JP6311165B2 - 電子エミッターのための二重管支持体 - Google Patents

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Description

本願は概して、X線管における電子エミッターに関する。
X線管の重要な構成要素は、例えばフィラメントなどの電子エミッターである。電子エミッターの強固な支持体は、そのような支持体の動きにより電子エミッターを曲げ得る、または歪ませ得るので重要であり得る。電子エミッターの使用の間における曲がりまたは歪みは、早期に電子エミッターの故障をもたらし得、このことは、X線管を故障させ得る。電子エミッター支持体のコスト、材料および製造コストの両方は、X線管コストを低くするために重要であり得る。製造の間の電子エミッターのX線管内での正確で再現可能な配置は、単一のX線管モデルの複数の異なるユニット間でX線出力の一貫性を確実にするために重要であり得る。長いX線管の寿命も重要であり得る。
製造された複数のX線管において、正しい位置に正確に再現して配置され得る頑丈な低コストの電子エミッター支持体を持つX線管を得ることが有益であると認識されてきた。X線管の長い寿命が、重要であり得ると認識されてきた。本願発明は、これらの必要性を満たす電子エミッター支持体を持つX線管の様々な実施形態を対象とする。それぞれの実施形態は、これらの必要性の1つ、いくつか、または全てを満たし得る。本願発明は、これらの必要性の1つ、いくつか、または全てを満たすX線管を真空化し、密閉する方法も対象とする。
X線管は、カソードおよびアノードをその対向する端部に持つ真空化された電気絶縁筐体を備える。二重導電性エミッター管は、カソードからアノードに向かって延在し得る。複数のエミッター管は、内管および外管を備え得、内管は、少なくとも部分的に外管内に配置される。内管および外管は、カソードと関連付けられた近端と、アノードにより近く配置された遠端とを含む対向する端部を有し得る。外管の遠端とアノードとの間に第1の間隙があり得、内管の遠端とアノードとの間に第2の間隙があり得る。電子エミッターは、内管の遠端と外管の遠端との間で連結され得る。内管と外管とは、電子エミッターを除いて互いに電気的に絶縁され得る。
X線管を真空化し密閉する方法は、以下の段階のいくつかまたは全てを含み得る。
1.
i.電気絶縁筐体の対向する端部にカソードおよびアノードを有し、
ii.カソードからアノードに向かって延在し、少なくとも部分的に外管内に配置された内管を有する二重導電性エミッター管を有し、
iii.内管および外管のそれぞれは、カソードと関連付けられた近端およびアノードにより近く配置された遠端を含む対向する端部を含み、
iv.内管の遠端と外管の遠端との間で連結された電子エミッターを有し、
v.内管と外管とは、電子エミッターを除いて互いに電気的に絶縁されており、
vi.内管は、内管の近端がカソードを越えて筐体の外部に延在して開放されており、
vii.開放されている内管を除いて密閉されている筐体を有する
X線管を設ける段階と、
2.開放されている内管を通じて筐体に真空を引くことによりX線管を実質的に真空化する段階と、
3.内管の近端を締め付けて閉じることにより、実質的に真空化されたX線管を密閉する段階と
を備える。
本願発明の一実施形態に係る、二重導電性エミッター管を電子エミッター支持体として含むX線管の概略的な縦方向の側断面図である。 本願発明の一実施形態に係る、二重導電性エミッター管を電子エミッター支持体として含むX線管の概略的な縦方向の側断面図である。 本願発明の一実施形態に係る、二重導電性エミッター管を電子エミッター支持体として含むX線管の概略的な横方向の側断面図である(この横方向の側面図は、図1〜2の縦方向の側面図に対して垂直である)。 本願発明の一実施形態に係る、図1〜3に示された複数のX線管と同様のX線管を含むX線源、およびX線管に電気接続された電源の概略的な縦方向の側断面図である。 本願発明の一実施形態に係る、開放されている内管を含むX線管の概略的な縦方向の側断面図である。 本願発明の一実施形態に係る、開放されている内管に取り付けられた真空ポンプを含み、X線管の内部に真空を引くX線管の概略的な縦方向の側断面図である。 本願発明の一実施形態に係る、内管が締め付けて閉じられているX線管の概略的な縦方向の側断面図である。
定義 本明細書で用いられているように、「同心」という用語は、複数の同心エミッター管14に関して、内管14が外管14内で実質的に中央に位置付けられていることを意味する。本明細書で用いられるように、「真空化された」または「実質的に真空化された」とは、複数のX線管に関して通常用いられるような真空を意味する。
図1〜3に示されているように、カソード13およびアノード12をその対向する端部に持つ、真空化された電気絶縁筐体11を備えるX線管10が示されている。筐体11は、セラミック材料であり得、またはそれを備え得る。二重導電性エミッター管14が、カソード13からアノード12に向かって延在し、内管14および外管14を備え得る。内管14は、少なくとも部分的に外管14の内部に配置され得る。
内管14および外管14は、共通の中央領域8を有するかまたは共有し得る。内管14および外管14は、同心であり得る。内管14および外管14は、共通の長軸17を有し得る。代替的に、内管14の長軸17と、外管14の長軸17との間でいくらかのオフセットがあり得る。内管14と外管14との間に、電圧の分離のために(電流が、内管14と外管14との間の直接接触によってではなくむしろフィラメント18を通って流れるように強いるべく)十分な間隙7があることを可能にするべく、両方のエミッター管14の長軸17を互いに位置合わせことが有益であり得る。いくつかの設計に関しては、内管14の長軸17が外管14の長軸17に対していくらかずれていることが、例えば製造性の考慮などに関して好ましいかもしれない。
複数のエミッター管14の長軸17は、筐体11の長軸6と実質的に位置合わせされ得る。代替的に、複数のエミッター管14の長軸17と筐体11の長軸6と間に、いくらかのオフセットがあり得る。アノード12中央からのX線放出が所望される場合、両方のエミッター管14の長軸17を、筐体11の長軸6と位置合わせをすることが有益であり得る。
内管14および外管14のそれぞれは、カソード13と関連付けられた、それに隣接して配置された、またはそれに取り付けられた近端Nと、アノード12により近く配置された遠端Fとを含む対向する端部(NおよびF)を有し得る。電子エミッター18は、内管14の遠端Fと外管14の遠端Fとの間で連結され得る。内管14と外管14とは、電子エミッター18を除いて互いに電気的に絶縁され得る。例えば、電気絶縁材料9が、カソード13の近くに配置され、またはそれに取り付けられ得、間隙7(おそらくは真空充填間隙)と共に、内管14を外管14から電気的に絶縁し得る。この電気絶縁材料9は、電気絶縁スペーサリングであり得、内管14と外管14との間の間隙を部分的に満たし得、内管14を外管14に対して適切な位置に保持し得る。
電子エミッター18は、フィラメントであり得る。フィラメントは、螺旋状または平面状を含む様々なタイプまたは形状であり得る。
内管14の遠端Fは、内管14から外管14に向かって半径方向に外方に延在する半径方向の突出部16を含み得る。半径方向の突出部16は、外管14の遠端Fにおける溝15に向かって延在し得る。半径方向の突出部16を用いることにより、電子エミッター18が外管14の遠端Fに沿って実質的に中央に位置付けされることが可能になり得る。電子エミッター18の中央18は、筐体11の長軸6と実質的に位置合わせされ得、このことは、アノード12のトランスミッションウィンドウの中央からのX線放出をもたらし得る。
外管14の遠端Fは、実質的に、溝15を除いて、内管14の遠端Fの周囲を囲み得る。この設計は、電子エミッター18およびエミッター管14の遠端Fの周りの電場勾配をスムーズにし得る。
内管14の長さLは、外管14の長さLより長くてよい。一実施形態において、外管14の近端Nは、筐体11内で終端し、カソード13の内面13に接触し得る。内管14の近端Nは、カソード13を通って筐体11の外部へ延在し得る。
内管14は、内管14が、X線管の内部に真空を引くための真空ポートとなることを可能にするべく、最初は開放されたままであり得る。例えば、図5における、開放されている内管14、および図6における、気体62を排出している真空ポンプ61を参照されたい。内管14の近端Nは、その後、複数の管壁を一緒に圧着することなどにより、締め付けて閉じられ得る。この圧着または締め付けは、500psiより高いなど、高圧で動作させられるハイドロリックツールを用いて行われ得る。例えば、図7における、内管14を締め付けるための締め付けプロセスおよびツール71を参照されたい。内管14の近端Nは、その後、締め付けて閉じられた端部として画定され得る。真空ポートとして動作する内管14を用いることにより、この機能のための別個の構成要素を用いる必要性を回避し得、したがって製造コストを節約し得る。
内管14は、例えば銅またはニッケルなど、締め付けて閉じられ得る軟質の、または延性のある金属から成るか、またはそれを含み得る。外管14は、チタンを含み得る。チタンを用いることにより、チタンが水素を吸収できるので、筐体11の内部で真空を維持するのに役立ち得る。H分子の大きさが小さいことに起因し、水素は、X線管の複数の微細な間隙を貫通し、その中の圧力を増加させ、X線管を機能不全にさせ得る。したがって、チタンの外管14を用いることは、X線管内の所望されるレベルの真空を維持するために有益であり得、したがってX線管の寿命を長くし得る。チタンと合金化された他の複数の金属が、X線管内の真空を放出し低減させる可能性があるので、高い割合のチタンを有するチタンの外管14を用いることが有益であり得る。例えば、外管14は、一態様において少なくとも85%の重量パーセントのチタン、他の態様において少なくとも95%のチタン、他の態様において少なくとも99%のチタン、他の態様において少なくとも99.8%のチタンを含み得る。
外管14の遠端Fと筐体11との間に環状の空洞19があり得る。言い換えると、外管の遠端Fと筐体11との間には、固形物は存在しなくてよい。X線管の設計の共通の特徴は、複数の電子が半径方向に外方に広がり筐体11へと届くことをブロックする、電子エミッターを囲むカソード光学素子である。これら電子は、筐体11を帯電させ得、早期のX線管の故障をもたらし得る。本願発明のX線管設計により、複数の電子が半径方向に外方に広がり筐体11へと届くことを外管が実質的にブロックし得るので、この光学素子はなくてもよい。このカソード光学素子を用いないことにより、製造コストは低減され得る。しかし、カソード光学素子は、高度に集束した電子ビームに対して必要である場合、依然として本願発明に用いられ得る。
外管14の遠端Fとアノード12との間に第1の間隙Gがあり得、内管14の遠端Fとアノード12との間に第2の間隙Gがあり得る。第1の間隙Gは、第2の間隙Gに略等しくてもよく、したがって、電子エミッター18の平面はアノード12の面に実質的に平行に維持される。
放射状のX線放出が所望される場合、電子エミッター18をアノード12の近くに配置することが有益であり得る。X線の放射状の放出に加えて、電子エミッター18をアノード12により近く配置することの他の利益は、電子エミッター18がより低い温度で同じ出力を出力し得ることであり、したがってフィラメントの寿命を長くし得る。二重導電性エミッター管14は、たとえ電子エミッター18がカソード13からアノード12に向かって実質的な距離分だけ延在する場合においても、電子エミッター18のための頑丈な支持体を提供し得る。一実施形態において、第1の間隙Gは、外管14の長さLより短くてよい。第1の間隙Gは、一実施形態において、外管14の長さの4%から25%の間の長さであり得、他の実施形態において、外管14の長さの7%から15%の間の長さであり得る。電子エミッター18は、一実施形態において、アノード12から0.4ミリメートルから8ミリメートルの間、または他の実施形態において、アノード12から0.3ミリメートルから4ミリメートルの間の位置に配置され得る。
図4においてX線源40に示されているように、電源41は、X線管48に電力を提供し得る。電源41は、複数のカソード電気接続45およびアノード電気接続46を含み得る。複数のカソード電気接続45とアノード電気接続46と間には、高いキロボルトなどの大きなバイアス電圧差があり得る。複数のカソード電気接続45は、アノード電気接続46のバイアス電圧よりも数キロボルト(おそらくは数十キロボルト)低いバイアス電圧を有し得る。アノード電気接続46は、アース47に電気接続され得る。
複数のカソード電気接続45は、外管14の近端Nに電気的に連結されている第1カソード電気接続45、および内管14の近端Nに電気的に連結されている第2カソード電気接続45を含み得る。電源41は、電流が電子エミッター18を通って流れるようにさせ、電子エミッター18を加熱するべく、第1および第2カソード電気接続45の間に、例えば数ボルトなどの小さい電圧差を提供し得る。電子エミッター18の熱および電子エミッター18とアノード12との間の大きなバイアス電圧は、複数の電子を電子エミッター18からアノード12に向かって放出させ得る。
コイルバネ42が、第1カソード電気接続45と、外管14の近端Nとの間の電気接触を提供するのに用いられ得る。コイルバネ42は、X線管の挿入および取り外しの間に容易な電気接続を可能とし得、外管14との大きな電気接触を提供し得るので、取り外し可能なX線管設計において特に有益であり得る。外管14が筐体11内で終端している場合、コイルバネ42と外管14との間の電気接触は、カソード13の基板を通じてのものであり得る。
内管14の締め付けて閉じられた近端Nは電気接触であり得、電源41に電気的に連結されるよう構成され得る。内管14の締め付けて閉じられた近端Nは、ヒンジバネまたはリーフバネ44を含む、様々な手段により第2カソード電気接続45に電気的に接触し得る。リーフバネ44は、取り外し可能なX線管設計において内管14への電気接触を提供するのに好都合であり得る。
複数のカソード電気接続45とエミッター管14との間の電気接続のために、プランジャピン、または様々な他のタイプの電気コネクタも用いられ得る。
コイルバネ42および/またはリーフバネ44は、カソード13でキャップされた導電性カップ43内で実質的に、または完全に包囲され得る。このカップは、コイルバネ42、リーフバネ44、および/またはエミッター管14の鋭い縁を隠すコロナガードとしての役割を果たし得る。このコロナガードは、大きな電圧差を有するこれら構成要素と、周囲の、または近くの構成要素との間のアーク放電を防ぐのを助け得る。
本明細書で説明されている二重導電性エミッター管14設計には様々な有利な点がある。これらの設計は、二重エミッター管14が低コストであり簡潔であること、および内管14を真空ポートとして潜在的に用い得ることに起因して比較的低いコストで製造され得る。これらの設計は、電子エミッター18の安定した支持体を提供し得、したがって電子エミッター18およびX線管の寿命を長くし得る。これらの設計は、電子エミッター18がアノード12の近くに配置されることになる場合に役立ち得る。二重管14は、この長い距離に亘る柱より強い支持体を提供し得るからである。エミッター管14、カソード13、および電子エミッター18は全て事前に組み立てられ、その後筐体11に好都合に接続され得る。したがって、製造の間の電子エミッター18のX線管内での正確で再現可能な配置が可能となり、したがって、単一のX線管モデルの異なるユニット間のX線出力の一貫性を改善する。
方法。X線管を真空化および密閉する方法は、特定された順序で実効され得る以下の段階のいくつかまたは全てを備え得る。
1.
i.電気絶縁筐体11の対向する端部にカソード13およびアノード12を有し、
ii.カソード13からアノード12に向かって延在し、外管14内に少なくとも部分的に配置された内管14を備える二重導電性エミッター管14を有し、
iii.内管14および外管14はそれぞれ、カソード13に隣接して配置された、それと関連付けられた、またはそれに取り付けられた近端Nと、アノード12により近く配置された遠端Fとを備える対向する端部を含み、
iv.内管14の遠端Fと外管14の遠端Fとの間に連結された電子エミッター18を有し、
V.内管14および外管14は、電子エミッター18を除いて互いに電気的に絶縁されており、
vi.内管14は、内管14の近端Nがカソード13を越えて筐体11の外部に延在して開放されており、
vii.開放された内管14を除いて密閉されたと筐体11を有する、
X線管50を設ける段階(図5参照)。
2.開放された内管14を通じて筐体11に真空を引くことによりX線管50を実質的に真空化する段階(図6参照)。
3.内管14の近端Nを締め付けて閉じることにより、実質的に真空化されたX線管50を密閉する段階(図7参照)。
X線管50の密閉は、内管14がまだ真空ポンプに接続されたままで、内管14の近端Nを500psiより高いなどの高圧で動作させられるハイドロリックツールにより締め付けることにより行われ得る。
(項目1)
a.対向する端部にカソードとアノードとを有する真空化された電気絶縁筐体と、
b.上記カソードから上記アノードに向かって延在し、内管と外管とを有する二重同心導電性エミッター管と、
c.上記アノードにより近く配置された遠端と、上記カソードと関連付けられた対向する近端とを含む対向する端部を有する上記内管および上記外管のそれぞれと、
上記外管の上記遠端と上記アノードとの間の第1の間隙、および上記内管の上記遠端と上記アノードとの間の第2の間隙と、
e.
i.上記内管の上記遠端と上記外管の上記遠端との間で電気的に連結され、
ii.上記外管の上記遠端に沿って実質的に中央に位置付けされ、
iii.上記筐体の長軸と実質的に位置合わせされた中央を有する
電子エミッターと、
f.上記電子エミッターを除いて互いに電気的に絶縁されている上記内管および上記外管と、
g.上記外管の長さより長い上記内管の長さと、
h.上記筐体の外部に延在する上記内管の上記近端と、
i.締め付けて閉じられた端部である上記内管の上記近端と
を備える、X線管。
(項目2)
上記第1の間隙は、上記外管の長さより短い、項目1に記載のX線管。
(項目3)
上記第1の間隙は、上記外管の長さの4%から25%の間である、項目1に記載のX線管。
(項目4)
上記外管の上記遠端と上記筐体との間に環状の空洞をさらに備える、項目1に記載のX線管。
(項目5)
コイルバネにより上記外管の上記近端に電気的に連結された第1カソード電気接続を有する電源をさらに備える、項目1に記載のX線管。
(項目6)
a.対向する端部にカソードとアノードとを有する真空化された電気絶縁筐体と、
b.
a.上記カソードから上記アノードに向かって延在し、
b.外管の内部に少なくとも部分的に配置された内管を有し、
c.上記内管および上記外管のそれぞれは、上記アノードにより近く配置された遠端と、上記カソードと関連付けられた対向する近端とを含む対向する端部を有する
二重導電性エミッター管と、
c.上記外管の上記遠端と上記アノードとの間の第1の間隙、および上記内管の上記遠端と上記アノードとの間の第2の間隙と、
d.上記内管の上記遠端と上記外管の上記遠端との間に連結された電子エミッターと
を備え、
上記内管と上記外管とは、上記電子エミッターを除いて互いに電気的に絶縁されている、X線管。
(項目7)
上記内管の上記遠端は、上記内管から上記外管に向かって半径方向に外方に延在する半径方向の突出部を含む、項目6に記載のX線管。
(項目8)
上記半径方向の突出部は、上記外管の上記遠端の溝に向かって延在する、項目7に記載のX線管。
(項目9)
上記外管の上記遠端は、上記溝を除いて上記内管の上記遠端の周囲を実質的に囲む、項目8に記載のX線管。
(項目10)
上記電子エミッターは、上記外管の上記遠端に沿って実質的に中央に位置付けられている、項目6に記載のX線管支持体。
(項目11)
a.上記内管の長さは、上記外管の長さより長く、
b.上記内管の上記近端は、上記筐体の外部に延在し、
c.上記内管の上記近端は、締め付けて閉じられた端部である、項目6に記載のX線管。
(項目12)
上記内管の上記締め付けて閉じられた端部は、電源に電気的連結されるよう構成される電気接触を画定する、項目11に記載のX線管。
(項目13)
上記外管の上記遠端と上記筐体との間に環状の空洞をさらに備える、項目6に記載のX線管。
(項目14)
コイルバネにより上記外管の上記近端に電気的に連結された第1カソード電気接続を有する電源をさらに備える、項目6に記載のX線管。
(項目15)
上記コイルバネは、上記カソードでキャップされた導電性カップ内で実質的に包囲されている、項目14に記載のX線管および電源。
(項目16)
上記第1の間隙は、上記外管の長さより短い、項目6に記載のX線管。
(項目17)
上記電子エミッターは、上記アノードから0.5ミリメートルから8ミリメートルの間の位置に配置される、項目6に記載のX線管。
(項目18)
上記外管はチタンを含む、項目6に記載のX線管。
(項目19)
上記内管は、銅、ニッケル、またはこれらの組み合わせを含む、項目6に記載のX線管。
(項目20)
X線管を真空化し密閉する方法であって、
a.
i.電気絶縁筐体の対向する端部にカソードおよびアノードを有し、
ii.上記カソードから上記アノードに向かって延在し、外管内に少なくとも部分的に配置された内管を有する二重導電性エミッター管を有し、
iii.上記内管および上記外管はそれぞれ、上記カソードと関連付けられた近端と、上記アノードにより近く配置された遠端とを含む対向する端部を含み、
iv.上記内管の上記遠端と上記外管の上記遠端との間に連結された電子エミッターを有し、
v.上記内管と上記外管とは、上記電子エミッターを除いて互いに電気的に絶縁されており、
vi.上記内管は、上記内管の上記近端が上記カソードを越えて上記筐体の外部に延在して開放されており、
vii.開放された上記内管を除いて密閉されている上記筐体を有する
上記X線管を設ける段階と、
b.上記開放された内管を通じて上記筐体に真空を引くことにより上記X線管を実質的に真空化する段階と、
c.上記内管の上記近端を締め付けて閉じることにより、実質的に真空化された上記X線管を密閉する段階と
を備える方法。

Claims (10)

  1. a.対向する端部にカソードとアノードとを有する真空化された電気絶縁筐体と、
    b.
    i.前記カソードから前記アノードに向かって延在し、
    ii.外管の内部に少なくとも部分的に配置された内管を有し、
    iii.前記内管および前記外管のそれぞれは、前記アノードにより近く配置された遠端と、前記カソードと関連付けられた対向する近端とを含む対向する端部を有する
    二重導電性エミッター管と、
    c.前記外管の前記遠端と前記アノードとの間の第1の間隙、および前記内管の前記遠端と前記アノードとの間の第2の間隙と、
    d.前記内管の前記遠端と前記外管の前記遠端との間に連結された電子エミッターと
    を備え、
    前記内管と前記外管とは、前記電子エミッターを除いて互いに電気的に絶縁されている、X線管。
  2. a.前記内管の前記遠端は、前記内管から前記外管に向かって半径方向に外方に延在する半径方向の突出部を含み、
    b.前記半径方向の突出部は、前記外管の前記遠端の溝に向かって延在し、
    c.前記外管の前記遠端は、前記溝を除いて前記内管の前記遠端の周囲を実質的に囲む、請求項1に記載のX線管。
  3. a.前記内管の長さは、前記外管の長さより長く、
    b.前記内管の前記近端は、前記筐体の外部に延在し、
    c.前記内管の前記近端は、締め付けて閉じられた端部であり、
    d.前記内管の前記締め付けて閉じられた端部は、電源に電気的連結される電気接触を画定する、請求項1または2に記載のX線管。
  4. コイルバネにより前記外管の前記近端に電気的に連結された第1カソード電気接続を有する電源をさらに備える、請求項1から3のいずれか一項に記載のX線管。
  5. 前記コイルバネは、前記カソードでキャップされた導電性カップ内で実質的に包囲されている、請求項4に記載のX線管。
  6. 前記第1の間隙は、前記外管の長さより短い、請求項1から5のいずれか一項に記載のX線管。
  7. 前記電子エミッターは、前記アノードから0.5ミリメートルから8ミリメートルの間の位置に配置される、請求項1から6のいずれか一項に記載のX線管。
  8. a.前記外管はチタンを含み、
    b.前記内管は、銅、ニッケル、またはこれらの組み合わせを含む、請求項1から7のいずれか一項に記載のX線管。
  9. 前記外管の前記遠端と前記筐体との間に環状の空洞をさらに備える、請求項1から8のいずれか一項に記載のX線管。
  10. X線管を真空化し密閉する方法であって、
    a.
    i.電気絶縁筐体の対向する端部にカソードおよびアノードを有し、
    ii.前記カソードから前記アノードに向かって延在し、外管内に少なくとも部分的に配置された内管を有する二重導電性エミッター管を有し、
    iii.前記内管および前記外管はそれぞれ、前記カソードと関連付けられた近端と、前記アノードにより近く配置された遠端とを含む対向する端部を含み、
    iv.前記内管の前記遠端と前記外管の前記遠端との間に連結された電子エミッターを有し、
    v.前記内管と前記外管とは、前記電子エミッターを除いて互いに電気的に絶縁されており、
    vi.前記内管は、前記内管の前記近端が前記カソードを越えて前記筐体の外部に延在して開放されており、
    vii.開放された前記内管を除いて密閉されている前記筐体を有する
    前記X線管を設ける段階と、
    b.前記開放された内管を通じて前記筐体に真空を引くことにより前記X線管を実質的に真空化する段階と、
    c.前記内管の前記近端を締め付けて閉じることにより、実質的に真空化された前記X線管を密閉する段階と
    を備える方法。
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