JPWO2005015966A1 - プリント配線板およびその製造方法 - Google Patents
プリント配線板およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2005015966A1 JPWO2005015966A1 JP2005513568A JP2005513568A JPWO2005015966A1 JP WO2005015966 A1 JPWO2005015966 A1 JP WO2005015966A1 JP 2005513568 A JP2005513568 A JP 2005513568A JP 2005513568 A JP2005513568 A JP 2005513568A JP WO2005015966 A1 JPWO2005015966 A1 JP WO2005015966A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- wiring board
- printed wiring
- conductor
- resist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/108—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern by semi-additive methods; masks therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/03—Metal processing
- H05K2203/0361—Stripping a part of an upper metal layer to expose a lower metal layer, e.g. by etching or using a laser
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/05—Patterning and lithography; Masks; Details of resist
- H05K2203/0562—Details of resist
- H05K2203/0597—Resist applied over the edges or sides of conductors, e.g. for protection during etching or plating
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/11—Treatments characterised by their effect, e.g. heating, cooling, roughening
- H05K2203/1184—Underetching, e.g. etching of substrate under conductors or etching of conductor under dielectrics; Means for allowing or controlling underetching
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
- H05K3/06—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
- H05K3/061—Etching masks
- H05K3/062—Etching masks consisting of metals or alloys or metallic inorganic compounds
Abstract
Description
[図1B]図1Bは、本発明の第一の実施形態による導電性シード層形成後におけるプリント配線板の断面図である。
[図1C]図1Cは、本発明の第一の実施形態によるフォトリソグラフィー工程におけるプリント配線板の断面図である。
[図1D]図1Dは、本発明の第一の実施形態による現像後におけるプリント配線板の断面図である。
[図1E]図1Eは、本発明の第一の実施形態によるめっき後におけるプリント配線板の断面図である。
[図1F]図1Fは、本発明の第一の実施形態によるレジスト除去後におけるプリント配線板の断面図である。
[図1G]図1Gは、本発明の第一の実施形態による再めっき後におけるプリント配線板の断面図である。
[図1H]図1Hは、本発明の第一の実施形態によるめっき除去後におけるプリント配線板の断面図である。
[図2A]図2Aは、アンダーカット部分を有する再めっき前の状態である。
[図2B]図2Bは、ハイスロー浴によって追加めっき層を形成した場合を説明する断面図である。
[図2C]図2Cは、ビアフィル浴によって追加めっき層を形成した場合を説明する断面図である。
[図3A]図3Aは、本発明の第二の実施形態によるめっき除去後におけるプリント配線板の断面図である。
[図3B]図3Bは、本発明の第二の実施形態の変形例によるめっき除去後におけるプリント配線板の断面図である。
[図4A]図4Aは、従来の技術によるフォトリソグラフィー工程後におけるプリント配線板の断面図である。
[図4B]図4Bは、従来の技術によるめっき後におけるプリント配線板の断面図である。
[図4C]図4Cは、従来の技術によるレジスト除去後におけるプリント配線板の断面図である。
[図4D]図4Dは、従来の技術によるめっき除去後におけるプリント配線板の断面図である。
硫酸銅濃度60〜90g/リットル、硫酸濃度165〜210g/リットル、塩素イオン30〜75mg/リットル、スルーホールめっき用添加剤カパーグリームCLX−A(日本リーロナール株式会社製)3〜7ミリリットル/リットル、スルーホールめっき用添加剤カパーグリームCLX−C(日本リーロナール株式会社製)5〜15ミリリットル/リットル、電流密度0.1〜4A/dm2、目標膜厚0.5〜1μm。
硫酸銅濃度160〜240g/リットル、硫酸濃度40〜80g/リットル、塩素イオン30〜70mg/リットル、フィルドビアめっき用添加剤トップルチナBVF(奥野製薬株式会社製)2〜10ミリリットル/リットル、電流密度0.1〜5A/dm2、目標膜厚0.2〜3μm。
Claims (13)
- 絶縁基材と、
前記絶縁基材上のアンダーカット部を有する第1の導体と、前記アンダーカット部を埋める第2の導体と、を備えた、導体回路と、
を備えた、プリント配線板。 - さらに前記絶縁基材と前記第1の導体との間に介在された導電性シード層を備え、前記第1の導体は、アディティブ法により前記導電性シード層上に形成されたものである、請求項1のプリント配線板。
- 前記導体回路は、矩形または底部に向かって末広がりの裾部を有する断面形状を有する、請求項1のプリント配線板。
- 前記裾部は、前記アンダーカット部の底から前記裾部の張り出しの端までの幅が、前記アンダーカット部の深さに対して1〜3倍となるべく、張り出している、請求項3のプリント配線板。
- 前記第1の導体と、前記第2の導体は、実質的に同一の熱膨張係数を有する物質によりそれぞれ構成されている、請求項1のプリント配線板。
- 前記絶縁基材と前記第1の導体との間に介在された、前記第2の導体と実質的に耐エッチング性を有する、導電性シード層をさらに備える、請求項1のプリント配線板。
- 絶縁基材と、
前記絶縁基材上の導電性シード層と、
前記導電性シード層上であってめっき層を有する導電性回路と、を備え、
前記導電性回路の上方から見て、前記導線性シード層の輪郭は、前記導電性回路の輪郭に対して、一致するか、または取り囲んでいる、プリント配線板。 - 絶縁基材上の導電性シード層上にレジスト層を形成する、レジスト層形成工程と、
パターンニングされためっき用レジストを形成すべく、前記レジスト層に露光、現像を行う、フォトリソグラフィー工程と、
前記フォトリソグラフィー工程において前記レジスト層が除去された部分に導体回路を形成すべく、電解めっきを行う、めっき工程と、
前記パターンニングされためっき用レジストを除去する、レジスト除去工程と、
前記導体回路が有するアンダーカットを埋めるべく追加めっきを行う、追加めっき工程と、
を含む、プリント配線板の製造方法。 - 前記追加めっき工程は、前記レジスト除去工程後に全面をめっきする再めっき工程と、必要な部分を残してめっきを除去する除去工程と、を含む、請求項8のプリント配線板の製造方法。
- 前記再めっき工程においてハイスロー浴を利用する、請求項9のプリント配線板の製造方法。
- 前記再めっき工程においてビアフィル浴を利用する、請求項9のプリント配線板の製造方法。
- 前記ビアフィル浴は、めっき液の循環が悪い部分のめっきを相対的に促進する機能を有する添加剤を含む、請求項11のプリント配線板の製造方法。
- 前記ビアフィル浴は、被めっき物がめっきされるのを抑制する機能を有する添加剤を含む、請求項11のプリント配線板の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003292104 | 2003-08-12 | ||
JP2003292104 | 2003-08-12 | ||
PCT/JP2004/011535 WO2005015966A1 (ja) | 2003-08-12 | 2004-08-11 | プリント配線板およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2005015966A1 true JPWO2005015966A1 (ja) | 2006-10-12 |
JP4195706B2 JP4195706B2 (ja) | 2008-12-10 |
Family
ID=34131695
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005513568A Expired - Fee Related JP4195706B2 (ja) | 2003-08-12 | 2004-08-11 | プリント配線板およびその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7776199B2 (ja) |
JP (1) | JP4195706B2 (ja) |
CN (1) | CN1836472B (ja) |
WO (1) | WO2005015966A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100891531B1 (ko) * | 2007-09-10 | 2009-04-03 | 주식회사 하이닉스반도체 | 패턴 정렬 불량 검출 장치 |
JP5227753B2 (ja) * | 2008-02-12 | 2013-07-03 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板の製造方法 |
CN102373492A (zh) * | 2010-08-13 | 2012-03-14 | 北大方正集团有限公司 | 电路板表面进行选择性电镀的方法和电路板 |
JP2015023251A (ja) * | 2013-07-23 | 2015-02-02 | ソニー株式会社 | 多層配線基板およびその製造方法、並びに半導体製品 |
JP6775391B2 (ja) * | 2016-11-18 | 2020-10-28 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板及びその製造方法 |
CN107041078B (zh) * | 2017-05-27 | 2019-04-19 | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 | 高密度柔性基板的制造方法 |
JP6924090B2 (ja) * | 2017-07-21 | 2021-08-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置 |
CN109673112B (zh) * | 2017-10-13 | 2021-08-20 | 鹏鼎控股(深圳)股份有限公司 | 柔性电路板以及柔性电路板的制作方法 |
CN109729639B (zh) * | 2018-12-24 | 2020-11-20 | 奥特斯科技(重庆)有限公司 | 在无芯基板上包括柱体的部件承载件 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06333998A (ja) * | 1993-05-20 | 1994-12-02 | Shinko Electric Ind Co Ltd | Tabテープの製造方法及びリードフレームの製造方法 |
JPH088498A (ja) * | 1994-06-21 | 1996-01-12 | Canon Inc | 配線構造、その製造方法および該配線構造を用いた画像形成装置 |
JP2001196744A (ja) * | 2000-01-07 | 2001-07-19 | Ibiden Co Ltd | 多層プリント配線板の製造方法 |
JP2001196740A (ja) * | 2000-01-07 | 2001-07-19 | Ibiden Co Ltd | 多層プリント配線板の製造方法 |
JP2001284749A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プリント配線板 |
JP2003023236A (ja) * | 2001-07-06 | 2003-01-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 配線板およびその製造方法 |
JP2003045871A (ja) * | 2001-07-26 | 2003-02-14 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線パターンの形成方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3940320A (en) * | 1972-12-14 | 1976-02-24 | M & T Chemicals Inc. | Electrodeposition of copper |
JPS6456262A (en) | 1987-08-28 | 1989-03-03 | Akebono Brake Ind | Brake liquid pressure controller for vehicle |
JPH06244535A (ja) | 1993-02-16 | 1994-09-02 | Hitachi Ltd | 配線パターン形成方法 |
JP3234757B2 (ja) * | 1995-12-05 | 2001-12-04 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | 多層配線基板及びその製造方法 |
JP3890631B2 (ja) | 1996-08-08 | 2007-03-07 | イビデン株式会社 | プリント配線板の製造方法 |
US6444110B2 (en) * | 1999-05-17 | 2002-09-03 | Shipley Company, L.L.C. | Electrolytic copper plating method |
JP2001028477A (ja) | 1999-07-13 | 2001-01-30 | Murata Mfg Co Ltd | 金属配線の形成方法および金属配線 |
JP2005158848A (ja) * | 2003-11-21 | 2005-06-16 | Nitto Denko Corp | 配線回路基板の製造方法 |
-
2004
- 2004-08-11 US US10/567,779 patent/US7776199B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-08-11 WO PCT/JP2004/011535 patent/WO2005015966A1/ja active Application Filing
- 2004-08-11 JP JP2005513568A patent/JP4195706B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-08-11 CN CN2004800231566A patent/CN1836472B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06333998A (ja) * | 1993-05-20 | 1994-12-02 | Shinko Electric Ind Co Ltd | Tabテープの製造方法及びリードフレームの製造方法 |
JPH088498A (ja) * | 1994-06-21 | 1996-01-12 | Canon Inc | 配線構造、その製造方法および該配線構造を用いた画像形成装置 |
JP2001196744A (ja) * | 2000-01-07 | 2001-07-19 | Ibiden Co Ltd | 多層プリント配線板の製造方法 |
JP2001196740A (ja) * | 2000-01-07 | 2001-07-19 | Ibiden Co Ltd | 多層プリント配線板の製造方法 |
JP2001284749A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プリント配線板 |
JP2003023236A (ja) * | 2001-07-06 | 2003-01-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 配線板およびその製造方法 |
JP2003045871A (ja) * | 2001-07-26 | 2003-02-14 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線パターンの形成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7776199B2 (en) | 2010-08-17 |
JP4195706B2 (ja) | 2008-12-10 |
WO2005015966A1 (ja) | 2005-02-17 |
US20070158104A1 (en) | 2007-07-12 |
CN1836472B (zh) | 2010-06-16 |
CN1836472A (zh) | 2006-09-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9907164B2 (en) | Printed circuit board and method for manufacturing the same | |
US11690178B2 (en) | Multilayer printed wiring board and method of manufacturing the same | |
US9497853B2 (en) | Printed circuit board and method for manufacturing the same | |
JP4195706B2 (ja) | プリント配線板およびその製造方法 | |
TWI625991B (zh) | 電路板結構與其製造方法 | |
JP2006502590A (ja) | プリント回路基板の製造方法 | |
JP2004047836A (ja) | プリント配線板とその製造方法 | |
TW201519719A (zh) | 配線基板及其製造方法 | |
JPH1187931A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
JPH05327224A (ja) | 多層配線基板の製造方法及びその製造方法で製造される多層配線基板 | |
JP2010205801A (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP2009272571A (ja) | プリント配線基板及びその製造方法 | |
JP2001156453A (ja) | プリント配線板における埋め込みヴィアの形成方法 | |
JP2005136282A (ja) | 多層配線基板及びその製造方法 | |
JP4029005B2 (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP2647007B2 (ja) | 印刷配線板の製造方法 | |
JP2008088521A (ja) | 深さの異なるビアへのめっき充填方法 | |
JP3763666B2 (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
JPH06310853A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
US20030034175A1 (en) | Configurations and methods for improved copper distribution uniformity in printed wiring boards | |
JP3191686B2 (ja) | 印刷配線板の製造方法 | |
JPH0682928B2 (ja) | 半導体素子搭載用多層印刷配線板の製造方法 | |
KR20120024288A (ko) | 인쇄회로기판의 도금층 형성 방법 | |
KR20090087154A (ko) | 미세 피치의 인쇄회로기판 제조를 위한 완전 부가 공법 | |
JP2002359467A (ja) | フィルドビア構造を有する多層プリント配線板及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080509 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080707 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080916 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080926 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111003 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121003 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121003 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131003 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |