JP5948810B2 - プラズマ光源 - Google Patents
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Description
前記各同軸状電極は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、該中心電極の対応する先端部を一定の間隔を隔てて囲むガイド電極と、前記中心電極とガイド電極との間を絶縁する絶縁部材とからなり、
対向するガイド電極の先端を互いに電気的に接続する接続部材を有し、該接続部材は、その一点において、接地されるとともに、各同軸状電極にそれぞれ対応する電圧印加装置の経路を介して接続される、ことを特徴とするプラズマ光源が提供される。
前記1対の同軸状電極の各中心電極は、前記単一の軸線上に位置し、かつ互いに一定の間隔を隔てて対称に位置する、ことが好ましい。
図5は、第1の比較例を示す。第1の比較例は、図2に示した実施形態において、絶縁体18を除き、1対の同軸状電極10を直接にチャンバー20に取り付けた。さらに、接続部材19、接続部材19の中点Mの接地、正電圧源電流帰還路38、負電圧源電流帰還路39を除き、正電圧源32及び負電圧源33を、それぞれ正電圧源電流帰還路38及び負電圧源電流帰還路39に換えて1対の同軸状電極10のガイド電極14に接続されたチャンバー20のフランジ部に接続するとともに、このチャンバー20のフランジ部を接地したものである。
図7は、第2の比較例を示す。第2の比較例は、図2に示した実施形態において、絶縁体18を除き、1対の同軸状電極10を直接にチャンバー20に取り付けた。さらに、接続部材19の中点Mの接地、正電圧源電流帰還路38、負電圧源電流帰還路39を除き、正電圧源32及び負電圧源33を、正電圧源電流帰還路38及び負電圧源電流帰還路39に換えてそれぞれ1対の同軸状電極10のガイド電極14に接続されたチャンバー20のフランジ部に接続するとともに、このチャンバー20のフランジ部を接地したものである。
図9は、第3の比較例を示す。第3の比較例は、図2に示した実施形態において、正電圧源電流帰還路38、負電圧源電流帰還路39を除き、正電圧源32及び負電圧源33を、正電圧源電流帰還路38及び負電圧源電流帰還路39に換えてそれぞれ1対の同軸状電極10のガイド電極14に接続されたチャンバー20のフランジ部に接続したものである。
4 管状放電、5 プラズマ閉込め磁場、6 プラズマ媒体、
7 レーザー光、8 プラズマ光(EUV)、
10 1対の同軸状電極
12 中心電極、
14 ガイド電極
16 絶縁体、
20 チャンバー、
30 電圧印加装置、32 正電圧源、
33 負電圧源、36 トリガスイッチ、
Claims (6)
- 対向配置された1対の同軸状電極と、該同軸状電極内のプラズマ媒体をプラズマ発生に適した温度及び圧力に保持する放電環境保持装置と、各同軸状電極に極性を反転させた放電電圧を印加する電圧印加装置と、を備え、1対の同軸状電極間に管状放電を形成してプラズマを軸方向に封じ込めるプラズマ光源であって、
前記各同軸状電極は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、該中心電極の対応する先端部を一定の間隔を隔てて囲むガイド電極と、前記中心電極とガイド電極との間を絶縁する絶縁部材とからなり、
対向するガイド電極の先端を互いに電気的に接続する接続部材を有し、該接続部材はその一点において接地され、各同軸状電極にそれぞれ対応する電圧印加装置は前記一点を介して接地される、ことを特徴とするプラズマ光源。 - 前記接続部材における一点は、対向するガイド電極の先端を結ぶ中点である、ことを特徴とする請求項1記載のプラズマ光源。
- 前記接続部材は、1対の同軸状電極の軸線に対称に複数設けられる、ことを特徴とする請求項1記載のプラズマ光源。
- 前記放電環境保持装置は、前記1対の同軸状電極を保持するチャンバーを含み、1対の同軸状電極と前記チャンバーの間に絶縁部材が設けられている、ことを特徴とする請求項1記載のプラズマ光源。
- 前記1対の同軸状電極は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、該中心電極を一定の間隔を隔てて囲む管状のガイド電極と、中心電極とガイド電極の間に位置しその間を絶縁するリング状の絶縁体とからなり、
前記1対の同軸状電極の各中心電極は、前記単一の軸線上に位置し、かつ互いに一定の間隔を隔てて対称に位置する、ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ光源。 - 前記電圧印加装置は、前記1対の同軸状電極の一方の中心電極にそのガイド電極より高い正の放電電圧を印加する正電圧源と、前記1対の同軸状電極の他方の中心電極にそのガイド電極より低い負の放電電圧を印加する負電圧源と、前記正電圧源と負電圧源をそれぞれの同軸状電極に同時に印加するトリガスイッチとを有する、ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ光源。
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