JP6015149B2 - プラズマ光源 - Google Patents
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Description
まず、本発明の第1実施形態のプラズマ光源における同軸状電極について説明する。図1は、本実施形態のプラズマ光源を示す概略構成図である。この図に示すように、本実施形態のプラズマ光源は、一対の同軸状電極10、10、チャンバー20及び電圧印加装置30を備える。
上述の通り、本実施形態のプラズマ光源では、チャンバー(図示せず)内に対称面1を中心に一対の同軸状電極10が対向配置される。チャンバー内は、プラズマの発生に適した温度及び圧力に保持される。また、放電前の各同軸状電極10には、電圧印加装置30により同極性の放電電圧が印加される。図4では電極の相対的な極性を(+)、(−)で示している。
次に、本発明の第2実施形態に係るプラズマ光源について添付図面に基づいて説明する。第1実施形態のプラズマ光源では面状放電2の生成にレーザー装置60を用いていたが、第2実施形態のプラズマ光源では、面状放電2の生成に高電圧パルスによる沿面放電を用いる。なお、図中にある第1実施形態と同一の部材については、同一の符号を付して上記の記述を援用し、ここでの説明を省略する。
絶縁体16の表面のうち、中心電極12と外部電極14の間の部分に形成されている。中心電極12と外部電極14との間で絶縁体16に沿った面状放電2が発生すると、金属層27の表面からは、その一部がプラズマ媒体である中性ガス又はイオンとなって放出される。
上記各本実施形態の変形例について説明する。
図2に示すように、各中心電極12の先端部12aに、金属層(薄膜)27と同材料の金属層27aを設けてもよい。先端部12aは、面状放電2の電流が集中する場所であり、面状放電2及びプラズマ3の発生中は極端に高温になる。従って、先端部12aにプラズマ媒体領域としての金属層27aを設けることで、プラズマ3へのプラズマ媒体の供給量を増加させることができ、所望の極端紫外光の強度を増大させることが可能になる。
Claims (6)
- 互いに対向配置され、その間に極端紫外光を放射するプラズマを発生すると共に前記プラズマを閉じ込める一対の同軸状電極と、各前記同軸状電極に対して同極性の放電電圧を印加する電圧印加装置とを備え、
各前記同軸状電極は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、前記中心電極の外周を囲むように設けられた外部電極と、前記中心電極と前記外部電極とを絶縁する絶縁体とを有することを特徴とするプラズマ光源。 - 各前記同軸状電極の前記外部電極は前記中心電極の周方向に配置された複数の棒状電極からなることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ光源。
- 各前記同軸状電極の前記外部電極は単一の円筒電極からなることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ光源。
- 各前記同軸状電極の前記中心電極の表面にレーザー光を照射することで、前記プラズマの媒体を放出させると共に前記プラズマの初期放電を発生させるレーザー装置を更に備えることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のプラズマ光源。
- 各前記同軸状電極の前記絶縁体の表面にレーザー光を照射し、前記プラズマの媒体を放出させると共に前記プラズマの初期放電を発生させるレーザー装置を更に備えることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のプラズマ光源。
- 前記電圧印加装置は、各前記同軸状電極の前記中心電極及び前記外部電極の間に前記放電電圧を同時に印加するトリガスイッチを有することを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のプラズマ光源。
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