JPWO2006011662A1 - エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
一般に、半導体装置は、半導体素子とリードフレーム間は、金線にて導通接続される。特にリードフレーム側は、金線とアルミパッドとが熱及び超音波により接合される。この時、金とアルミニウムは共晶、あるいは金属間化合物と呼ばれる合金を作る。高温下での保存時にはこの金属間化合物が成長し、クラックや腐食を生じさせることから接続抵抗が上昇するという問題がある。一方、高温下に電流を流し動作させる場合には、実電流を流すために電子の流れが生じる環境下での現象となり、電流の流れのない高温保管時とは、異なる挙動を示すことになる。特に高温、大電流下では、電子による金属間化合物の移動、すなわち電気的マイグレーションが発生し、陰極における金属間化合物の移動、接合部分におけるクラックやボイドの発生、抵抗値の増大、導通不良といった問題が起こる。
従来、高温保管下における信頼性(HTSL)の低下を改善するために、エポキシ樹脂組成物中の不純物を極力低減させたり、イオンキャッチャーを添加、或いは臭素、酸化アンチモン類といった難燃剤を根本的に含まない樹脂系の採用などによって、高温保管下における信頼性を維持させる手法が一般的となりつつある。この手法ではイオン性不純物の低減化とHTSLの向上はできるものの、素子の実働状態、すなわち、高温動作時の信頼性(HTOL)の向上という点では必ずしも満足できる手法ではなかった(例えば、特開2004−035781号公報(第2〜20頁)、特開2000−230111号公報(第2〜6頁)等)。
従って、本発明は、従来のこのような問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、高温動作時の信頼性(HTOL)の向上、とりわけ、自動車用等の150℃を超える高温環境下での動作時の信頼性に優れた特性を有する半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置を提供するものである。
また、本発明は、前記エポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなる半導体装置を提供するものである。
本発明によれば、高温動作時の信頼性、とりわけ、150℃を超える高温環境下での動作時の信頼性に優れた半導体封止用エポキシ樹脂組成物、及び半導体装置が得られるので、自動車用等の電子部品に用いる半導体装置に好適である。
上記エポキシ樹脂のうち、下記一般式(1);
(式中、R1、R2、R3、R4は水素原子または炭素数1〜4のアルキル基で、互いに同一又は異なっていてもよく、a及びdはそれぞれ0〜3の整数、b及びcはそれぞれ0〜4の整数、mは平均値で正数を示す。)で表されるエポキシ樹脂を全エポキシ樹脂(A)中、40〜100重量%、好ましくは50〜100重量%、特に好ましくは70〜100重量%用いると、低弾性率及び低吸水率の組成物が得られ、半田耐熱性の向上が見込まれると共に、HTOLが向上する点で好ましい。一般式(1)中、R1、R2、R3、R4は水素原子が好ましく、mは通常1〜3である。また、一般式(1)で表されるエポキシ樹脂のエポキシ当量は265〜285であり、軟化点は50〜63℃である。エポキシ樹脂として一般式(1)で表されるエポキシ樹脂を所定量以上用いると、HTOLが向上する理由は次ぎの通りである。高温下、電流を流し動作させる場合、金とAlの共晶が接合部から接合部の外へ移動する、所謂マイグレーションが始まる。マイグレーションが始まると接合部に隙間が生じ、電気抵抗値が上昇して接合部は発熱する。接合部周囲は発熱により半導体装置の雰囲気温度である150〜200℃よりも高温に晒され膨張する。一方、接合部分を封止する樹脂組成物の硬化物は雰囲気温度の影響を受けるため膨張せず、その結果、接合部には圧縮応力がかかる。この圧縮応力により、金とAlの共晶のマイグレーションが一層促進される。このような情況下、高温下でより弾性率の低い一般式(1)で表されるエポキシ樹脂を用いるため、樹脂組成物の硬化成分は接合部分で変形し易くなり、接合部における低応力化が図れ、金とAlの共晶のマイグレーションの促進を抑制して、HTOL特性を向上させることができる。
本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物に用いられるフェノール系樹脂(B)としては、1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有するモノマー、オリゴマー又はポリマー全般であり、その分子量、分子構造は特に限定するものではないが、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、フェノールアラルキル樹脂、ナフトールアラルキル樹脂等が挙げられる。フェノールアラルキル樹脂及びナフトールアラルキル樹脂は、フェニレン骨格またはビフェニレン骨格をそれぞれ有する樹脂が好ましい。
上記フェノール系樹脂のうち、下記一般式(2);
(式中、R5、R6、R7、R8は水素原子または炭素数1〜4の1アルキル基で、互いに同一又は異なっていてもよく、e及びhはそれぞれ0〜3の整数、f及びgはそれぞれ0〜4の整数、nは平均値で正数を示す。)で表されるフェノール樹脂、又は下記一般式(3);
(式中、R9、R10、R11は水素原子または炭素数1〜4のアルキル基で、互いに同一又は異なっていてもよく、i及びkはそれぞれ0〜3の整数、jは0〜4の整数、xは平均値で正数を示す。)で表されるフェノール樹脂を全フェノール系樹脂(B)中、40〜100重量%、好ましくは50〜100重量%、特に好ましくは70〜100重量%用いると、低弾性率及び低吸水率の組成物が得られ、半田耐熱性の向上が見込まれると共に、HTOLが向上する点で好ましい。一般式(2)中、R5、R6、R7、R8は水素原子が好ましく、nは通常1〜3である。また、一般式(2)で表されるフェノール樹脂の水酸基当量は190〜210であり、軟化点は63〜70℃である。また、一般式(3)中、R9、R10、R11は水素原子が好ましく、xは通常1〜5である。また、一般式(3)で表されるフェノール樹脂の水酸基当量は165〜190であり、軟化点は75〜90℃である。フェノール樹脂として一般式(2)及び/又は一般式(3)で表されるフェノール樹脂を所定量以上用いると、HTOLが向上する理由は、一般式(1)で表されるエポキシ樹脂を所定量以上用いる場合と同様の理由である。なお、上記一般式(2)又は上記一般式(3)は、併用してもよく、この場合、両者の合計配合量も上記範囲内である。
本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物に用いられる硬化促進剤(C)としては、エポキシ基とフェノール性水酸基との硬化反応を促進させるものであれば特に制限されず、一般に封止材料に使用されているものを広く使用することができる。例えば、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7等のアミン系化合物、2−メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物、トリフェニルホスフィン等の有機リン系化合物等が挙げられ、これらは1種単独又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物に用いるシリカ(D)としては、特に制限されず、球状溶融シリカ、破砕状溶融シリカが挙げられる。このうち、球状溶融シリカが最も好適に使用される。これらのシリカは、1種単独又は2種以上を組み合わせて使用することができる。またこれらシリカはカップリング剤により表面処理されていてもよい。シリカの形状としては、流動性改善のためにできるだけ真球状であり、かつ粒度分布がブロードであることが好ましい。
本発明においては、平均粒径が25μm以下であるシリカが全シリカ(D)中、70重量%以上を占める。これによりHTOLが向上する。前述の通り、高温下、電流を流し動作させると、電気的マイグレーションにより、金線とボンディングパットの接合部分にはボイドや微小クラックが発生する。このときボンディングパット付近にストレスが発生するとクラックの拡大が生じ、より短時間で導通不良が起こり易くなる。平均粒径が25μm以下であるシリカを全シリカ中、70重量%以上配合すると、ボンディングパット付近のストレス発生を効果的に抑制することができる。
上記平均粒径が25μm以下であるシリカは、平均粒径が15μm以下のものが好ましい。また、最大粒径としては、75μm以上の粒度が2重量%以下が好ましく、更に1重量%以下が好ましい。この最大粒径は湿式篩いの篩いの上に捕捉されたものを言う。また、大径粒子としては、64μm以上の粒子が20重量%以下が好ましく、更に10重量%以下が好ましい。この大径粒子は通常レーザー式粒度分布で測定されるものである。平均粒径が25μmを超えるもの、粒子径75μm以上の割合が2重量%を超えるもの、又は粒子径64μm以上の割合が20重量%を超えるものを用いると、接合部近傍に存在する樹脂組成物の硬化物中の大粒径粒子と接合部との線膨張差によりストレスが発生し、接合部の導通不良を促進する。また、平均粒径が25μm以下であるシリカの含有量は、全シリカ中、70重量%以上であり、好ましくは80重量%以上であり、特に好ましくは100重量%である。当該シリカの含有量が70重量%未満では、大粒子の占める割合が増え、金線接合部近傍において、大粒子と接合部との線膨張差によりストレスが発生し、接合部の導通不良を促進する。シリカの平均粒径の下限値としては、樹脂組成物の粘度上昇、コスト等を勘案し5μm以上であることが望ましい。
本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物に用いられるアルミナ及び/又は水酸化アルミニウム(E)は、アルミニウム元素含有率が、エポキシ樹脂組成物中、0.25重量%以上5重量%以下、好ましくは1重量%以上4重量%以下となるように配合される。0.25重量%未満では十分なHTOL特性を付与することができない。また5重量%を越えて大量添加してもHTOL改善の効果は変わらないが、成形品強度、流動性低下などの問題が発生するため好ましくない。半導体封止用エポキシ樹脂組成物にアルミナや水酸化アルミニウムを配合させることは、特開平10−182941号公報などに開示されている。しかしながら、従来のアルミナや水酸化アルミニウムの配合は、半導体素子からの発熱を発散させる目的であるか、あるいは難燃性付与を目的としたものであり、HTOL特性の向上を目的としたものではない。
アルミニウム元素を所定量配合させることでHTOLが向上する理由は次ぎの通りである。金とAlの共晶が陰極からその外側へ移動する際、陰極を封止する樹脂組成物の硬化物はAl元素を含むため、このAl元素濃度の影響を受けて金とAlの共晶の移動が起こり難くなる。また、樹脂組成物中にAl元素を含むと高温保存下(HTSL)において、金とAlの共晶の成長を抑制することから、更に電流が流れるHTOL条件下においても共晶の成長を抑止し、電気的移動を遅らせる。このように、アルミニウム元素の含有量をエポキシ樹脂組成物中、0.25重量%以上5重量%以下とすることで、電気的マイグレーションを大幅に抑制することが可能となるものである。
上記アルミナは、平均粒径が25μm以下が好ましく、更に平均粒径が15μm以下のものが好ましい。また、大きすぎる粒子は含まないことが好ましく、最大粒径としては、75μm以上の粒度が2重量%以下、更に1重量%以下が好ましい。この最大粒径は湿式篩いの篩いの上に捕捉されたものを言う。また、大径粒子としては、64μm以上の粒子が20重量%以下が好ましく、更に10重量%以下が好ましい。小径粒子としては、1μm以下の粒子が20重量%以下が好ましく、更に10重量%以下が好ましい。この大径粒子及び小径粒子はレーザー式粒度分布で測定されるものである。また、アルミナは通常六角平面状の結晶を持ち、結晶に方向性が出るため組成物に添加した場合、わずかな影響ではあるが熱時、接合部に応力が発生し易くなる。このため、アルミナとして、球状アルミナを用いることが、熱時に接合部への応力を低減させることができるため更にHTOL特性の向上が図れる点で好ましい。
また、上記水酸化アルミニウムは、平均粒径が25μm以下、特に20μm以下、更に10μm以下のものが好ましい。また、最大粒径としては、75μm以上の粒度が2重量%以下が好ましく、更に1重量%以下が好ましい。この最大粒径は湿式篩いの篩いの上に捕捉されたものを言う。また、大径粒子としては、64μm以上の粒子が20重量%以下が好ましく、更に10重量%以下が好ましい。小径粒子としては、0.5μm以下の粒子が30重量%以下が好ましく、更に15重量%以下が好ましい。この大径粒子及び小径粒子はレーザー式粒度分布で測定されるものである。水酸化アルミニウムは、その平均粒径がシリカ及びアルミナの平均粒径に比べて小さいものを使用すれば、難燃性を一層向上させることができる点で好ましい。
アルミナ及び水酸化アルミニウムの平均粒径及び粒度分布を上記範囲とするとHTOLが向上する理由は次ぎの通りである。前述の通り、アルミニウム元素の配合により電気的マイグレーションを抑制することができるものの、一旦電気的マイグレーションが起こると接合部分の強度が低下することになる。一方、半導体装置が高温に曝されることで接合部分には応力が発生する。接合部分の応力が接合部分の強度を上回ると、接合部分の剥がれ、すなわちボンドリフトが起こり、接続抵抗が上昇する。そのため、HTOLの向上には、電気的マイグレーションを大幅に抑制することに加え、更に応力を低下させることが重要となる。
接合部分の周囲には樹脂組成物中のシリカ並びにアルミナ及び/又は水酸化アルミニウム等の粒子状の無機充填材が存在するが、無機充填材の熱時の弾性率は樹脂に比べると大きいため、接合部分に生じる応力の原因となる。無機充填材起因の応力を下げるためには、無機充填材の粒子の大きさを調整する必要がある。本樹脂組成物において、アルミナ及び/又は水酸化アルミニウムを含むことで電気的マイグレーションを大幅に抑制することができるものの、アルミナ及び水酸化アルミニウムの線膨張係数は溶融シリカに比べ大きいため、溶融シリカよりもアルミナ及び水酸化アルミニウムが熱時に接合部へ応力を発生させる要因となる。そこで、アルミナ及び水酸化アルミニウムの平均粒径を25μm以下とすることで、アルミナ及び水酸化アルミニウムに起因する応力の発生を極力抑制することができる。アルミナ及び水酸化アルミニウムの平均粒径が25μmを超えると、ボンドリフトの原因となり、十分なHTOL特性を発揮しない可能性がある。アルミナ及び水酸化アルミニウムの平均粒径の下限値は1μmであることが、樹脂組成物の粘度上昇、コスト等の点で望ましい。
また、本発明に用いるアルミナ及び水酸化アルミニウムは、半導体封止用樹脂組成物に用いることを考慮すると、耐熱性、低不純物、耐薬品性に優れたものが好ましい。
本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物には、更に、(F)25℃で固形のシリコーンゴム及び/又は25℃で液状のシリコーンオイルを全エポキシ樹脂組成物中、0.5重量%以上5%重量以下含有させることが、HTOL特性を一層向上させることができる点で好ましい。配合量が0.5%未満では、熱時の接合部への応力低減効果が十分に発揮できず、また5重量%を超えては応力を低減させることはできるものの、流動性の低下、機械強度の低下が起こり好ましくない。25℃で固形のシリコーンゴムは、オルガノポリシロキサンを三次元架橋した構造を基本骨格としたものである。この固形のシリコーンゴムには各種官能基を導入することが可能であり、導入できる官能基としては、特に制限されず、例えばエポキシ基、アミノ基、メトキシ基、フェニル基、カルボキシル基、水酸基、アルキル基、ビニル基、メルカプト基等が挙げられる。オルガノポリシロキサンを得る方法としては、特に制限されないが、通常、メチルクロロシラン、トリメチルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシラン等のオルガノクロロシランを重合させることにより得られる。また、このシリコーンゴムに各種官能基を導入する方法としては、特に制限されず、通常、各種官能基を有するアリル化合物を付加反応させる方法が挙げられる。この場合、オルガノポリシロキサンを得てから付加反応させる方法であっても、オルガノクロロシランに各種官能基を有するアリル化合物を付加反応させ、その後重合する方法であってもよい。
25℃で液状のシリコーンオイルは、ポリオルガノシロキサンを主成分とする化合物である。25℃で液状のシリコーンオイルの末端又は側鎖には各種官能基を導入することが可能である。導入できる官能基としては、特に限定されないが、エポキシ基、アミノ基、メトキシ基、フェニル基、カルボキシル基、水酸基、アルキル基、ビニル基、メルカプト基等が挙げられる。これら官能基の中、カルボキシル基、エポキシ基、ポリエーテル基が、エポキシ樹脂との相溶性が良好であり好ましい。オルガノポリシロキサンを得る方法としては、特に制限されないが、通常、メチルクロロシラン、ジメチルジクロロシラン等の3次元架橋性のないオルガノクロロシランを重合させることにより線状のオルガノポリシロキサンを得る方法が挙げられる。またこの線状のオルガノポリシロキサンに各種官能基を導入する方法としては、特に制限されず、通常、各種官能基を有するアリル化合物を付加反応させることで得られるが、オルガノポリシロキサンを得てから付加反応させる方法であっても、またオルガノクロロシランに各種官能基を有するアリル化合物を付加反応させ、その後重合する方法であってもよい。
25℃で固形のシリコーンゴムと25℃で液状のシリコーンオイルのいずれか一方または双方を含有することで、更に、無機充填材起因の応力を下げることが可能となる。また、本発明においては、25℃で固形のシリコーンゴムと25℃で液状のシリコーンオイルを併用することにより、より低弾性でかつ高流動、高強度な特性を得ると共に、HTOL特性を向上させることができるため更に好ましい。
本組成物には更に必要に応じて、従来より半導体封止用エポキシ樹脂組成物に使用されている充填材、例えばチタンホワイト、窒化珪素等を用いることも可能であるが、前述のような理由から、平均粒径は25μm以下のものを用いることが望ましい。
本発明のエポキシ樹脂組成物は、(A)〜(E)又は(A)〜(F)成分を必須成分とするが、必要に応じて、臭素化エポキシ樹脂、三酸化アンチモン、リン化合物、水酸化マグネシウム、硼酸化合物等の難燃剤類、酸化ビスマス水和物等の無機イオン交換体、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランやγ−アミノプロピルトリエトキシシラン等のカップリング剤、カーボンブラック、ベンガラ等の着色剤、ポリブタジエン系ゴム、NBRゴム等の低応力化成分、天然ワックス、合成ワックス、高級脂肪酸及びその金属塩類もしくはパラフィン等の離型剤等の各種添加剤を配合することもできる。但し、臭素化エポキシ樹脂、三酸化アンチモンは、大量に添加すると、HTSLにおける信頼性を低下させるため、HTSLにおける信頼性を満足できる範囲内で少量添加してもよい。
本発明のエポキシ樹脂組成物は、ミキサー等を用いて常温混合し、ロール、ニーダー、押し出し機等の混錬機で溶融混錬し、冷却後粉砕する一般的な方法で得られる。
本発明の半導体装置は、前記エポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなる。本発明のエポキシ樹脂組成物を用いて、半導体素子等の電子部品を封止し、半導体装置を製造するには、トランスファーモールド、コンプレッションモールド、インジェクションモールド等の成形方法で成形硬化すればよい。本発明の半導体装置において、半導体素子は、通常リードフレーム又は基板に金線で接合されている。
本発明の半導体装置は、150℃を超える高温環境下での動作保証が要求される電子部品に好適に使用される。このような電子部品としては、特に制限されないが、例えばパワートランジスタ、イグナイター、パワーアンプ等が挙げられる。
次に、実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明するが、これは単に例示であって、本発明を制限するものではない。配合割合は重量部である。
実施例1
下記の成分をミキサーを用いて混合した後、表面温度が90℃と45℃の2本ロールを用いて混練し、冷却後粉砕してエポキシ樹脂組成物を得た。得られたエポキシ樹脂組成物を以下の評価方法で評価した。その結果を第1表に示す。
ビフェニル型エポキシ樹脂 5.65重量部
(ジャパンエポキシレジン(株)製 YX−4000K、エポキシ当量185、融点105℃)
フェノールアラルキル樹脂2;式(3)で表されるフェノール樹脂
5.35重量部
(三井化学(株)製XL−225、軟化点79℃、水酸基当量174)
TPP:トリフェニルホスフィン 0.20重量部
球状溶融シリカB 86.50重量部
(平均粒径11μm、粒径75μm以上の粒子の割合0.3重量%、粒径64μm以上の粒子の割合3重量%、比表面積4.8mm2/g)
球状アルミナ 1.50重量部
(平均粒径20μm、粒径75μm以上の粒子の割合0.2重量%、粒径64μm以上の粒子の割合5重量%)
γ−グリシジルプロピルトリメトキシシラン 0.30重量部
カルナバワックス 0.20重量部
カーボンブラック 0.30重量部
(評価方法)
スパイラルフロー:低圧トランスファー成形機を用いて、EMMI−1−66に準じたスパイラルフロー測定用金型に、金型温度175℃、注入圧力6.9MPa、硬化時間120秒の条件でエポキシ樹脂組成物を注入し、流動長を測定した。単位はcmである。
ガラス転移温度(Tg):トランスファー成形機を用いて、金型温度175℃、注入圧力9.8MPa、硬化時間180秒で、10mm×4mm×4mmの試験片を成形し、ポストキュアとして175℃で8時間処理した後、昇温速度5℃/分でTMA分析した。得られたTMA曲線の60℃、及び240℃の接線の交点温度を読み取り、この温度をガラス転移温度とした。測定にはセイコーインスツルメンツ(株)製TMA−100を用いた。単位は℃である。
曲げ強さ及び曲げ弾性率:トランスファー成形機を用いて、金型温度175℃、圧力9.8MPa、硬化時間120秒で、長さ80mm、幅10mm、厚さ4mmの試験片を成形し、ポストキュアとして175℃で8時間加熱処理した後、260℃での曲げ強さ、曲げ弾性率をJIS K 6911に準じて測定した。単位は、いずれもMPaである。
煮沸吸水率:低圧トランスファー成形機を用いて、金型温度175℃、注入圧力9.8MPa、硬化時間120sで直径50mm、厚さ3mmの円盤状試験片を成形し、ポストキュアとして175℃で8時間処理した。試験片の吸湿処理前と、24Hr純水中で煮沸処理後の重量変化を測定し、試験片の吸水率を百分率で示した。単位は%である。
耐半田性:低圧トランスファー成形機を用いて、金型温度175℃、注入圧力8.3MPa、硬化時間120秒で、160ピンLQFPを成形し、175℃、8時間で後硬化させた。160ピンLQFPはパッケージサイズ24×24mm、厚み1.4mm、シリコンチップサイズ7.0×7.0mm、リードフレームは銅素材に銅のフラッシュメッキを施したものを用いて成形した。得られたパッケージを85℃、相対湿度85%の環境下で72時間(10ヶ)、並びに168時間(10ヶ)加湿処理し、その後260℃の半田槽に10秒間浸漬した。顕微鏡で外部クラックを観察し、クラック発生率[(クラック発生率)=(クラック発生パッケージ数)/(全パッケージ数)×100]を%で表示した。
高温保管特性:トランスファー成形機を用いて、金型温度175℃、圧力9.8MPa、硬化時間2分で、チップサイズ3.5mm×3.5mmの16pSOPを成形し、175℃、8時間で後硬化した後、185℃での高温保管試験を行った。配線間の電気抵抗値が初期値に対し20%増加したパッケージを不良と判定し、不良になるまでの時間を測定した。不良時間はn=4ヶの平均値。単位は時間である。
高温動作特性:トランスファー成形機を用いて、金型温度175℃、圧力9.8MPa、硬化時間2分で、チップサイズ3.5mm×3.5mmの16pSOPを成形し、175℃、8時間で後硬化した後、デイジーチェーンにつないだ両端に0.5Aの直流電流を流し、この状態で185℃での高温保管を行った。配線間の電気抵抗値が初期値に対し20%増加したパッケージを不良と判定し、不良になるまでの時間を測定した。不良時間はn=4ヶの平均値で示し、単位は時間である。
実施例2〜11、比較例1〜7
第1表及び第2表に示す配合とする以外は、実施例1と同様にしてエポキシ樹脂組成物を得ると共に、同様の評価方法で評価した。結果を第1表及び第2表に示す。なお、実施例1以外で用いた成分について以下に示す。
オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂:日本化薬(株)製、EOCN−1020−62、軟化点62℃、水酸基当量198
アラルキル型エポキシ樹脂:式(4)に示すエポキシ樹脂、軟化点58℃、エポキシ当量272
ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂:大日本インキ工業(株)製、HP−7200、軟化点60℃、水酸基当量263
Br化エポキシ樹脂:日本化薬(株)製、BREN−S、軟化点84℃、水酸基当量273
フェノールノボラック型樹脂:軟化点80℃、水酸基当量104
フェノールアラルキル樹脂1:式(5)に示すフェノール樹脂、軟化点73℃、水酸基当量200
DBU:1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7
球状溶融シリカA:平均粒径8μm、粒径75μm以上の粒子の割合0.5重量%、粒径64μm以上の粒子の割合1重量%、比表面積5.4m2/g
球状溶融シリカC:平均粒径18μm、粒径75μm以上の粒子の割合0.1重量%、粒径64μm以上の粒子の割合4重量%、比表面積3.0m2/g
球状溶融シリカD:平均粒径30μm、粒径75μm以上の粒子の割合0.8重量%、粒径64μm以上の粒子の割合12重量%、比表面積1.3m2/g
アルミナ:平均粒径20μm、粒径75μm以上の粒子の割合0.5重量%、粒径64μm以上の粒子の割合5重量%、六角平面状結晶品
水酸化アルミニウム:平均粒径3μm、粒径75μm以上の粒子の割合0重量%、粒径64μm以上の粒子の割合0.1重量%
固形シリコーンゴム:ジメチルシリル基を主成分としたオルガノシリコーンゴム架橋物(平均粒径12μm)
液状シリコーンオイル:メチルシリル基側鎖にポリエチレンエーテルならびにポリプロピレンエーテルの重合体がグラフトされ、かつポリエチレンエーテルならびにポリプロピレンエーテルの重合体のメチルシリル基ではない末端がメチル基又はエポキシ基を有し、かつジメチルシリコーン含量が20%のシリコーンオイル
低応力化剤:アクリロニトリル、ブタジエン変性ゴム(アクリロニトリルとブタジエンの変性比率;50:50、平均粒径3μm)
酸化亜鉛:平均粒径0.5μm
水酸化マグネシウム:Mg(OH)2、平均粒径3μm
Claims (10)
- (A)エポキシ樹脂、(B)フェノール系樹脂、(C)硬化促進剤、(D)シリカ、並びに(E)アルミナ及び/又は水酸化アルミニウムを必須成分とするエポキシ樹脂組成物であって、アルミニウム元素含有率が該エポキシ樹脂組成物中、0.25重量%以上5重量%以下であり、平均粒径が25μm以下であるシリカが全シリカ中の70重量%以上を占めることを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 更に、(F)25℃で固形のシリコーンゴム及び/又は25℃で液状のシリコーンオイルをエポキシ樹脂組成物中、0.5重量%以上5%重量以下含有することを特徴とする請求項1記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 前記アルミナ及び水酸化アルミニウムの平均粒径が25μm以下であることを特徴とする請求項1記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 前記アルミナが、球状アルミナであることを特徴とする請求項1記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 150℃を超える高温環境下で使用される半導体装置の封止に用いることを特徴とする請求項1記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置。
- 前記半導体素子は、リードフレーム又は基板に金線で接合されていることを特徴とする請求項8記載の半導体装置。
- 150℃を超える高温環境下で使用されることを特徴とする請求項8記載の半導体装置。
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