本的な構造図
を示す。１は表面にジルコニウム（Ｚｒ）と酸素（Ｏ）
とからなるタングステン単結晶チップ（Ｗ）のＺｒ／Ｏ
−Ｗエミッタ（以下、エミッタと称す）、２はタングス
テンワイヤーからなるヘアピン型のフイラメント、３は
フイラメント２をスポット溶接されているフイラメント
端子、４の絶縁碍子を介してサプレッサー電極５が取り
付けられている。通常、これら部材１〜５は一体構造で
組み立てられ、熱電界放射陰極１０として形成されてい
る。熱電界放射陰極１０は固定部材６を介して高圧導入
碍子７に固定されている。２０は引出電極、２１は引出
電極固定部材で高圧導入碍子７に固定されている。引出
電極２０は、ネジ２２の締めつけに具合によって引出電
極固定部材２１に対して位置調整を行って固定されてい
る。
を示す。１は表面にジルコニウム（Ｚｒ）と酸素（Ｏ）
とからなるタングステン単結晶チップ（Ｗ）のＺｒ／Ｏ
−Ｗエミッタ（以下、エミッタと称す）、２はタングス
テンワイヤーからなるヘアピン型のフイラメント、３は
フイラメント２をスポット溶接されているフイラメント
端子、４の絶縁碍子を介してサプレッサー電極５が取り
付けられている。通常、これら部材１〜５は一体構造で
組み立てられ、熱電界放射陰極１０として形成されてい
る。熱電界放射陰極１０は固定部材６を介して高圧導入
碍子７に固定されている。２０は引出電極、２１は引出
電極固定部材で高圧導入碍子７に固定されている。引出
電極２０は、ネジ２２の締めつけに具合によって引出電
極固定部材２１に対して位置調整を行って固定されてい
る。
【０００４】このような熱電界放射電子銃は所定の電気
回路（図示せず）にセットして真空に排気した後、フイ
ラメント２を電流加熱してエミッタ１の温度を上げ、サ
プレッサー電極５および引出電極２０に所定の電界を加
えてことにより電子ビームを取り出すことができる。
回路（図示せず）にセットして真空に排気した後、フイ
ラメント２を電流加熱してエミッタ１の温度を上げ、サ
プレッサー電極５および引出電極２０に所定の電界を加
えてことにより電子ビームを取り出すことができる。
【０００５】安定な電子ビームを取り出すためには、エ
ミッタ１の温度を適切な温度範囲として１４００〜１９
００度Ｋと真空度として１×１０-7Ｐａ以下を確保す
る。また、各電極５，２０は、エミッタ１に対してサプ
レッサー電極５に−３００Ｖ程度の負のサプレッサー電
圧を印加しフイラメント２よりの熱電子を抑え、引出電
極２０に２ＫＶ〜４ＫＶ程度の正の引出電圧を印加し、
エミッタ１に対して安定な電界を印加して電子を引き出
すことが重要である。
ミッタ１の温度を適切な温度範囲として１４００〜１９
００度Ｋと真空度として１×１０-7Ｐａ以下を確保す
る。また、各電極５，２０は、エミッタ１に対してサプ
レッサー電極５に−３００Ｖ程度の負のサプレッサー電
圧を印加しフイラメント２よりの熱電子を抑え、引出電
極２０に２ＫＶ〜４ＫＶ程度の正の引出電圧を印加し、
エミッタ１に対して安定な電界を印加して電子を引き出
すことが重要である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図２で示す
ように、この熱電界放射電子銃は、エミッタ１と２つの
電極５，２０の間隔に多くの部材を介して構成されお
り、各部の機械的な寸法精度と組立誤差が混入され、特
性のバラツキの要因となる。特に、エミッタ１の先端と
引出電極２０との距離Ｌは、一例として５００μｍ±１
００μｍ、また、絞り２０ａの径５００μｍφに対して
±８０μｍのセンタリング精度を求められる。
ように、この熱電界放射電子銃は、エミッタ１と２つの
電極５，２０の間隔に多くの部材を介して構成されお
り、各部の機械的な寸法精度と組立誤差が混入され、特
性のバラツキの要因となる。特に、エミッタ１の先端と
引出電極２０との距離Ｌは、一例として５００μｍ±１
００μｍ、また、絞り２０ａの径５００μｍφに対して
±８０μｍのセンタリング精度を求められる。
【０００７】従って、熱電界放射電子銃の組立時には、
治具を用いてエミッタ１の先端と引出電極２０との距離
Ｌ、および絞り２０ａとのセンタリングを±５０μｍ程
度以内に位置を合わせてネジ２２によって固定される。
これにより、エミッタ１の先端には、安定した電界が印
加され、特性のバラツキの少ない電子銃が得られる。
治具を用いてエミッタ１の先端と引出電極２０との距離
Ｌ、および絞り２０ａとのセンタリングを±５０μｍ程
度以内に位置を合わせてネジ２２によって固定される。
これにより、エミッタ１の先端には、安定した電界が印
加され、特性のバラツキの少ない電子銃が得られる。
【０００８】しかし、エミッタ１と引出電極２０の関係
が、時として使用中に熱歪みや機械的な歪みによって寸
法精度が大きく変化を生じることがある。このよな場合
は、電子銃部の真空筒を真空リークし、電子銃を取り出
し、形状の確認および再組立（調整）を必要とすること
がある。
が、時として使用中に熱歪みや機械的な歪みによって寸
法精度が大きく変化を生じることがある。このよな場合
は、電子銃部の真空筒を真空リークし、電子銃を取り出
し、形状の確認および再組立（調整）を必要とすること
がある。
【０００９】本発明は、上述した問題を解決するもので
あって、使用中にエミッタ１の先端と引出電極２０との
距離Ｌの変化が少なく、また引出電極２０の絞り２０ａ
に対してセンターが変化が生じても真空外よりセンタリ
ングの位置合わせ機能をもつことにより、エミッタ１の
電界強度を一定に保ち、安定な熱電界放射電子銃を供給
することを目的としている。
あって、使用中にエミッタ１の先端と引出電極２０との
距離Ｌの変化が少なく、また引出電極２０の絞り２０ａ
に対してセンターが変化が生じても真空外よりセンタリ
ングの位置合わせ機能をもつことにより、エミッタ１の
電界強度を一定に保ち、安定な熱電界放射電子銃を供給
することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
の 本発明は、電子源真空筒の頂部に大気と真空を仕切
るように設けられ、真空外から真空内へ高電圧を導入す
る高圧導入部と、該高圧導入部と真空筒の間を接続する
気密シール部材と、該高圧導入部の真空側下面に取り付
けられた電界放射陰極と、該電界放射陰極と対向するよ
うに前記真空筒に絶縁的に取り付けられる引出電極と、
前記高圧導入部に取り付けられる同じ長さの複数のポス
トであって先端が前記引出電極にスライド可能に当接す
るポストと、前記高圧導入部を真空外より水平方向に移
動させる移動機構とを備え、前記ポストを通して前記引
出電極に電圧を印加すると共に、前記移動機構によって
前記電界放射陰極と前記引出電極に対する相対位置が調
節可能とされていることを特徴とする
の 本発明は、電子源真空筒の頂部に大気と真空を仕切
るように設けられ、真空外から真空内へ高電圧を導入す
る高圧導入部と、該高圧導入部と真空筒の間を接続する
気密シール部材と、該高圧導入部の真空側下面に取り付
けられた電界放射陰極と、該電界放射陰極と対向するよ
うに前記真空筒に絶縁的に取り付けられる引出電極と、
前記高圧導入部に取り付けられる同じ長さの複数のポス
トであって先端が前記引出電極にスライド可能に当接す
るポストと、前記高圧導入部を真空外より水平方向に移
動させる移動機構とを備え、前記ポストを通して前記引
出電極に電圧を印加すると共に、前記移動機構によって
前記電界放射陰極と前記引出電極に対する相対位置が調
節可能とされていることを特徴とする
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
施の形態を詳細に説明する。
【００１２】図１は本発明に係わる熱電界放射電子銃の
一実施例の基本構造の断面図である。なお、前述の図２
に示す電子銃と同じ構成要素には同じ符号を付けること
により、その詳細な説明は省略する。図中、熱電界放射
陰極１０は固定部材６を介して高圧導入部１６に固定さ
れている。また、熱電界放射陰極１０のフイラメント
２，サプレッサー５、および１２の引出電極には高圧導
入部１６を通して電子銃の電源（図示せず）より電流お
よび電圧を供給される。フランジ９は、高圧導入部１６
との間にベローズ８を介して真空気密に溶接され、電子
源真空筒１５の上部に真空パッキング（図示せず）を挟
んで真空気密に固定されている。
一実施例の基本構造の断面図である。なお、前述の図２
に示す電子銃と同じ構成要素には同じ符号を付けること
により、その詳細な説明は省略する。図中、熱電界放射
陰極１０は固定部材６を介して高圧導入部１６に固定さ
れている。また、熱電界放射陰極１０のフイラメント
２，サプレッサー５、および１２の引出電極には高圧導
入部１６を通して電子銃の電源（図示せず）より電流お
よび電圧を供給される。フランジ９は、高圧導入部１６
との間にベローズ８を介して真空気密に溶接され、電子
源真空筒１５の上部に真空パッキング（図示せず）を挟
んで真空気密に固定されている。
【００１３】引出電極１２は絶縁碍子１３を挟んでアノ
ード１４を介して電子源真空筒１０の内壁に固定されて
いる。１１はポストで３本（３本以上）から成り、この
ポスト１１は、金属で作成され一方の端が高圧導入部１
６に固定され、もう一方の端は球面で鏡面に加工され引
出電極１２の上面（鏡面加工）に接し、引出電極１２の
上面（鏡面加工）をスライドできるように形成されてい
る。このポスト１１は、エミッタ１の先端と引出電極１
２との所定距離Ｌとして、例えば５００μｍ±１００μ
ｍ以内になるような寸法に作製されている。また、ポス
ト１１は高圧導入部を通して引出電極１２に引出電圧を
供給する役目も同時に備えている。
ード１４を介して電子源真空筒１０の内壁に固定されて
いる。１１はポストで３本（３本以上）から成り、この
ポスト１１は、金属で作成され一方の端が高圧導入部１
６に固定され、もう一方の端は球面で鏡面に加工され引
出電極１２の上面（鏡面加工）に接し、引出電極１２の
上面（鏡面加工）をスライドできるように形成されてい
る。このポスト１１は、エミッタ１の先端と引出電極１
２との所定距離Ｌとして、例えば５００μｍ±１００μ
ｍ以内になるような寸法に作製されている。また、ポス
ト１１は高圧導入部を通して引出電極１２に引出電圧を
供給する役目も同時に備えている。
【００１４】１７は軸調整ネジで、フランジ９の円周上
に４個設けられ、この軸調整ネジ１７を回すことによっ
て、高圧導入部１６をＸ，Ｙ軸の水平方向に移動できる
構造を備えている。高圧導入部１６の水平移動は、図１
で示している如く、固定部６を介して熱電界放射陰極１
０が同様に移動することで、熱電界放射陰極１０のエミ
ッタ１もほぼ同様な移動を行うことができる。従って、
この軸調整ネジ１７は、熱電界放射陰極１０のエミッタ
１の先端が引出電極１２の絞り１２ａの中心に対してセ
ンタリングを行うことができる機能を備えている。この
ような構成の動作について次に説明する。
に４個設けられ、この軸調整ネジ１７を回すことによっ
て、高圧導入部１６をＸ，Ｙ軸の水平方向に移動できる
構造を備えている。高圧導入部１６の水平移動は、図１
で示している如く、固定部６を介して熱電界放射陰極１
０が同様に移動することで、熱電界放射陰極１０のエミ
ッタ１もほぼ同様な移動を行うことができる。従って、
この軸調整ネジ１７は、熱電界放射陰極１０のエミッタ
１の先端が引出電極１２の絞り１２ａの中心に対してセ
ンタリングを行うことができる機能を備えている。この
ような構成の動作について次に説明する。
【００１５】まず、熱電界放射電子銃部を排気装置（図
示せず）によって１×１０-7Ｐａ以下の高真空に排気す
る。高真空に排気された後、フイラメント２に電子銃電
源（図示せず）より電流を流して通電加熱してエミッタ
１の温度を例えば１８００Ｋに加熱する。次に、サプレ
ッサ電極５には−３００Ｖ程度の電圧を、引出電極１２
には２Ｋ〜４ＫＶ程度の正の電圧をエミッタ１に対して
それぞれ印加すると、エミッタ１の先端から電子が放出
される。放出された電子ビームは、エミッタ１の加速電
位を持って、引出電極１２との電位とアノード電極のグ
ランド電位によって加速され、その一部が引出電極およ
びアノード電極の絞りを通過し、アノード電極の下部の
収束レンズ（図示せず）により、細く絞られた状態で試
料に照射される。この電子ビームのビーム電流は数ｐＡ
〜数１００ｐＡである。通常、これらの電子ビームの電
流は、試料の上部に設けられたファラデイカップ等のビ
ーム電流検出器（図示せず）をビームの光軸に挿入する
ことにより測定される。
示せず）によって１×１０-7Ｐａ以下の高真空に排気す
る。高真空に排気された後、フイラメント２に電子銃電
源（図示せず）より電流を流して通電加熱してエミッタ
１の温度を例えば１８００Ｋに加熱する。次に、サプレ
ッサ電極５には−３００Ｖ程度の電圧を、引出電極１２
には２Ｋ〜４ＫＶ程度の正の電圧をエミッタ１に対して
それぞれ印加すると、エミッタ１の先端から電子が放出
される。放出された電子ビームは、エミッタ１の加速電
位を持って、引出電極１２との電位とアノード電極のグ
ランド電位によって加速され、その一部が引出電極およ
びアノード電極の絞りを通過し、アノード電極の下部の
収束レンズ（図示せず）により、細く絞られた状態で試
料に照射される。この電子ビームのビーム電流は数ｐＡ
〜数１００ｐＡである。通常、これらの電子ビームの電
流は、試料の上部に設けられたファラデイカップ等のビ
ーム電流検出器（図示せず）をビームの光軸に挿入する
ことにより測定される。
【００１６】次に、本発明のエミッタ１と引出電極１２
との位置が何らかの要因によってずれた場合、この位置
のずれの補正動作について説明する。上述のように、本
電子銃はエミッタ１と引出電極１２との距離Ｌはポスト
１１の寸法によって所定の値に固定される。従って、エ
ミッタ１の先端と引出電極１２との位置ずれは、エミッ
タ１の先端が絞り１２ａの中心より横方向にずれること
すなわち光軸ずれが主となる。
との位置が何らかの要因によってずれた場合、この位置
のずれの補正動作について説明する。上述のように、本
電子銃はエミッタ１と引出電極１２との距離Ｌはポスト
１１の寸法によって所定の値に固定される。従って、エ
ミッタ１の先端と引出電極１２との位置ずれは、エミッ
タ１の先端が絞り１２ａの中心より横方向にずれること
すなわち光軸ずれが主となる。
【００１７】このずれによって、電子ビームは、光軸よ
り傾斜角をもって出射され、アノード１４の絞り１４ａ
等によて電子ビームがカットされ、電子ビームの中心ビ
ームが試料に照射されなくなる。電子ビームは、一般に
ビームの中心付近ほど輝度が高く、収差が少なく良い性
質をもっている。従って、電子顕微鏡の像としては、輝
度が低下するのと同時に分解能の低下を招くことにな
る。このような像を元に戻すには、電子ビームの光軸ず
れを直すことが要求される。
り傾斜角をもって出射され、アノード１４の絞り１４ａ
等によて電子ビームがカットされ、電子ビームの中心ビ
ームが試料に照射されなくなる。電子ビームは、一般に
ビームの中心付近ほど輝度が高く、収差が少なく良い性
質をもっている。従って、電子顕微鏡の像としては、輝
度が低下するのと同時に分解能の低下を招くことにな
る。このような像を元に戻すには、電子ビームの光軸ず
れを直すことが要求される。
【００１８】これを達成するために、本発明では、電子
銃部の真空を破らずにエミッタ１の先端を絞り１２ａに
対して横方向に移動させる機構を備えることを特徴とし
ている。
銃部の真空を破らずにエミッタ１の先端を絞り１２ａに
対して横方向に移動させる機構を備えることを特徴とし
ている。
【００１９】まず、この様なずれが生じた場合には、電
子ビームの光軸でのビーム電流をファラデイカップ等の
ビーム電流検出器（図示せず）をビームの光軸に挿入し
て測定する。次に、オペレータは、この電子ビームの値
を確認しながら、４本の軸調整ネジ１７を調整しなが
ら、ビーム電流の増加する方向、即ち、電子ビームの中
心が光軸に合っていく方向に合わせて行く。このこと
は、軸調整ネジ１７の調整によって、エミッタ１が引出
電極１２の絞り１２ａの中心に移動されて行くことを意
味している。その結果、軸調整ネジ１７を調整して電子
ビームの電流値が最大となるようにすることにより、エ
ミッタ１と引出電極１２の絞り１２ａとのずれが補正さ
れることになる。
子ビームの光軸でのビーム電流をファラデイカップ等の
ビーム電流検出器（図示せず）をビームの光軸に挿入し
て測定する。次に、オペレータは、この電子ビームの値
を確認しながら、４本の軸調整ネジ１７を調整しなが
ら、ビーム電流の増加する方向、即ち、電子ビームの中
心が光軸に合っていく方向に合わせて行く。このこと
は、軸調整ネジ１７の調整によって、エミッタ１が引出
電極１２の絞り１２ａの中心に移動されて行くことを意
味している。その結果、軸調整ネジ１７を調整して電子
ビームの電流値が最大となるようにすることにより、エ
ミッタ１と引出電極１２の絞り１２ａとのずれが補正さ
れることになる。
【００２０】従って、 本発明は、熱電界放射電子銃を
使用中に何らかの要因でエミッタ１が引出電極２０の絞
り２０ａの中心に対して位置の変化が生じても、電子銃
部の真空を破らずに、エミッタ１の先端と引出電極２０
との距離Ｌを一定に保って、位置の変化を補正すること
ができる。
使用中に何らかの要因でエミッタ１が引出電極２０の絞
り２０ａの中心に対して位置の変化が生じても、電子銃
部の真空を破らずに、エミッタ１の先端と引出電極２０
との距離Ｌを一定に保って、位置の変化を補正すること
ができる。
【００２１】以上本発明の実施例について説明したが、
本発明は上記に限定されるものではなく、種々の変形が
可能である。例えば、電子銃として熱電界放射電子銃と
して説明したがエミッタを常温で用いる冷陰極電界放射
電子銃でもよい、また、電子ビームの光軸のずれ補正を
光軸でのビーム電流を測定し、その変化で確認したが、
エミッタのエミッションパターンを下方に配置される蛍
光板上に展開表示させ、そのパターンの形状の変化に基
づいて行ってもよい。
本発明は上記に限定されるものではなく、種々の変形が
可能である。例えば、電子銃として熱電界放射電子銃と
して説明したがエミッタを常温で用いる冷陰極電界放射
電子銃でもよい、また、電子ビームの光軸のずれ補正を
光軸でのビーム電流を測定し、その変化で確認したが、
エミッタのエミッションパターンを下方に配置される蛍
光板上に展開表示させ、そのパターンの形状の変化に基
づいて行ってもよい。
【００２２】
【発明の効果】以上の説明からあきらかなように、電子
源真空筒の頂部に大気と真空を仕切るように設けられ、
真空外から真空内へ高電圧を導入する高圧導入部と、該
高圧導入部と真空筒の間を接続する気密シール部材と、
該高圧導入部の真空側下面に取り付けられた電界放射陰
極と、該電界放射陰極と対向するように前記真空筒に絶
縁的に取り付けられる引出電極と、前記高圧導入部に取
り付けられる同じ長さの複数のポストであって先端が前
記引出電極にスライド可能に当接するポストと、前記高
圧導入部を真空外より水平方向に移動させる移動機構と
を備え、前記ポストを通して前記引出電極に電圧を印加
すると共に、前記移動機構によって前記電界放射陰極と
前記引出電極に対する相対位置が調節可能とされている
ため、熱電界放射電子銃を使用中に何らかの要因でエミ
ッタ１が引出電極２０の絞り２０ａのセンターに対して
位置の変化が生じても、電子銃部の真空を破らずに、エ
ミッタ１の先端と引出電極２０との距離Ｌを一定に保っ
て、位置の変化を補正することができる。
源真空筒の頂部に大気と真空を仕切るように設けられ、
真空外から真空内へ高電圧を導入する高圧導入部と、該
高圧導入部と真空筒の間を接続する気密シール部材と、
該高圧導入部の真空側下面に取り付けられた電界放射陰
極と、該電界放射陰極と対向するように前記真空筒に絶
縁的に取り付けられる引出電極と、前記高圧導入部に取
り付けられる同じ長さの複数のポストであって先端が前
記引出電極にスライド可能に当接するポストと、前記高
圧導入部を真空外より水平方向に移動させる移動機構と
を備え、前記ポストを通して前記引出電極に電圧を印加
すると共に、前記移動機構によって前記電界放射陰極と
前記引出電極に対する相対位置が調節可能とされている
ため、熱電界放射電子銃を使用中に何らかの要因でエミ
ッタ１が引出電極２０の絞り２０ａのセンターに対して
位置の変化が生じても、電子銃部の真空を破らずに、エ
ミッタ１の先端と引出電極２０との距離Ｌを一定に保っ
て、位置の変化を補正することができる。
【００２３】
【図１】本発明の熱電界放射電子銃の一実施例の基本構
造の断面図である。
造の断面図である。
【図２】従来の熱電界放射電子銃の基本的な構造の断面
図である。
図である。
１…エミッタ、２…フラメント、３…フイラメント端
子、４…絶縁碍子、５…サプレッサ電極、６…固定部
材、７…高圧導入碍子、８…ベローズ、９…フランジ、
１０…熱電界放射陰極、１１…ポスト、１２…引出電
極、１３…絶縁碍子、１４…アノード、１５…電子源真
空筒、１６…高圧導入部、１７…軸調整ネジ、２０…引
出電極、２１…引出電極固定部材、２２…ネジ、
子、４…絶縁碍子、５…サプレッサ電極、６…固定部
材、７…高圧導入碍子、８…ベローズ、９…フランジ、
１０…熱電界放射陰極、１１…ポスト、１２…引出電
極、１３…絶縁碍子、１４…アノード、１５…電子源真
空筒、１６…高圧導入部、１７…軸調整ネジ、２０…引
出電極、２１…引出電極固定部材、２２…ネジ、
Claims (1)
- 【請求項１】電子源真空筒の頂部に大気と真空を仕切る
ように設けられ、真空外から真空内へ高電圧を導入する
高圧導入部と、該高圧導入部と真空筒の間を接続する気
密シール部材と、該高圧導入部の真空側下面に取り付け
られた電界放射陰極と、該電界放射陰極と対向するよう
に前記真空筒に絶縁的に取り付けられる引出電極と、前
記高圧導入部に取り付けられる同じ長さの複数のポスト
であって先端が前記引出電極にスライド可能に当接する
ポストと、前記高圧導入部を真空外より水平方向に移動
させる移動機構とを備え、前記ポストを通して前記引出
電極に電圧を印加すると共に、前記移動機構によって前
記電界放射陰極と前記引出電極に対する相対位置が調節
可能とされていることを特徴とする熱電界放射型電子
銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09719099A JP3766763B2 (ja) | 1999-04-05 | 1999-04-05 | 電界放射電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09719099A JP3766763B2 (ja) | 1999-04-05 | 1999-04-05 | 電界放射電子銃 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000294182A true JP2000294182A (ja) | 2000-10-20 |
| JP3766763B2 JP3766763B2 (ja) | 2006-04-19 |
Family
ID=14185671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09719099A Expired - Fee Related JP3766763B2 (ja) | 1999-04-05 | 1999-04-05 | 電界放射電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3766763B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2004152608A (ja) * | 2002-10-30 | 2004-05-27 | Ebara Corp | 電子線装置及び該装置を用いたデバイス製造方法 |
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| JP2010182466A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Jeol Ltd | 冷陰極電子銃の自動入射軸合わせ方法 |
| WO2020213109A1 (ja) * | 2019-04-18 | 2020-10-22 | 株式会社日立ハイテク | 電子源、及び荷電粒子線装置 |
| CN112673449A (zh) * | 2018-09-25 | 2021-04-16 | 株式会社日立高新技术 | 热场发射电子源以及电子束应用装置 |
| JPWO2021214953A1 (ja) * | 2020-04-23 | 2021-10-28 |
-
1999
- 1999-04-05 JP JP09719099A patent/JP3766763B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| WO2020213109A1 (ja) * | 2019-04-18 | 2020-10-22 | 株式会社日立ハイテク | 電子源、及び荷電粒子線装置 |
| JPWO2020213109A1 (ja) * | 2019-04-18 | 2020-10-22 | ||
| JP7137002B2 (ja) | 2019-04-18 | 2022-09-13 | 株式会社日立ハイテク | 電子源、及び荷電粒子線装置 |
| JPWO2021214953A1 (ja) * | 2020-04-23 | 2021-10-28 | ||
| WO2021214953A1 (ja) * | 2020-04-23 | 2021-10-28 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子銃および荷電粒子ビームシステム |
| TWI769728B (zh) * | 2020-04-23 | 2022-07-01 | 日商日立全球先端科技股份有限公司 | 帶電粒子槍及帶電粒子束系統 |
| JP7353473B2 (ja) | 2020-04-23 | 2023-09-29 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子銃および荷電粒子ビームシステム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3766763B2 (ja) | 2006-04-19 |
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