JPWO2016117628A1 - 荷電粒子線装置、及び荷電粒子線装置用部材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
、含有物の組成率を変えることで、軟化点や熱膨張係数を接合部材の特性に合わせることができるため、接合剤として働き、金属や他の絶縁物、バナジウムを含有するガラス自体を高い気密性を保ったまま接合することができる。
ことになる。
バナジウムを含有するガラスと電極の一体構造物、404 電極1、405 電極2、406 電極3、407 電極4、408 電極5、409 電極6、410 電極7、411 電極8、412 電極3用配線、413 電極4用配線、414 電極5用配線、415 電極6用配線、503 絶縁体碍子、504 バナジウムを含有するガラス、601 試料、602 試料ホルダ、603 バナジウムを含有するガラス、604 駆動機構、610 反射電子や散乱電子などの二次的な電子、611 表面電流
Claims (19)
- 荷電粒子源から放出される荷電粒子ビームを調整する光学素子と、前記荷電粒子ビームが通過する通路の雰囲気を真空とするための真空容器を備えた荷電粒子線装置において、
前記真空容器内内壁、及び前記真空容器内に配置される部材の少なくとも一方を、バナジウムを含むガラスで構成したことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記バナジウムを含有するガラスは、バナジウムを主成分とすることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記真空容器内に配置される部材は、前記荷電粒子ビームを加速させる加速部であることを特徴とする荷電粒子線装置、 - 請求項1において、
前記光学素子は静電レンズであることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記真空容器内に配置される部材は、前記荷電粒子ビームの収差を補正する収差補正器、及び前記荷電粒子ビームを偏向する偏向器の少なくとも1つであることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子源から放出される荷電粒子ビームを調整する光学素子と、前記荷電粒子ビームが通過する通路の雰囲気を真空とするための真空容器を備えた荷電粒子線装置において、
前記真空容器内に位置する部材に、バナジウムを含むガラス層がコーティングされていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記バナジウムを含むガラス層は、バナジウムを主成分とすることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記真空容器内の真空度が10−8〜10−11[Pa]であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記バナジウムを含むガラス層は、4〜20ppmの熱膨張係数を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記真空容器は、真空室を構成する容器と、当該容器と他部材を接続するための銅ガスケットを含み、前記バナジウムを含むガラス層の塗布範囲は、前記銅ガスケットと、前記バナジウムを含むガラス層との間の距離をEとし、前記バナジウムを含むガラス層の膜厚をdとした場合に、E>dの関係になることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記光学素子は静電レンズであることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記光学素子は、前記荷電粒子ビームの収差を補正する収差補正器、及び前記荷電粒子ビームを偏向する偏向器の少なくとも1つであることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記荷電粒子源から荷電粒子を引き出すための第一陽極を備え、当該第一陽極の前記荷電粒子源側の面に、前記バナジウムを含むガラス層がコーティングされていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記荷電粒子源から荷電粒子を引き出すための第一陽極と、当該第一陽極によって引き出された荷電粒子を加速させる第二陽極と、前記第一陽極と第二陽極との間に配置される絶縁体とを備え、前記第二陽極と前記絶縁体の前記荷電粒子源側の面に、前記バナジウムを含むガラス層がコーティングされていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
荷電粒子線装置の鏡筒内壁に、前記バナジウムを含むガラス層を設けたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
荷電粒子線装置の鏡筒内部の光学素子に、前記バナジウムを含むガラス層を設けたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線装置用部材の製造方法において、
前記荷電粒子線装置用部材であって、前記荷電粒子線装置の真空空間側に位置する部材の表面に、バナジウムを含むガラス層をコーティングすることを特徴とする荷電粒子線装置用部材の製造方法。 - 請求項17において、
前記バナジウムを含むガラス層は、バナジウムを主成分とすることを特徴とする荷電粒子線装置用部材の製造方法。 - 請求項17において、
前記バナジウムを含むガラス層は、バナジウムを含むガラスをペースト状、或いは液状にした上で、前記部材の表面に塗布することを特徴とする荷電粒子線装置用部材の製造方法。
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