JP5590305B2 - プラズマ光源とプラズマ光発生方法 - Google Patents
プラズマ光源とプラズマ光発生方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5590305B2 JP5590305B2 JP2010087831A JP2010087831A JP5590305B2 JP 5590305 B2 JP5590305 B2 JP 5590305B2 JP 2010087831 A JP2010087831 A JP 2010087831A JP 2010087831 A JP2010087831 A JP 2010087831A JP 5590305 B2 JP5590305 B2 JP 5590305B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- electrode
- discharge
- center electrode
- coaxial
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
P.C.E=(Pinband×τ)/E・・・(1)
ここで、Pinbandは有効波長領域のEUV放射光出力、τは放射持続時間、Eはプラズマに投入されたエネルギーである。
更に、レーザー光の多点照射の場合、多数のレーザー光学系を設置するため、発生するEUV光を集光できる有効立体角が小さくなり、EUV光の利用効率が低下する問題点がある。
前記1対の同軸状電極内をプラズマ発生に適した温度及び圧力に保持する放電環境保持装置と、
前記各同軸状電極に極性を反転させた放電電圧を印加する電圧印加装置と、を備え、
前記絶縁部材は、前記中心電極の外面又はガイド電極の内面に密着し、液体金属のプラズマ媒体を軸方向内端面まで滲み出させる複数の溝を有している、ことを特徴とするプラズマ光源が提供される。
前記プラズマ媒体供給部と前記中心電極及びガイド電極の間を絶縁する内側絶縁管及び外側絶縁管を備え、
前記複数の溝は、前記内側絶縁管の内面又は外側絶縁管の外面に前記単一の軸線に対して対称に配置されている。
かつ前記絶縁部材は、前記中心電極の外面又はガイド電極の内面に密着し、液体金属のプラズマ媒体を軸方向内端面まで滲み出させる複数の溝を有しており、
(B) 前記1対の同軸状電極内をプラズマ発生に適した温度及び圧力に保持し、
(C) 各同軸状電極の中心電極とガイド電極間に極性を反転させた放電電圧を印加して、1対の同軸状電極にそれぞれ、前記溝を介して供給された液体金属のプラズマ媒体を放電開始ピンとする中心電極とガイド電極間の面状放電を発生させ、該面状放電により、各同軸状電極の対向する中間位置に単一のプラズマを形成し、
(D) 次いで前記面状放電を1対の同軸状電極間の管状放電に繋ぎ換えて前記プラズマを軸方向に封じ込め、
(E) プラズマの発光エネルギーに相当するエネルギーを各同軸状電極から供給して同軸状電極間にプラズマ光を発生させる、ことを特徴とするプラズマ光発生方法が提供される。
軸方向内端面まで滲み出した液体金属は中心電極又はガイド電極と同電位であるので、中心電極とガイド電極間に放電電圧を印加したとき、複数の液体金属(プラズマ媒体)が放電開始ピンとして機能する。
この図において、本発明のプラズマ光源は、1対の同軸状電極10、放電環境保持装置20、及び電圧印加装置30を備える。
各同軸状電極10は、棒状の中心電極12、管状のガイド電極14及びリング状の絶縁部材16からなる。
この例において、中心電極12の対称面1に対向する端面は、平面であるが、凹穴を設けてもよく、或いは、円弧状でもよい。
放電環境保持装置20は、例えば、真空チャンバー、温度調節器、真空装置、及びプラズマ媒体供給装置により構成することができる。なおこの構成は必須ではなく、その他の構成であってもよい。
電圧印加装置30は、この例では、正電圧源32、負電圧源34及びトリガスイッチ36からなる。
正電圧源32は、一方(この例では左側)の同軸状電極10の中心電極12にそのガイド電極14より高い正の放電電圧を印加する。
負電圧源34は、他方(この例では右側)の同軸状電極10の中心電極12にそのガイド電極14より低い負の放電電圧を印加する。
トリガスイッチ36は、正電圧源32と負電圧源34を同時に作動させて、それぞれの同軸状電極12に同時に正負の放電電圧を印加する。
この構成により、本発明のプラズマ光源は、1対の同軸状電極10間に管状放電(後述する)を形成してプラズマを軸方向に封じ込めるようになっている。
この図において、絶縁部材16は、中心電極12の外面(又はガイド電極14の内面でもよい)に密着し、単一の軸線Z−Zに対して対称に配置された複数(この例で8本)の溝16aを有する。この溝16aは、液体金属のプラズマ媒体6が毛細管現象を生じる程度に微細であり、液体金属のプラズマ媒体6を軸方向内端面まで毛細管現象により滲み出させるようになっている。
主媒体供給装置18は、プラズマ媒体供給部16bの軸方向内端面に密着して設けられ、プラズマ媒体供給部16bを通してその軸方向内端面までプラズマ媒体6を供給する。
主媒体供給装置18は、この例ではプラズマ媒体6を内部に保有する主リザーバー18a(例えばルツボ)と、ブラズマ媒体を加熱して液化する主加熱装置18bとからなる。主加熱装置18bは、図示しない電源に連結され、加熱速度を制御できるようになっている。
プラズマ媒体供給部16bの軸方向内端面におけるプラズマ媒体6は、液体又は気体である。
補助媒体供給装置19は、溝16aの軸方向内端面に密着して設けられ、溝16aを通してその軸方向内端面までプラズマ媒体6を供給する。
補助媒体供給装置19は、この例ではプラズマ媒体6を内部に保有する補助リザーバー19a(例えばルツボ)と、ブラズマ媒体を加熱して液化する補助加熱装置19bとからなる。補助加熱装置19bは、図示しない電源に連結され、加熱速度を制御できるようになっている。
溝16aの軸方向内端面におけるプラズマ媒体6は、液体である。
また、主媒体供給装置18と補助媒体供給装置19によるプラズマ媒体6は、好ましくは同一のリチウム又はスズである。
以下、この図を参照して、本発明のプラズマ光発生方法を説明する。なおこの図では、放電環境保持装置20と電圧印加装置30は省略する。
なお、「放電開始ピン」とは、放電を開始する際の放電電極として機能する導電体を意味する。
なお、両方のガイド電極14を接地させて0Vに保持し、一方の中心電極12を正電圧(+)に印加し、他方の中心電極12を負電圧(−)に印加してもよい。
この管状放電4が形成されると、図に符号5で示すプラズマ封じ込み磁場(磁気ビン)が形成され、プラズマ3を半径方向及び軸方向に封じ込むことができる。
この状態において、プラズマ3の発光エネルギーに相当するエネルギーを電圧印加装置30から供給し続ければ、高いエネルギー変換効率で、プラズマ光8(EUV)を長時間安定して発生させることができる。
軸方向内端面まで滲み出した液体金属は中心電極12(又はガイド電極)と同電位であるので、中心電極12とガイド電極14間に放電電圧を印加したとき、複数の液体金属(プラズマ媒体6)が放電開始ピンとして機能する。
4 管状放電、5 プラズマ封じ込み磁場、
6 プラズマ媒体、8 プラズマ光(EUV光)、
10 同軸状電極、12 中心電極、
14 ガイド電極、16 絶縁部材、
16a 溝、16b プラズマ媒体供給部、
16c 内側絶縁管、16d 外側絶縁管、
18 主媒体供給装置、
18a 主リザーバー、18b 主加熱装置、
19 補助媒体供給装置、
19a 補助リザーバー、19b 補助加熱装置、
20 放電環境保持装置、30 電圧印加装置、
32 正電圧源、34 負電圧源、36 トリガスイッチ
Claims (4)
- 単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、該中心電極を一定の間隔を隔てて囲む管状のガイド電極と、前記中心電極とガイド電極の軸方向外端部に位置しその間を絶縁するリング状の絶縁部材とからなり、前記中心電極の軸方向内端部が間隔を隔てて対向配置された1対の同軸状電極と、
前記1対の同軸状電極内をプラズマ発生に適した温度及び圧力に保持する放電環境保持装置と、
前記各同軸状電極に極性を反転させた放電電圧を印加する電圧印加装置と、を備え、
前記絶縁部材は、前記中心電極の外面又はガイド電極の内面に密着し、液体金属のプラズマ媒体を軸方向内端面まで滲み出させる複数の溝を有している、ことを特徴とするプラズマ光源。 - 前記絶縁部材は、前記中心電極及びガイド電極と電気的に絶縁されその軸方向内端面までプラズマ媒体を供給するプラズマ媒体供給部と、
前記プラズマ媒体供給部と前記中心電極及びガイド電極の間を絶縁する内側絶縁管及び外側絶縁管を備え、
前記複数の溝は、前記内側絶縁管の内面又は外側絶縁管の外面に前記単一の軸線に対して対称に配置されている、ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ光源。 - 前記プラズマ媒体はリチウム又はスズである、ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ光源。
- (A) 単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、該中心電極を一定の間隔を隔てて囲む管状のガイド電極と、前記中心電極とガイド電極の軸方向外端部に位置しその間を絶縁するリング状の絶縁部材とからなり、前記中心電極の軸方向内端部が間隔を隔てて対向配置された1対の同軸状電極とを準備し、
かつ前記絶縁部材は、前記中心電極の外面又はガイド電極の内面に密着し、液体金属のプラズマ媒体を軸方向内端面まで滲み出させる複数の溝を有しており、
(B) 前記1対の同軸状電極内をプラズマ発生に適した温度及び圧力に保持し、
(C) 各同軸状電極の中心電極とガイド電極間に極性を反転させた放電電圧を印加して、1対の同軸状電極にそれぞれ、前記溝を介して供給された液体金属のプラズマ媒体を放電開始ピンとする中心電極とガイド電極間の面状放電を発生させ、該面状放電により、各同軸状電極の対向する中間位置に単一のプラズマを形成し、
(D) 次いで前記面状放電を1対の同軸状電極間の管状放電に繋ぎ換えて前記プラズマを軸方向に封じ込め、
(E) プラズマの発光エネルギーに相当するエネルギーを各同軸状電極から供給して同軸状電極間にプラズマ光を発生させる、ことを特徴とするプラズマ光発生方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010087831A JP5590305B2 (ja) | 2010-04-06 | 2010-04-06 | プラズマ光源とプラズマ光発生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010087831A JP5590305B2 (ja) | 2010-04-06 | 2010-04-06 | プラズマ光源とプラズマ光発生方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011222186A JP2011222186A (ja) | 2011-11-04 |
JP5590305B2 true JP5590305B2 (ja) | 2014-09-17 |
Family
ID=45038961
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010087831A Expired - Fee Related JP5590305B2 (ja) | 2010-04-06 | 2010-04-06 | プラズマ光源とプラズマ光発生方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5590305B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6822098B2 (ja) * | 2016-11-25 | 2021-01-27 | 株式会社Ihi | アブレーションの調整方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4042848A (en) * | 1974-05-17 | 1977-08-16 | Ja Hyun Lee | Hypocycloidal pinch device |
US6566667B1 (en) * | 1997-05-12 | 2003-05-20 | Cymer, Inc. | Plasma focus light source with improved pulse power system |
US7115887B1 (en) * | 2005-03-15 | 2006-10-03 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Method for generating extreme ultraviolet with mather-type plasma accelerators for use in Extreme Ultraviolet Lithography |
-
2010
- 2010-04-06 JP JP2010087831A patent/JP5590305B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011222186A (ja) | 2011-11-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5479723B2 (ja) | プラズマ光源とプラズマ光発生方法 | |
WO2011027737A1 (ja) | プラズマ光源 | |
JP2012212942A (ja) | プラズマ光源システム | |
JP5212917B2 (ja) | プラズマ光源 | |
JP5622081B2 (ja) | プラズマ光源 | |
JP5590305B2 (ja) | プラズマ光源とプラズマ光発生方法 | |
JP5212918B2 (ja) | プラズマ光源 | |
JP5656014B2 (ja) | プラズマ光源とプラズマ光発生方法 | |
JP6015149B2 (ja) | プラズマ光源 | |
JP5733687B2 (ja) | プラズマ光源の製造方法 | |
JP5659543B2 (ja) | プラズマ光源とプラズマ光発生方法 | |
JP5900172B2 (ja) | プラズマ光源 | |
JP5757112B2 (ja) | プラズマ光源の製造方法 | |
JP5510722B2 (ja) | プラズマ光源とプラズマ光発生方法 | |
JP5622026B2 (ja) | プラズマ光源とプラズマ光発生方法 | |
JP5552872B2 (ja) | プラズマ光源とプラズマ光発生方法 | |
JP5953735B2 (ja) | プラズマ光源 | |
JP5621979B2 (ja) | プラズマ光源とプラズマ光発生方法 | |
JP5948810B2 (ja) | プラズマ光源 | |
JP2012191040A (ja) | プラズマ光源システム | |
CN115668059A (zh) | 极紫外光光源装置 | |
JP6107171B2 (ja) | プラズマ光源及び極端紫外光発生方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130220 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140702 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140704 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140715 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5590305 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |