JP5709922B2 - 電子銃および電子ビーム装置 - Google Patents
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図1は、実施形態に係る電子銃100の構成を示す図である。この例では、電子銃100は、光加熱方式を採用している。
ここで、単一のスポット(点状)ビームを用いるのであれば、電子銃陰極104の先端を尖らせたものを採用することもできる。このような形状の陰極は、走査型電子顕微鏡(SEM)のような電子ビーム検査装置にも好適である。本明細書では、電子ビーム露光装置、電子顕微鏡などの電子ビーム検査装置を総称して電子ビーム装置という。
図10には、上述した電子銃100を利用した電子ビーム露光装置の概略構成が示してある。鏡筒204は密閉状の円筒であり、上部に電子銃室201が仕切り壁202によって仕切り形成されている。鏡筒204の内部には、電子銃100から引き出された電子ビーム205を偏向、整形、収束などをするために、コイル、磁気レンズなどをから構成される、ビーム制御部として機能するレンズ・偏向光学系203が配置されている。そして、鏡筒204の下方には、ターゲット室210が配置されており、ここに描画される基板(ウェハ)であるターゲット206が載置されている。
本実施形態の電子銃は、マルチコラム電子ビーム露光装置に好適に適用できる。このマルチコラム電子ビーム露光装置は、たとえば略15mmから略50mm程度の太さの単一コラムエレメントを、2次元的に数十本以上(たとえば30本から250本以上)という数で複数個並べ、1枚のウェハ上に電子ビームを複数照射するマルチコラム群を構成する。このような構成によって、高速露光処理が可能となる。
上述のように、電子銃の加熱に光を用いることが好適である。図12は、本実施形態の光加熱式の電子銃と、その電子銃の制御部の構成図である。
Claims (10)
- 電子銃陰極を加熱することによって電子を放出させる電子銃において、
光を一端部から入射し、一方向に伝播する、高融点の光導波路であって電気伝導性を付加した光導波路と、
前記光導波路で他端部に結合され、前記光で加熱される保持具と、
前記保持具によって保持され、前記保持具を介して、加熱される電子銃陰極と、
を備え、
前記光導波路、前記保持具および前記電子銃陰極の順序で配置したことを特徴とする電子銃。 - 請求項1に記載する電子銃において、
前記電子銃陰極に電子供給端子を設けたことを特徴とする電子銃。 - 請求項1に記載する電子銃において、
前記光導波路は、円柱形状の光媒体の表面に金属薄膜を付着せしめたものであることを特徴とする電子銃。 - 請求項1に記載する電子銃において、
前記光導波路は高い融点を持つ、サファイヤ、ルビー、ダイヤモンド、石英ガラスの中から選択された1種類の材料で前記光導波路を成し、当該導波路の表面に金属薄膜を付着せしめたものであることを特徴とする電子銃。 - 請求項1に記載する電子銃において、
前記光導波路は、臭素、窒素、酸素、弗素、アルミニウム、燐、硫黄、塩素、ガリウム、砒素の中から選択された、電気伝導性を付加するイオンを表面層に照射せしめたものであることを特徴とする電子銃。 - 請求項1に記載する電子銃において、
前記電子銃陰極は、LaB6またはCeB6を含む6硼素化ランタノイド化合物の中から1種類を選択した材料からなることを特徴とする電子銃。 - 請求項6に記載する電子銃において、
前記電子銃陰極は、6硼素化ランタノイド化合物の単結晶からなることを特徴とする電子銃。 - 請求項1に記載する電子銃において、
光で加熱される前記保持具が、LaB6またはCeB6を含む6硼素化ランタノイド化合物と、電子銃陰極としての動作温度である高温にて化学反応をしない物質であるレニウム、タンタル、炭素の中から、1種類を選択した材料からなることを特徴とする電子銃。 - 請求項1に記載する電子銃において、
前記光導波路の一端部より照射される前記光は、半導体レーザーから射出される光であって、光ファイバーを用いて、前記光導波路に入射することを特徴とする電子銃。 - 請求項1から9の何れか一項に記載する電子銃を複数搭載した、電子ビームを用いた半導体の回路パターンの露光または検査を行うマルチコラム電子ビーム装置。
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