JP2013131505A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 電子銃陰極を加熱することによって電子を放出させる電子銃において、
   光を一端部から入射し、一方向に伝播する、高融点の光導波路と、
   前記光導波路で他端部に結合され、前記光で加熱される保持具と、
   前記保持具によって保持され、前記保持具を介して、加熱される電子銃陰極と、
   を備え、
   前記光導波路、前記保持具および前記電子銃陰極の順序で配置したことを特徴とする電子銃。
2. 請求項１に記載する電子銃において、
   前記光導波路に、電気伝導性を付加したことを特徴とする電子銃。
3. 請求項１に記載する電子銃において、
   前記電子銃陰極に電子供給端子を設けたことを特徴とする電子銃。
4. 請求項２に記載する電子銃において、
   前記光導波路は、円柱形状の光媒体の表面に金属薄膜を付着せしめたものであることを特徴とする電子銃。
5. 請求項１に記載する電子銃において、
   前記光導波路は高い融点を持つ、サファイヤ、ルビー、ダイヤモンド、石英ガラスの中から選択された１種類の材料で前記光導波路を成し、当該導波路の表面に金属薄膜を付着せしめたものであることを特徴とする電子銃。
6. 請求項２に記載する電子銃において、
   前記光導波路は、臭素、窒素、酸素、弗素、アルミニウム、燐、硫黄、塩素、ガリウム、砒素の中から選択された、電気伝導性を付加するイオンを表面層に照射せしめたものであることを特徴とする電子銃。
7. 請求項１に記載する電子銃において、
   前記電子銃陰極は、ＬａＢ６またはＣｅＢ６を含む６硼素化ランタノイド化合物の中から１種類を選択した材料からなることを特徴とする電子銃。
8. 請求項７に記載する電子銃において、
   前記電子銃陰極は、６硼素化ランタノイド化合物の単結晶からなることを特徴とする電子銃。
9. 請求項１に記載する電子銃において、
   光で加熱される前記保持具が、ＬａＢ６またはＣｅＢ６を含む６硼素化ランタノイド化合物と、電子銃陰極としての動作温度である高温にて化学反応をしない物質であるレニウム、タンタル、炭素の中から、１種類を選択した材料からなることを特徴とする電子銃。
10. 請求項１に記載する電子銃において、
    前記光導波路の一端部より照射される前記光は、半導体レーザーから射出される光であって、光ファイバーを用いて、前記光導波路に入射することを特徴とする電子銃。
11. 請求項１から１０の何れか一項に記載する電子銃を複数搭載した、電子ビームを用いた半導体の回路パターンの露光または検査を行うマルチコラム電子ビーム装置。