JP6289404B2 - アニール装置 - Google Patents

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本発明は、被加熱部材を加熱するアニール装置に関する。
パワー半導体素子の製造工程では、一般的に、半導体ウエハの表面側に半導体素子を形成した後、当該半導体ウエハの裏面側に不純物層を形成する必要がある。なお、不純物層の形成の際には、半導体ウエハを加熱(アニール)する加熱処理が行われる。以下においては、半導体ウエハを、簡略化して、「ウエハ」ともいう。
当該加熱処理は、半導体ウエハの表面側に設けられた半導体素子に影響を与えないように行われ必要がある。そのため、当該加熱処理は、レーザー光をウエハに照射するレーザー式アニールが主流となっている。当該レーザー式アニールは、ウエハにおいて局所的な加熱が可能な加熱処理である。
レーザー式アニールは、被加熱部材であるウエハに対し、スポット状のレーザー光を走査することにより、当該ウエハの加熱を行う。なお、当該レーザー式アニールを行う装置に含まれる、レーザー光を出射する出射口の面積は非常に小さい。当該出射口の面積は、例えば、4mm程度である。また、当該出射口の直径は、例えば、約2.3mmである。
そのため、レーザー式アニールは、ウエハ全体の加熱が完了するまでの時間が長く掛かっていた。また、レーザー式アニールでは、ウエハのサイズにより、当該ウエハ全体の加熱が完了するまでの時間(以下、「加熱時間」ともいう)が大きく左右される。以下においては、被加熱部材を加熱する装置を、「アニール装置」ともいう。
レーザー式アニールでは、ウエハのサイズが大きくなる程、加熱時間が長くなる。例えば、6インチのウエハの加熱時間は、約4分半である。8インチのウエハの加熱時間は、約8分である。つまり、レーザー式アニールでは、ウエハのサイズが大きくなる程、アニール装置1台当たりの加熱のスループットが低下する。
そのため、レーザー式アニールにおいて、加熱のスループットの低下を防ぐためには、複数のアニール装置を用意する必要がある。したがって、レーザー式アニールでは、アニール装置の導入における高いコストと、アニール装置を導入するために大きなスペースを確保する必要があるという問題がある。
これに対して、ウエハを加熱する他の技術として、特許文献1ではウエハ内に電流を流すことでウエハ自体を発熱させる技術(以下、「関連技術A」ともいう)が開示されている。
特開平09−082785号公報
しかしながら、関連技術Aでは、以下のような問題点がある。具体的には、関連技術Aは、導電性を有する複数の支持部材にウエハ(被加熱部材)を載せてから、当該ウエハに電流を流すことにより、当該ウエハを加熱する。すなわち、関連技術Aでは、導電性を有しない被加熱部材を加熱することはできない。
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、電流を使用した構成において、被加熱部材が導電性を有するか否かに関わらず、当該被加熱部材を加熱することが可能なアニール装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係るアニール装置は、被加熱部材を加熱する。前記アニール装置は、導電性を有する複数の棒状部材と、前記複数の棒状部材の各々が発熱するように、当該複数の棒状部材の各々に電流を流すための制御を行う電流制御部と、発熱した前記複数の棒状部材が前記被加熱部材に接触するように、当該複数の棒状部材を移動させるための制御を行う移動制御部と、を備え、発熱した前記複数の棒状部材が前記被加熱部材に接触するとき、当該複数の棒状部材の各々には前記電流が流れていない

本発明によれば、電流制御部は、導電性を有する複数の棒状部材の各々が発熱するように、当該複数の棒状部材の各々に電流を流すための制御を行う。移動制御部は、発熱した前記複数の棒状部材が被加熱部材に接触するように、当該複数の棒状部材を移動させるための制御を行う。
これにより、電流を使用した構成において、被加熱部材が導電性を有するか否かに関わらず、当該被加熱部材を加熱することができる。
本発明の実施の形態1に係るアニール装置の構成を示す図である。 加熱制御処理Aのフローチャートである。 棒状部材を加熱する処理を説明するための図である。 被加熱部材を加熱する処理を説明するための図である。 比較例に係るアニール装置の構成を示す図である。
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。以下の説明では、同一の構成要素には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがって、それらについての詳細な説明を省略する場合がある。
なお、実施の形態において例示される各構成要素の寸法、材質、形状、それらの相対配置などは、本発明が適用される装置の構成や各種条件により適宜変更されるものであり、本発明はそれらの例示に限定されるものではない。また、各図における各構成要素の寸法は、実際の寸法と異なる場合がある。
<比較例>
まず、比較例としてのアニール装置について説明する。図5は、比較例に係るアニール装置200の構成を示す図である。アニール装置200は、レーザー光を使用する装置である。すなわち、アニール装置200は、レーザー式アニール装置である。
図5を参照して、アニール装置200は、レーザー光出射装置(図示せず)と、ステージST1と、冷媒流路90とを備える。
レーザー光出射装置は、レーザー光を出射する装置である。ステージST1は、被加熱部材W1を載せるためのステージ(台)である。ステージST1は、例えば、ガラスで構成される。被加熱部材W1は、導電性を有する部材である。被加熱部材W1は、例えば、ウエハ(半導体ウエハ)である。平面視における被加熱部材W1の形状は、円状である。
ステージST1は、主面ST1aと、裏面ST1bとを有する。主面ST1aは、被加熱部材W1が載せられる面である。裏面ST1bは、ステージST1において主面ST1aと反対側の面である。
また、被加熱部材W1は、平面W1a,W1bを有する。平面W1aは、半導体素子等が形成される面である。平面W1bは、被加熱部材W1において主面W1aと反対側の面である。
冷媒流路90は、液体である冷媒を通過させるための経路である。冷媒流路90は、当該冷媒流路90の一部が、ステージST1の裏面ST1bに接するように設けられる。図5では、一例として、冷媒が、冷媒流路90の左側から、冷媒流路90の右側へ矢印の方向に沿って流れる状態を示す。
次に、アニール装置200が行う処理(以下、「加熱制御処理N」ともいう)について説明する。加熱制御処理Nでは、アニール装置200のレーザー光出射装置(図示せず)が、ステージST1に載せられた被加熱部材W1の平面W1bに対し、レーザー光を出射する。なお、レーザー光出射装置は、被加熱部材W1の平面W1b全体にレーザー光が照射されるように、平面W1bにおけるレーザー光の照射位置を移動させる。
このような加熱制御処理Nでは、被加熱部材W1の平面W1b全体を加熱するのに要する時間が非常に長いという問題点がある。そこで、以下の実施の形態において、上記比較例で述べた上記問題点を解決する。
<実施の形態1>
図1は、本発明の実施の形態1に係るアニール装置100の構成を示す図である。なお、図1には、説明のために、アニール装置100に含まれない被加熱部材W1も示される。被加熱部材W1は、前述したように、導電性を有する部材である。被加熱部材W1は、例えば、ウエハである。被加熱部材W1の構成は、前述した構成と同じである。被加熱部材W1の形状は、板状である。アニール装置100は、詳細は後述するが、被加熱部材W1を加熱する装置である。以下においては、アニール装置100が、被加熱部材W1を加熱する処理を、「加熱制御処理A」ともいう。
図1において、X方向、Y方向およびZ方向の各々は、互いに直交する。以下の図に示されるX方向、Y方向およびZ方向の各々も、互いに直交する。以下においては、X方向と、当該X方向の反対の方向(−X方向)とを含む方向を「X軸方向」ともいう。また、以下においては、Y方向と、当該Y方向の反対の方向(−Y方向)とを含む方向を「Y軸方向」ともいう。また、以下においては、Z方向と、当該Z方向の反対の方向(−Z方向)とを含む方向を「Z軸方向」ともいう。
また、以下においては、X軸方向およびY軸方向を含む平面を、「XY面」ともいう。また、以下においては、X軸方向およびZ軸方向を含む平面を、「XZ面」ともいう。また、以下においては、Y軸方向およびZ軸方向を含む平面を、「YZ面」ともいう。
図1を参照して、アニール装置100は、チャンバー(図示せず)と、加熱部30と、電流制御部40と、移動制御部50と、ステージST1と、冷媒流路90とを備える。
チャンバーは、密封された反応容器である。チャンバー内には、加熱部30、電流制御部40、移動制御部50、ステージST1および冷媒流路90が設けられる。
加熱部30は、被加熱部材W1を加熱する機能を有する。加熱部30は、加熱部30を移動させるための、図示されない機械(以下、「加熱部移動機械」ともいう)に取付けられる。加熱部移動機械は、加熱部30を、XY面に沿った方向、および、Z軸方向に移動させることが可能なように構成される。
移動制御部50は、加熱部移動機械が加熱部30を移動させるように、当該加熱部移動機械を制御する。
ステージST1および冷媒流路90は、前述した構成と同じ構成を有するので詳細な説明は繰り返さない。以下、簡単に説明する。ステージST1は、主面ST1aと、裏面ST1bとを有する。主面ST1aは、被加熱部材W1が載せられる面である。
加熱部30は、基板20と、複数の棒状部材10とを含む。基板20の形状は、板状である。また、基板20のXY面における形状は、例えば、円状または四角状である。基板20は、主面20aを有する。
基板20には、複数の棒状部材10が設けられる。具体的には、基板20の主面20aには、複数の棒状部材10が所定の間隔をあけて固定される。当該複数の棒状部材10は、被加熱部材W1のXY面における形状に適応する形態で、基板20の主面20aに固定される。なお、図1では、一例として、10個の棒状部材10が示されている。当該10個の棒状部材10は、基板20に設けられる複数の棒状部材10のうち、X軸方向に沿って並ぶ一部の棒状部材である。なお、基板20の主面20aに固定される、X軸方向に沿って並ぶ棒状部材10の数は、10に限定されず、被加熱部材W1のサイズ、加熱の程度等適応した数(2〜9、または、11以上)であってもよい。なお、基板20の主面20aには、Y軸方向にも、複数の棒状部材10が間隔をあけて固定される。
当該各棒状部材10は、導電性を有する。各棒状部材10は、例えば、金属で構成される。当該各棒状部材10は、後述の加熱制御処理Aにおいて、被加熱部材W1が有する平面W1bに接触する部材である。すなわち、平面W1bは、各棒状部材10が接触するための平面である。
棒状部材10の形状は、棒状である。棒状部材10は、端部10aと、端部10bとを有する。端部10aは、棒状部材10の一方側の端部である。端部10aの形状は、針状である。端部10bは、棒状部材10の他方側の端部である。端部10bの形状は、例えば、円柱状である。基板20の主面20aには、棒状部材10の端部10bが固定される。
電流制御部40は、詳細は後述するが、複数の棒状部材10の各々に電流を流すための制御を行う。電流制御部40は、電源(図示せず)を有する。基板20に設けられる各棒状部材10の端部10bは、電流制御部40の電源(図示せず)に接続されている。
次に、加熱制御処理Aについて説明する。加熱制御処理Aは、要約すれば、各棒状部材10を発熱させ、当該各棒状部材10の余熱により被加熱部材W1を加熱する処理である。
図2は、加熱制御処理Aのフローチャートである。加熱制御処理Aでは、まず、ステップS110の処理が行われる。
ステップS110では、移動処理A1が行われる。移動処理A1では、移動制御部50が、加熱部移動機械(図示せず)に対し、加熱部30を移動ための制御を行う。
具体的には、図3に示すように、各棒状部材10の端部10aが板状の導電体E1に接触するように、加熱部移動機械(図示せず)が、移動制御部50の制御に従って、加熱部30を移動させる。当該導電体E1は、ステージST2に設けられる。導電体E1は、例えば、金属で構成される。また、当該導電体E1は、グランド(接地電位)に接続されている。
ステップS120では、発熱処理が行われる。発熱処理では、電流制御部40が、基板20に設けられる複数の棒状部材10の各々が発熱するように、当該複数の棒状部材10の各々に電流を流すための制御を行う。具体的には、電流制御部40が、各棒状部材10の端部10bに接続される電源を起動して当該電源に電圧を発生させる。
これにより、電荷が、各棒状部材10の端部10bから、当該各棒状部材10の端部10aを介して、導電体E1へ移動する。すなわち、各棒状部材10に電流が流れる。その結果、当該各棒状部材10自体に、熱(ジュール熱)が発生する。すなわち、当該各棒状部材10自体が発熱する。
ステップS130では、移動処理A2が行われる。移動処理A2では、移動制御部50が、加熱部移動機械(図示せず)に対し、発熱した複数の棒状部材10が被加熱部材W1に接触するように、当該複数の棒状部材10を移動させるための制御を行う。
具体的には、図4に示すように、各棒状部材10の端部10aが、被加熱部材W1の平面W1bに接触するように、加熱部移動機械(図示せず)が、移動制御部50の制御に従って、加熱部30を移動させる。なお、各棒状部材10の端部10aが、被加熱部材W1の平面W1bに接触する際に当該被加熱部材W1を傷つけないように、当該被加熱部材W1に対する、各棒状部材10の端部10aの圧力は予め調整されている。
前述したように、被加熱部材W1は、電気を通す性質である導電性を有する部材である。なお、被加熱部材W1は、導電性を有しない部材であってもよい。
なお、各棒状部材10は、Z軸方向に伸縮自在に構成されてもよい。当該構成では、例えば、当該各棒状部材10の内部に弾性部材(例えば、バネ)が設けられる。この構成により、被加熱部材W1に対する、各棒状部材10の端部10aの圧力の調整を容易にすることができる。
また、各棒状部材10は、弾性部材(例えば、バネ)により、基板20に固定される構成としてもよい。当該構成においても、被加熱部材W1に対する、各棒状部材10の端部10aの圧力の調整を容易にすることができる。
なお、基板20の主面20aは、各棒状部材10が被加熱部材W1の平面W1bに接触する際において当該平面W1bと対向する。
本実施の形態では、基板20に設けられる複数の棒状部材10は、被加熱部材W1のXY面のサイズに適応して設けられる。具体的には、当該複数の棒状部材10は、発熱した当該複数の棒状部材10が被加熱部材W1の平面W1bに接触した場合に当該平面W1b全体が加熱されるように、基板20の主面20aに分散して設けられる。
以上の処理および構成により、被加熱部材W1の平面W1b全体を一括して加熱することができる。
以上説明したように、本実施の形態によれば、電流制御部40は、導電性を有する複数の棒状部材10の各々が発熱するように、当該複数の棒状部材10の各々に電流を流すための制御を行う。移動制御部50は、発熱した複数の棒状部材10が被加熱部材W1に接触するように、当該複数の棒状部材10を移動させるための制御を行う。
これにより、電流を使用した構成において、被加熱部材W1が導電性を有するか否かに関わらず、当該被加熱部材W1を加熱することができる。
また、本実施の形態によれば、複数の棒状部材10は、発熱した当該複数の棒状部材10が被加熱部材W1の平面W1bに接触した場合に当該平面W1b全体が加熱されるように、基板20の主面20aに分散して設けられる。これにより、被加熱部材W1の平面W1b全体を一括して加熱することができる。言い換えれば、被加熱部材W1において、平面W1aを除く、平面W1b全体を局所的に加熱することができる。
また、本実施の形態によれば、被加熱部材W1の平面W1b全体を一括して加熱することができる。そのため、本実施の形態によれば、比較例に係るアニール装置200のようにレーザー光によりスポット的に加熱する処理に比べ、被加熱部材W1の平面W1b全体を加熱する時間を大幅に短縮することができる。すなわち、本実施の形態によれば、加熱のスループットを、アニール装置200よりも大幅に改善することができる。
なお、本発明は、その発明の範囲内において、実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
10 棒状部材、20 基板、30 加熱部、40 電流制御部、50 移動制御部、100,200 アニール装置。

Claims (2)

  1. 被加熱部材を加熱するアニール装置であって、
    導電性を有する複数の棒状部材と、
    前記複数の棒状部材の各々が発熱するように、当該複数の棒状部材の各々に電流を流すための制御を行う電流制御部と、
    発熱した前記複数の棒状部材が前記被加熱部材に接触するように、当該複数の棒状部材を移動させるための制御を行う移動制御部と、を備え
    発熱した前記複数の棒状部材が前記被加熱部材に接触するとき、当該複数の棒状部材の各々には前記電流が流れていない
    アニール装置。
  2. 前記被加熱部材の形状は、板状であり、
    前記被加熱部材は、前記各棒状部材が接触するための平面を有し、
    前記アニール装置は、前記複数の棒状部材が設けられた基板をさらに備え、
    前記基板は、前記各棒状部材が前記被加熱部材の平面に接触する際において当該平面と対向する主面を有し、
    前記複数の棒状部材は、発熱した当該複数の棒状部材が前記被加熱部材の平面に接触した場合に当該平面全体が加熱されるように、前記基板の前記主面に分散して設けられる
    請求項1に記載のアニール装置。
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JP3366753B2 (ja) * 1994-11-25 2003-01-14 富士通株式会社 基板加熱装置
JP2875493B2 (ja) * 1995-03-28 1999-03-31 三洋電機株式会社 薄膜多結晶半導体の製造方法
JPH0982785A (ja) * 1995-09-18 1997-03-28 Nec Corp 半導体ウェハ温度制御装置
JP3791821B2 (ja) * 1999-06-24 2006-06-28 株式会社八光電機製作所 表面弾性を有する加熱板

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