JP5715866B2 - 多極子およびそれを用いた収差補正器または荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
金属材を用いて構成された極子部材と、円筒形ハウジングとを備え、その円筒形ハウジングの上端と下端の内壁に光軸と平行に、極子の数だけガイド溝を設ける。このガイド溝に、極子部材を光軸方向にスライドさせながら挿入し、止めネジで極子部材を円筒形ハウジングに固定して多極子を形成する。極子部材として複数の極子を光軸方向に支持部材を介して連結した連結極子部材を使い、多段多極子を形成する。
また極子部材として単体金属の極子、ハウジングとして極子1段分の厚さのスペーサを使い、上記方法で単段の多極子を形成することもできる。
Claims (23)
- 複数の極子と、前記複数の極子を支柱に一体化形成した極子部材と、中心部に荷電粒子線が通過しえる、貫通する開口部を有する円筒形ハウジングとを備え、前記円筒形ハウジングは前記開口部の内壁の円周上に光軸方向に平行な溝を複数備え、前記極子部材は、前記溝に嵌め込んで固定されるように配置することを特徴とする多極子。
- 請求項1に記載の多極子において、前記複数の極子は、先端部が同一方向を向くように前記支柱に所定の間隔で多段に形成され、前記円筒形ハウジングには、前記開口部の内壁の両端部に前記溝が設けられ、前記円筒形ハウジングの中間部の内壁の厚さは、前記両端部の内壁の厚さより薄く形成し、前記極子部材は、前記溝と、前記支柱に形成された前記多段の極子の内、両端部の極子とで、前記円筒形ハウジングに固定されることを特徴とする多極子。
- 請求項2に記載の多極子において、前記極子は軟磁性金属材、若しくは軟磁性金属材と非磁性金属材を用いて構成されており、前記極子部材は、前記複数の極子を、光軸方向に対して平行に所定の間隔で固定して配置することを特徴とする多極子。
- 請求項3に記載の多極子において、前記極子の前記支柱への固定方法がロウ付けであることを特徴とする多極子。
- 請求項2に記載の多極子において、4段以上の多段多極子を用いたことを特徴とする多極子。
- 請求項3に記載の多極子と、外磁路とを備え、前記多極子はコイルを巻いたシャフトを介して、前記外磁路と連結して磁路を形成することを特徴とする色及び球面収差補正器。
- 請求項6に記載の色及び球面収差補正器において、4段以上の多段多極子を用いたことを特徴とする色及び球面収差補正器。
- 請求項6に記載の色及び球面収差補正器を真空雰囲気にて搭載したことを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項8に記載の荷電粒子線装置において、前記色及び球面収差補正器は、4段以上の多段多極子を用いたことを特徴とする荷電粒子線装置。
- 複数の極子と、前記複数の極子が多段に一体化形成可能な極子部材と、荷電粒子線が通過しえる開口部を有する筒形ハウジングとを備え、前記筒形ハウジングは前記開口部の内側に光軸方向へ延在する溝を複数備え、前記極子部材は、前記溝に固定されるように配置可能なことを特徴とする多極子。
- 請求項10に記載の多極子において、複数の前記極子部材は、前記溝に所定の間隔で多段に固定されたことを特徴とする多極子。
- 請求項10に記載の多極子において、前記筒形ハウジングには、前記開口部の内壁の両端部に前記溝が設けられ、前記筒形ハウジングの中間部の内壁の厚さは、前記両端部の内壁の厚さより薄く形成したことを特徴とする多極子。
- 請求項10に記載の多極子において、前記極子部材は、前記溝と、前記多段の極子の内、両端部の極子とで、前記筒形ハウジングに固定されたことを特徴とする多極子。
- 請求項10乃至13のいずれか1項に記載の多極子において、前記極子は軟磁性金属材、若しくは軟磁性金属材と非磁性金属材を用いて構成されており、前記極子部材は、前記複数の極子を、光軸方向に対して平行に所定の間隔で固定して配置されたことを特徴とする多極子。
- 請求項10乃至14のいずれか1項に記載の多極子において、前記極子部材は、前記極子をロウ付けで固定した支柱を有することを特徴とする多極子。
- 請求項10乃至15のいずれか1項に記載の多極子において、4段以上の多極子を用いたことを特徴とする多極子。
- 請求項10乃至15のいずれか1項に記載の多極子と、外磁路とを備えたことを特徴とする収差補正器。
- 請求項16に記載の多極子と、外磁路とを備えたことを特徴とする収差補正器。
- 請求項10乃至15のいずれか1項に記載の多極子と、外磁路とを備え、
前記多極子はコイルを巻いたシャフトを介して、前記外磁路と連結して磁路を形成されたことを特徴とする収差補正器。 - 請求項16に記載の多極子と、外磁路とを備え、
前記多極子はコイルを巻いたシャフトを介して、前記外磁路と連結して磁路を形成されたことを特徴とする収差補正器。 - 請求項17または19に記載の収差補正器において、4段以上の多極子を用いたことを特徴とする収差補正器。
- 請求項10乃至15のいずれか1項に記載の多極子を、4段以上の多極子を用いて構成したことを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項22に記載の荷電粒子線装置において、前記4段以上の多極子を真空雰囲気にて搭載したことを特徴とする荷電粒子線装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011073877A JP5715866B2 (ja) | 2011-03-30 | 2011-03-30 | 多極子およびそれを用いた収差補正器または荷電粒子線装置 |
DE112012000586.4T DE112012000586B4 (de) | 2011-03-30 | 2012-02-29 | Mehrpol, chromatischer und sphärischer Aberrationskorrektor und Ladungsteilchen-Strahlvorrichtung mit demselben |
US14/000,236 US9343260B2 (en) | 2011-03-30 | 2012-02-29 | Multipole and charged particle radiation apparatus using the same |
PCT/JP2012/001360 WO2012132228A1 (ja) | 2011-03-30 | 2012-02-29 | 多極子およびそれを用いた荷電粒子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011073877A JP5715866B2 (ja) | 2011-03-30 | 2011-03-30 | 多極子およびそれを用いた収差補正器または荷電粒子線装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012209130A JP2012209130A (ja) | 2012-10-25 |
JP5715866B2 true JP5715866B2 (ja) | 2015-05-13 |
Family
ID=46930024
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011073877A Active JP5715866B2 (ja) | 2011-03-30 | 2011-03-30 | 多極子およびそれを用いた収差補正器または荷電粒子線装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9343260B2 (ja) |
JP (1) | JP5715866B2 (ja) |
DE (1) | DE112012000586B4 (ja) |
WO (1) | WO2012132228A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014061835A (ja) | 2012-09-24 | 2014-04-10 | Hitachi Automotive Systems Ltd | ブレーキ制御装置 |
JP6219741B2 (ja) * | 2014-02-13 | 2017-10-25 | 日本電子株式会社 | 多極子レンズの製造方法、多極子レンズ、および荷電粒子線装置 |
JP6267543B2 (ja) | 2014-02-28 | 2018-01-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 収差補正器及びそれを用いた荷電粒子線装置 |
DE112014006444B4 (de) * | 2014-04-04 | 2020-03-26 | Hitachi High-Technologies Corporation | Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung und Verfahren zum Korrigieren der sphärischen Aberration |
TWI506666B (zh) * | 2014-08-08 | 2015-11-01 | Nat Univ Tsing Hua | 桌上型電子顯微鏡及其複合多極-聚焦可調式磁透鏡 |
US11014163B2 (en) * | 2017-04-14 | 2021-05-25 | Desktop Metal, Inc. | Calibration of 3D printer via computer vision |
CN111164725B (zh) * | 2017-09-29 | 2023-08-29 | Asml荷兰有限公司 | 用于带电粒子束检查的样本预充电方法和设备 |
JP7061695B2 (ja) * | 2019-01-21 | 2022-04-28 | 株式会社日立ハイテク | 多段連結多極子、多段多極子ユニット、及び荷電粒子線装置 |
JP2022127284A (ja) | 2021-02-19 | 2022-08-31 | 株式会社日立ハイテク | 多極子ユニットおよび荷電粒子線装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4983833A (en) * | 1988-11-21 | 1991-01-08 | Siemens Aktiengesellschaft | Device for the detecting of charged secondary particles |
JPH05334979A (ja) | 1992-06-01 | 1993-12-17 | Agency Of Ind Science & Technol | 荷電ビーム用レンズ構体 |
JP3504856B2 (ja) | 1998-05-29 | 2004-03-08 | 日本電子株式会社 | 静電偏向装置と静電偏向装置の製造方法 |
JP2004241190A (ja) * | 2003-02-04 | 2004-08-26 | Jeol Ltd | 多極子レンズ用の多極子製造方法、多極子レンズ及び荷電粒子線装置 |
US7138629B2 (en) * | 2003-04-22 | 2006-11-21 | Ebara Corporation | Testing apparatus using charged particles and device manufacturing method using the testing apparatus |
JP4276929B2 (ja) * | 2003-11-18 | 2009-06-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線色収差補正装置および該収差補正装置を搭載した荷電粒子線装置 |
JP2006139958A (ja) | 2004-11-10 | 2006-06-01 | Toshiba Corp | 荷電ビーム装置 |
JP2007287365A (ja) * | 2006-04-13 | 2007-11-01 | Jeol Ltd | 多極子レンズ及び多極子レンズの製造方法 |
JP5028181B2 (ja) | 2007-08-08 | 2012-09-19 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 収差補正器およびそれを用いた荷電粒子線装置 |
-
2011
- 2011-03-30 JP JP2011073877A patent/JP5715866B2/ja active Active
-
2012
- 2012-02-29 WO PCT/JP2012/001360 patent/WO2012132228A1/ja active Application Filing
- 2012-02-29 US US14/000,236 patent/US9343260B2/en active Active
- 2012-02-29 DE DE112012000586.4T patent/DE112012000586B4/de active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130320227A1 (en) | 2013-12-05 |
DE112012000586T5 (de) | 2014-01-16 |
JP2012209130A (ja) | 2012-10-25 |
US9343260B2 (en) | 2016-05-17 |
DE112012000586B4 (de) | 2017-08-17 |
WO2012132228A1 (ja) | 2012-10-04 |
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|
S533 | Written request for registration of change of name |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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