JP6002989B2 - 電子銃 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態に係る電子銃100の構成を示す図である。この例では、電子銃100は、光加熱方式を採用している。
図8には、電子銃100の他の構成例が示してある。この例では、保持具103を光導波路102と同じサファイヤで構成し、サファイヤの保持具103の先端部分を円錐台状として、この先端部に凹部103aを設け、ここに電子銃陰極104を挿入している。なお、この例では、サファイヤ製の光導波路102、保持具103、凹部103aの表面に金属膜101を形成し、これによって電子銃陰極104と外部との電気的接続を可能としている。この場合、レーザ光が電子銃100に照射されて、電子銃陰極104が加熱される。
図9には、上述した電子銃100を利用した電子ビーム露光装置の概略構成が示してある。鏡筒204は密閉状の円筒であり、上部に電子銃室201が仕切り壁202によって仕切り形成されている。鏡筒204の内部には、電子銃100から引き出された電子ビーム205を偏向、整形、収束などをするために、コイル、磁気レンズなどをから構成される、ビーム制御部として機能するレンズ・偏向光学系203が配置されている。そして、鏡筒204の下方には、ターゲット室210が配置されており、ここに描画される基板(ウェハ)であるターゲット206が載置されている。
本実施形態の電子銃は、マルチコラム電子ビーム露光装置に好適に適用できる。このマルチコラム電子ビーム露光装置は、たとえば略15mmから略50mm程度の太さの単一コラムエレメントを、2次元的に数十本以上(たとえば30本から250本以上)という数で複数個並べ、1枚のウェハ上に電子ビームを複数照射するマルチコラム群を構成する。このような構成によって、高速露光処理が可能となる。
上述のように、電子銃の加熱に光を用いることが好適である。図11は、本実施形態の光加熱式の電子銃と、その電子銃の制御部の構成図である。
Claims (4)
- 先端に向けて先細りの円錐台状であって、先端から中心軸方向に沿って円筒状の凹部が形成された陰極支持部材と、
前記凹部に先端側から挿入された四角柱形の電子銃陰極と、
前記凹部内において、前記電子銃陰極の周辺部に充填され、両者を接合する炭素元素を主成分とする粉体と、有機接着剤の混合物と、
を含み、
加熱して使用されることで、前記炭素粉体と接着剤の混合物中の接着剤が変質して炭素粉の凝結物となる、電子銃。 - 請求項1に記載の電子銃であって、
前記電子銃陰極の先端は、前記陰極支持部材の先端から突出している電子銃。 - 請求項1または2に記載の電子銃であって、
前記陰極支持部材は、高融点金属からなる電子銃。 - 請求項1または2に記載の電子銃であって、
前記陰極支持部材は、表面に導電材料が設けられた透明材料からなり、後端側からレーザー光を受け入れ、これが前記電子銃陰極に照射されて電子銃陰極が加熱される電子銃。
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