JPWO2006059625A1 - デバイス処理システム、情報表示方法、プログラム、及び記録媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2004年11月30日に出願された特願2004−346061号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
上記課題を解決するために、本発明の第1の観点によるデバイス処理システムは、少なくとも1つのデバイス処理装置(10〜50)を備えるデバイス処理システム(1)において、前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定するデータ収集条件設定部(231)と、前記データを表示する表示条件を前記ユーザの指示に応じて設定するデータ表示条件設定部と(233)、前記データ収集条件設定部で設定された収集条件と前記データ表示条件設定部で設定された表示条件とに合致するデータを前記デバイス処理装置から収集するデータ収集部(210、220)と、前記データ収集部で収集された前記データを前記データ表示条件設定部で設定された表示条件に基づいて表示する表示部とを有する支援装置(61)を備えることを特徴としている。
この発明によると、データ収集条件設定部で設定された収集条件とデータ表示条件設定部で設定された表示条件とに合致するデータがデバイス処理装置から収集され、このデータがデータ表示条件設定部で設定された表示条件に基づいて表示される。
上記課題を解決するために、本発明の第2の観点によるデバイス処理システムは、少なくとも1つのデバイス処理装置(10〜50)を備えるデバイス処理システム(1)において、前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定するデータ収集条件設定部(231)と、前記データに対して施す統計処理の処理条件を前記ユーザの指示に応じて設定する統計処理条件設定部(232)と、前記データ収集条件設定部で設定された収集条件と前記統計処理条件設定部で設定された処理条件とに合致するデータを前記デバイス処理装置から収集するデータ収集部(210、220)と、前記データ収集部で収集された前記データに対して、前記統計処理条件設定部で設定された処理条件に基づいた統計処理を行う統計処理部(250)と、前記統計処理部で行われた処理結果を表示する表示部とを有する支援装置(61)を備えることを特徴としている。
この発明によると、データ収集条件設定部で設定された収集条件と統計処理条件設定部で設定された処理条件とに合致するデータがデバイス処理装置から収集され、収集されたデータに対して統計処理条件設定部で設定された処理条件に基づいた統計処理が行われてその処理結果が表示される。
上記課題を解決するために、本発明の第3の観点によるデバイス処理システムは、少なくとも1つのデバイス処理装置(10〜50)を備えるデバイス処理システム(1)において、前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定するデータ収集条件設定部(231)と、前記データを表示する表示条件を前記ユーザの指示に応じて設定するデータ表示条件設定部(233)と、前記データに対して施す統計処理の処理条件を前記ユーザの指示に応じて設定する統計処理条件設定部(232)と、前記データ収集条件設定部で設定された収集条件、前記データ表示条件設定部で設定された表示条件、及び前記統計処理条件設定部で設定された処理条件に合致するデータを前記デバイス処理装置から収集するデータ収集部(210、220)と、前記データ収集部で収集された前記データに対して、前記統計処理条件設定部で設定された処理条件に応じた統計処理を行う統計処理部(250)と、前記データ収集部で収集された前記データ及び前記統計処理部で行われた処理結果の少なくとも一方を、前記データ表示条件設定部で設定された表示条件に基づいて表示する表示部とを有する支援装置(61)を備えることを特徴としている。
この発明によると、データ収集条件設定部で設定された収集条件、データ表示条件設定部で設定された表示条件、及び統計処理条件設定部で設定された処理条件に合致するデータがデバイス処理装置から収集され、収集されたデータに対して統計処理条件設定部で設定された処理条件に応じた統計処理が行われ、データ収集部で収集されたデータ及び統計処理部で行われた処理結果の少なくとも一方がデータ表示条件設定部で設定された表示条件に基づいて表示される。
上記課題を解決するために、本発明の第1の観点による情報表示方法は、少なくとも1つのデバイス処理装置(10〜50)で得られた情報を表示する情報表示方法において、前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定するステップと、前記データを表示する表示条件を前記ユーザの指示に応じて設定するステップと、設定された前記収集条件と前記表示条件とに合致するデータを前記デバイス処理装置から収集するステップと、収集された前記データを前記表示条件に基づいて表示するステップとを含むことを特徴としている。
この発明によると、設定された収集条件及び表示条件とに合致するデータがデバイス処理装置から収集され、このデータが設定された表示条件に基づいて表示される。
上記課題を解決するために、本発明の第2の観点による情報表示方法は、少なくとも1つのデバイス処理装置(10〜50)で得られた情報を表示する情報表示方法において、前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定するステップと、前記データに対して施す統計処理の処理条件を前記ユーザの指示に応じて設定するステップと、設定された前記収集条件と前記処理条件とに合致するデータを前記デバイス処理装置から収集するステップと、収集された前記データに対して前記処理条件に基づいた統計処理を行うステップと、前記統計処理の処理結果を表示するステップとを含むことを特徴としている。
この発明によると、設定された収集条件及び処理条件とに合致するデータがデバイス処理装置から収集され、収集されたデータに対して設定された処理条件に基づいた統計処理が行われてその処理結果が表示される。
上記課題を解決するために、本発明の第3の観点による情報表示方法は、少なくとも1つのデバイス処理装置(10〜50)で得られた情報を表示する情報表示方法において、前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定するステップと、前記データを表示する表示条件を前記ユーザの指示に応じて設定するステップと、前記データに対して施す統計処理の処理条件を前記ユーザの指示に応じて設定するステップと、設定された前記収集条件、前記表示条件、及び前記処理条件に合致するデータを前記デバイス処理装置から収集するステップと、収集された前記データに対して、前記処理条件に応じた統計処理を行うステップと、収集された前記データ及び前記統計処理の処理結果の少なくとも一方を、前記表示条件に基づいて表示するステップとを含むことを特徴としている。
この発明によると、設定された収集条件、表示条件、及び処理条件に合致するデータがデバイス処理装置から収集され、収集されたデータに対して設定された処理条件に応じた統計処理が行われ、収集されたデータ及び統計処理の処理結果の少なくとも一方が設定された表示条件に基づいて表示される。
上記課題を解決するために、本発明の第1の観点による情報表示プログラムは、少なくとも1つのデバイス処理装置(10〜50)で得られた情報を表示する情報表示プログラムにおいて、前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定する処理と、前記データを表示する表示条件を前記ユーザの指示に応じて設定する処理と、設定された前記収集条件と前記表示条件とに合致するデータを前記デバイス処理装置から収集する処理と、収集された前記データを前記表示条件に基づいて表示する処理とを有することを特徴としている。
この発明によると、設定された収集条件及び表示条件とに合致するデータがデバイス処理装置から収集され、このデータが設定された表示条件に基づいて表示される。
上記課題を解決するために、本発明の第2の観点による情報表示プログラムは、少なくとも1つのデバイス処理装置(10〜50)で得られた情報を表示する情報表示プログラムにおいて、前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定する処理と、前記データに対して施す統計処理の処理条件を前記ユーザの指示に応じて設定する処理と、設定された前記収集条件と前記処理条件とに合致するデータを前記デバイス処理装置から収集する処理と、収集された前記データに対して前記処理条件に基づいた統計処理を行う処理と、前記統計処理の処理結果を表示する処理とを有することを特徴としている。
この発明によると、設定された収集条件及び処理条件とに合致するデータがデバイス処理装置から収集され、収集されたデータに対して設定された処理条件に基づいた統計処理が行われてその処理結果が表示される。
上記課題を解決するために、本発明の第3の観点による情報表示プログラムは、少なくとも1つのデバイス処理装置(10〜50)で得られた情報を表示する情報表示プログラムにおいて、前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定する処理と、前記データを表示する表示条件を前記ユーザの指示に応じて設定する処理と、前記データに対して施す統計処理の処理条件を前記ユーザの指示に応じて設定する処理と、設定された前記収集条件、前記表示条件、及び前記処理条件に合致するデータを前記デバイス処理装置から収集する処理と、収集された前記データに対して、前記処理条件に応じた統計処理を行う処理と、収集された前記データ及び前記統計処理の処理結果の少なくとも一方を、前記表示条件に基づいて表示する処理とを有することを特徴としている。
この発明によると、設定された収集条件、表示条件、及び処理条件に合致するデータがデバイス処理装置から収集され、収集されたデータに対して設定された処理条件に応じた統計処理が行われ、収集されたデータ及び統計処理の処理結果の少なくとも一方が設定された表示条件に基づいて表示される。
MAX: 指定された数字集合の最大値を返す。
MIN: 指定された数字集合の最小値を返す。
COUNT: 指定された数字集合の個数を返す。
STDEV: 指定された数字集合の標準偏差を返す。
RANGE: 指定された数字集合の最大値と最小値の差を返す。
SUM: 指定された数字集合の総和を返す。
ABSMAX:指定された数字集合の絶対値の最大値を返す。
ABSMIN:指定された数字集合の絶対値の最小値を返す。
ABSAVE:指定された数字集合の絶対値の平均値を返す。
ABSSUM:指定された数字集合の絶対値の総和を返す。
SINGLE:指定された変数をそのまま返す。
ABS: 指定された数字の絶対値を返す。
SIN: 指定された数字 (単位ラジアン)のサインを返す。
COS: 指定された数字 (単位ラジアン)のコサインを返す。
TAN: 指定された数字 (単位ラジアン)のタンジェントを返す。
LIKE: ワイルドカード“*”や“?*”を使用したあいまい検索
IN: 条件値のいずれかに一致する
NOT IN: 条件値のいずれにも一致しない
<>: 条件値以外
>: 条件値よりも大 (条件値は含まない)
<: 条件値よりも小 (条件値は含まない)
>=: 条件値よりも大 (条件値を含む)
<=: 条件値よりも小 (条件値を含む)
BETWEEN:条件値1と条件値2の間 (条件値1と条件値2を含む)
WE2: 連続する3点中2点がUWL(Upper Warning Limit)値を超えた
WE3: 連続する5点中4点が+1σ値を超えた
WE4: 8点の連続する点が全て目標値を超えた
WE5: 最終点がLCL(Lower Control Limit)値を下回った
WE6: 連続する3点中2点がLWL(Lower Warning Limit)値を下回った
WE7: 連続する5点中4点が−1σ値を下回った
WE8: 8点の連続する点が全て目標値を下回った
WE9: 15点の連続する点が+/−1σ値内に存在
WE10:8点の連続する点が+/−1σ値内に存在しない
以上の統計演算処理を実行する日時の入力において、入力欄IB30に入力する内容は、入力欄IB29のラジオボタンの選択によらず、同じである。ただ、入力欄IB29で(Timing)(Cycle)(Transaction)のいずれを選択しているかによって、入力欄IB30に入力された内容の解釈が異なる。
このように、入力欄29の(Timing)(Cycle)(Transaction)に対して入力欄30を共通化する画面構成により、入力欄IB29の(Timing)(Cycle)(Transaction)のそれぞれに対して対応する入力欄を設けるよりも、表示面積が省略され、表示内容をシンプルにすることができる。
また、以上のデータ収集条件、データの表示条件、及び統計処理の処理条件の設定画面では、各所にアンカーが配置され、アンカーをクリックすることで、新たなウインドウが表示され、選択リスト画面が表示される。ユーザは、選択リスト画面にリスト表示された選択肢から選択を行うことによって、条件設定を進めることができる。
例えばデバイス製造プロセスの最適化などにおいては、扱われる情報の数は膨大なものとなる。さらには、各情報がシステム上でどのような名称を付けられているか、そのすべてを完全に把握することは実質的に不可能である。このような状況において、データ収集条件、データの表示条件、統計処理の処理条件を設定する際に、単純に設定画面上に入力枠を設けて文字列をタイプすることを要求するようでは、人為的なミスが多発する可能性がある。
これに対して、以上で説明した設定画面では、アンカーが配置され、アンカーをクリックすることで、そこで選択することが妥当な選択肢がリスト表示されるため、文字列のタイプミスや選択不可能な設定を行ってしまうというミスは発生し難くなる。
最初に、ユーザはサーバ61に設けられた入力装置を操作して図4に示す収集条件の表示画面を表示させて収集条件を設定する。具体的には、まず収集条件の登録名(Plot Name)を入力欄IB1に入力し、必要であれば入力欄IB1に登録名を入力した収集条件に対するコメント(Description)を入力する。次に、データの収集先としての装置グループ名(Equipment Group Name)を入力欄IB3に入力し、データ収集対象となるレシピグループ名(Recipe Group Name)を入力欄IB4に入力する。更に、収集したデータを加工するためにデータに対して行う加工方法(演算)の演算式名(Expression Name)を入力欄IB5に入力し、演算結果値の計量単位(Unit)を入力欄IB6に入力し、演算サンプル数(Sampling Points)又は演算サンプル期間(Sampling Period)を入力欄IB7又は入力欄IB8に入力する。また、入力欄IB9で演算対象のデータ項目名(Data ItemName)を指定する。選択した演算式によって、指定するデータ項目の数は異なる。入力欄IB9の図中左側に表示されているアンカーをクリックすると、演算対象となるデータが一覧表示された演算対象データ項目選択リスト(Search Conditions - Data Item Name)画面が表示される。
最初に、ユーザはサーバ61に設けられた入力装置を操作して図4に示す収集条件の表示画面を表示させて収集条件を設定する。ここで入力する内容は、上記の(1)装置で得られたデータを表示する場合と同様である。以上の操作が終了すると、ユーザはサーバ61に設けられた入力装置を操作して図6に示す処理条件の表示画面を表示させて処理条件を設定する。具体的には、まず統計処理の登録名(SPC Name)を入力欄IB21に入力し、必要であれば入力欄IB21に登録名を入力した統計処理に対するコメント(Description)を入力欄IB22に入力する。次いで、統計処理の分類名(SPC Class Name)を入力欄IB23に入力し、統計処理の区分(SPC Type)を入力欄IB24に入力する。
また、図3に示した機能モジュールをソフトウエアにより展開する場合、コンピュータシステムによって以上説明した機能を実行させるためのプログラム、及び、このプログラムをコンピュータシステムで読出し及び実行可能な状態で記録した記録媒体も本発明に含まれる。
Claims (35)
- 少なくとも1つのデバイス処理装置を備えるデバイス処理システムにおいて、
前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定するデータ収集条件設定部と、
前記データを表示する表示条件を前記ユーザの指示に応じて設定するデータ表示条件設定部と、
前記データ収集条件設定部で設定された収集条件と前記データ表示条件設定部で設定された表示条件とに合致するデータを前記デバイス処理装置から収集するデータ収集部と、
前記データ収集部で収集された前記データを前記データ表示条件設定部で設定された表示条件に基づいて表示する表示部と
を有する支援装置を備えることを特徴とするデバイス処理システム。 - 少なくとも1つのデバイス処理装置を備えるデバイス処理システムにおいて、
前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定するデータ収集条件設定部と、
前記データに対して施す統計処理の処理条件を前記ユーザの指示に応じて設定する統計処理条件設定部と、
前記データ収集条件設定部で設定された収集条件と前記統計処理条件設定部で設定された処理条件とに合致するデータを前記デバイス処理装置から収集するデータ収集部と、
前記データ収集部で収集された前記データに対して、前記統計処理条件設定部で設定された処理条件に基づいた統計処理を行う統計処理部と、
前記統計処理部で行われた処理結果を表示する表示部と
を有する支援装置を備えることを特徴とするデバイス処理システム。 - 少なくとも1つのデバイス処理装置を備えるデバイス処理システムにおいて、
前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定するデータ収集条件設定部と、
前記データを表示する表示条件を前記ユーザの指示に応じて設定するデータ表示条件設定部と、
前記データに対して施す統計処理の処理条件を前記ユーザの指示に応じて設定する統計処理条件設定部と、
前記データ収集条件設定部で設定された収集条件、前記データ表示条件設定部で設定された表示条件、及び前記統計処理条件設定部で設定された処理条件に合致するデータを前記デバイス処理装置から収集するデータ収集部と、
前記データ収集部で収集された前記データに対して、前記統計処理条件設定部で設定された処理条件に応じた統計処理を行う統計処理部と、
前記データ収集部で収集された前記データ及び前記統計処理部で行われた処理結果の少なくとも一方を、前記データ表示条件設定部で設定された表示条件に基づいて表示する表示部と
を有する支援装置を備えることを特徴とするデバイス処理システム。 - 前記データ収集条件設定部は、前記データの収集先、収集するデータの種類、前記データの収集タイミング、及び収集したデータの加工方法の少なくとも1つを前記収集条件として設定することを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記載のデバイス処理システム。
- 前記データの収集タイミングは、定時、定周期、及び前記データを収集する前記デバイス処理装置の処理イベント発生時の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項4記載のデバイス処理システム。
- 前記データの加工方法の設定は、収集したデータに対して行う演算に関する演算式の設定であることを特徴とする請求項4記載のデバイス処理システム。
- 前記統計処理条件設定部は、前記統計処理の種類、前記統計処理に用いる演算式、前記統計処理を行う対象となるデータのデータ条件、前記統計処理結果の異常及び警告の少なくとも一方を判定する判定閾値、並びに前記統計処理を実行するタイミングの少なくとも1つを前記処理条件として設定することを特徴とする請求項2又は請求項3記載のデバイス処理システム。
- 前記統計処理を実行するタイミングは、定時、定周期、及び前記データを収集する前記デバイス処理装置の処理イベント発生時の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項7記載のデバイス処理システム。
- 前記統計処理の種類は、前記デバイス処理装置で前記データが得られた時点までの前記デバイス処理装置の装置状態を求める第1統計処理、及び前記デバイス処理装置で前記データが得られた時点以後の前記デバイス処理装置の装置状態を予測する第2統計処理の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項7記載のデバイス処理システム。
- 前記データ条件は、前記統計処理の対象にするデータの上限値及び下限値、並びに前記統計処理の対象外にするデータの上限値及び下限値の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項7記載のデバイス処理システム。
- 前記判定閾値は、前記統計処理の結果に対して異常と判定するための上限閾値及び下限閾値と、前記統計処理の結果に対して警告と判定するための上限閾値及び下限閾値との少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項7記載のデバイス処理システム。
- 前記表示条件設定部は、前記データをグラフ表示する際のグラフ種類、表示対象にするデータの種類、表示対象にするデータのグループ、表示対象にするデータのデータ条件、前記データの表示タイミング及び表示内容の更新タイミング、並びに表示内容の異常及び警告の少なくとも一方を判定する判定閾値の設定履歴表示の有無の少なくとも1つを前記表示条件として設定することを特徴とする請求項1又は請求項3記載のデバイス処理システム。
- 前記データ条件は、表示対象にするデータの上限値及び下限値、並びに表示対象外にするデータの上限値及び下限値の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項12記載のデバイス処理システム。
- 前記グラフ種類は、棒グラフ、線グラフ、面グラフ、2軸グラフ、公差グラフ、円グラフ、ドリルダウングラフ、散布図、3次元棒グラフ、3次元面グラフ、及び3次元散布図の少なくとも1つ以上を含むことを特徴とする請求項12記載のデバイス処理システム。
- 前記データのグループは、異なる複数のデータが所定の分類基準に従って分類されている状態であり、
前記表示部は、グループを単位として同一のグループに分類されているデータを表示することを特徴とする請求項12記載のデバイス処理システム。 - 前記データの表示タイミング及び表示内容の更新タイミングは、定時、定周期、及び前記データを収集する前記デバイス処理装置の処理イベント発生時の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項12記載のデバイス処理システム。
- 前記支援装置は、前記データの収集結果、表示結果、及び統計処理結果の少なくとも1つを示すレポートの通知条件を設定し、当該通知条件に基づいて前記レポートを前記ユーザに通知するレポート出力部を備えることを特徴とする請求項3記載のデバイス処理システム。
- 前記データ表示条件設定部は複数の表示条件の設定が可能であり、
前記表示部は、前記データ収集条件設定部で設定された収集条件と前記複数の表示条件とに基づいて収集されたデータに対して多面的なグラフ表示を行うことを特徴とする請求項1又は請求項3記載のデバイス処理システム。 - 前記表示部は、表示対象にするデータのグループが前記データ表示条件に設定されている場合には、当該グループに分類されているデータに関連するデータを階層的に表示することを特徴とする請求項1又は請求項3記載のデバイス処理システム。
- 前記支援装置は、表示内容及び統計処理結果の少なくとも一方の異常及び警告の少なくとも一方を判定する判定閾値が設定されている場合に、表示内容及び統計処理結果の少なくとも一方が前記判定閾値を超えた場合に、前記収集条件、表示条件、及び処理条件の少なくとも1つを自動的に最適化することを特徴とする請求項3記載のデバイス処理システム。
- 少なくとも1つのデバイス処理装置で得られた情報を表示する情報表示方法において、
前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定するステップと、
前記データを表示する表示条件を前記ユーザの指示に応じて設定するステップと、
設定された前記収集条件と前記表示条件とに合致するデータを前記デバイス処理装置から収集するステップと、
収集された前記データを前記表示条件に基づいて表示するステップと
を含むことを特徴とする情報表示方法。 - 少なくとも1つのデバイス処理装置で得られた情報を表示する情報表示方法において、
前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定するステップと、
前記データに対して施す統計処理の処理条件を前記ユーザの指示に応じて設定するステップと、
設定された前記収集条件と前記処理条件とに合致するデータを前記デバイス処理装置から収集するステップと、
収集された前記データに対して前記処理条件に基づいた統計処理を行うステップと、
前記統計処理の処理結果を表示するステップと
を含むことを特徴とする情報表示方法。 - 少なくとも1つのデバイス処理装置で得られた情報を表示する情報表示方法において、
前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定するステップと、
前記データを表示する表示条件を前記ユーザの指示に応じて設定するステップと、
前記データに対して施す統計処理の処理条件を前記ユーザの指示に応じて設定するステップと、
設定された前記収集条件、前記表示条件、及び前記処理条件に合致するデータを前記デバイス処理装置から収集するステップと、
収集された前記データに対して、前記処理条件に応じた統計処理を行うステップと、
収集された前記データ及び前記統計処理の処理結果の少なくとも一方を、前記表示条件に基づいて表示するステップと
を含むことを特徴とする情報表示方法。 - 少なくとも1つのデバイス処理装置で得られた情報を表示する情報表示プログラムにおいて、
前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定する処理と、
前記データを表示する表示条件を前記ユーザの指示に応じて設定する処理と、
設定された前記収集条件と前記表示条件とに合致するデータを前記デバイス処理装置から収集する処理と、
収集された前記データを前記表示条件に基づいて表示する処理と
を有することを特徴とする情報表示プログラム。 - 少なくとも1つのデバイス処理装置で得られた情報を表示する情報表示プログラムにおいて、
前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定する処理と、
前記データに対して施す統計処理の処理条件を前記ユーザの指示に応じて設定する処理と、
設定された前記収集条件と前記処理条件とに合致するデータを前記デバイス処理装置から収集する処理と、
収集された前記データに対して前記処理条件に基づいた統計処理を行う処理と、
前記統計処理の処理結果を表示する処理と
を有することを特徴とする情報表示プログラム。 - 少なくとも1つのデバイス処理装置で得られた情報を表示する情報表示プログラムにおいて、
前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定する処理と、
前記データを表示する表示条件を前記ユーザの指示に応じて設定する処理と、
前記データに対して施す統計処理の処理条件を前記ユーザの指示に応じて設定する処理と、
設定された前記収集条件、前記表示条件、及び前記処理条件に合致するデータを前記デバイス処理装置から収集する処理と、
収集された前記データに対して、前記処理条件に応じた統計処理を行う処理と、
収集された前記データ及び前記統計処理の処理結果の少なくとも一方を、前記表示条件に基づいて表示する処理と
を有することを特徴とする情報表示プログラム。 - 少なくとも1つのデバイス処理装置で得られた情報を表示する情報表示プログラムを記録した記録媒体において、
前記プログラムが、
前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定する処理と、
前記データを表示する表示条件を前記ユーザの指示に応じて設定する処理と、
設定された前記収集条件と前記表示条件とに合致するデータを前記デバイス処理装置から収集する処理と、
収集された前記データを前記表示条件に基づいて表示する処理と
を有するプログラムであることを特徴とする記録媒体。 - 少なくとも1つのデバイス処理装置で得られた情報を表示する情報表示プログラムを記録した記録媒体において、
前記プログラムが、
前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定する処理と、
前記データに対して施す統計処理の処理条件を前記ユーザの指示に応じて設定する処理と、
設定された前記収集条件と前記処理条件とに合致するデータを前記デバイス処理装置から収集する処理と、
収集された前記データに対して前記処理条件に基づいた統計処理を行う処理と
を有するプログラムであることを特徴とする記録媒体。 - 少なくとも1つのデバイス処理装置で得られた情報を表示する情報表示プログラムを記録した記録媒体において、
前記プログラムが、
前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定する処理と、
前記データを表示する表示条件を前記ユーザの指示に応じて設定する処理と、
前記データに対して施す統計処理の処理条件を前記ユーザの指示に応じて設定する処理と、
設定された前記収集条件、前記表示条件、及び前記処理条件に合致するデータを前記デバイス処理装置から収集する処理と、
収集された前記データに対して、前記処理条件に応じた統計処理を行う処理と、
収集された前記データ及び前記統計処理の処理結果の少なくとも一方を、前記表示条件に基づいて表示する処理と
を有するプログラムであることを特徴とする記録媒体。 - 所定パターンを基板上に露光する露光装置において、
前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定するデータ収集条件設定部と、
前記データを表示する表示条件を前記ユーザの指示に応じて設定するデータ表示条件設定部と、
前記データ収集条件設定部で設定された収集条件と前記データ表示条件設定部で設定された表示条件とに合致するデータを前記デバイス処理装置から収集するデータ収集部と、
前記データ収集部で収集された前記データを前記データ表示条件設定部で設定された表示条件に基づいて表示する表示部と
を有する支援装置を備えることを特徴とする露光装置。 - 所定パターンを基板上に露光する露光装置において、
前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定するデータ収集条件設定部と、
前記データに対して施す統計処理の処理条件を前記ユーザの指示に応じて設定する統計処理条件設定部と、
前記データ収集条件設定部で設定された収集条件と前記統計処理条件設定部で設定された処理条件とに合致するデータを前記デバイス処理装置から収集するデータ収集部と、
前記データ収集部で収集された前記データに対して、前記統計処理条件設定部で設定された処理条件に基づいた統計処理を行う統計処理部と、
前記統計処理部で行われた処理結果を表示する表示部と
を有する支援装置を備えることを特徴とする露光装置。 - 所定パターンを基板上に露光する露光装置において、
前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定するデータ収集条件設定部と、
前記データを表示する表示条件を前記ユーザの指示に応じて設定するデータ表示条件設定部と、
前記データに対して施す統計処理の処理条件を前記ユーザの指示に応じて設定する統計処理条件設定部と、
前記データ収集条件設定部で設定された収集条件、前記データ表示条件設定部で設定された表示条件、及び前記統計処理条件設定部で設定された処理条件に合致するデータを前記デバイス処理装置から収集するデータ収集部と、
前記データ収集部で収集された前記データに対して、前記統計処理条件設定部で設定された処理条件に応じた統計処理を行う統計処理部と、
前記データ処理部で収集された前記データ及び前記統計処理部で行われた処理結果の少なくとも一方を、前記データ表示条件設定部で設定された表示条件に基づいて表示する表示部と
を有する支援装置を備えることを特徴とする露光装置。 - 基板が所定のデバイス製造処理に供される前または後に、前記基板の特性の測定又は検査の少なくとも一方を行う測定・検査装置であって、
前記デバイス処理条件で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定するデータ収集条件設定部と、
前記データを表示する表示条件を前記ユーザの指示に応じて設定するデータ表示条件設定部と、
前記データ収集条件設定部で設定された収集条件と前記データ表示条件設定部で設定された表示条件とに合致するデータを前記デバイス処理装置から収集するデータ収集部と、
前記データ収集部で収集された前記データを前記データ表示条件設定部で設定された表示条件に基づいて表示する表示部と
を有する支援装置を備えることを特徴とする測定・検査装置。 - 基板が所定のデバイス製造処理に供される前または後に、前記基板の特性の測定又は検査の少なくとも一方行う測定・検査装置であって、
前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定するデータ収集条件設定部と、
前記データに対して施す統計処理の処理条件を前記ユーザの指示に応じて設定する統計処理条件設定部と、
前記データ収集条件設定部で設定された収集条件と前記統計処理条件設定部で設定された処理条件とに合致するデータを前記デバイス処理装置から収集するデータ収集部と、
前記データ収集部で収集された前記データに対して、前記統計処理条件設定部で設定された処理条件に基づいた統計処理を行う統計処理部と、
前記統計処理部で行われた処理結果を表示する表示部と
を有する支援装置を備えることを特徴とする測定・検査装置。 - 基板が所定のデバイス製造処理に供される前または後に、前記基板の特性の測定又は検査の少なくとも一方を行う測定・検査装置であって、
前記デバイス処理装置で得られたデータを収集する収集条件をユーザの指示に応じて設定するデータ収集条件設定部と、
前記データを表示する表示条件を前記ユーザの指示に応じて設定するデータ表示条件設定部と、
前記データに対して施す統計処理の処理条件を前記ユーザの指示に応じて設定する統計処理条件設定部と、
前記データ収集条件設定部で設定された収集条件、前記データ表示条件設定部で設定された表示条件、及び前記統計処理条件設定部で設定された処理条件に合致するデータを前記デバイス処理装置から収集するデータ収集部と、
前記データ収集部で収集された前記データに対して、前記統計処理条件設定部で設定された処理条件に応じた統計処理を行う統計処理部と、
前記データ収集部で収集された前記データ及び前記統計処理部で行われた処理結果の少なくとも一方を、前記データ表示条件設定部で設定された表示条件に基づいて表示する表示部と
を有する支援装置を備えることを特徴とする測定・検査装置。
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