JPWO2004033148A1 - 薄肉円板状工作物の両面研削方法および両面研削装置 - Google Patents

Abstract

研削加工後のワーク変形量から、砥石車の姿勢の狂いを検出して、砥石車を正しい姿勢に調整することで、平行度および平坦度に優れるワークを得られる両面研削技術を提供する。砥石車（１、２）の切込み完了時に、エアゲージセンサ（Ｓａ、Ｓｂ、Ｓｃ）を用いて、静圧パッド（２０、２１）とワーク（Ｗ）の表裏両面との距離を３箇所で測定し、これら３箇所の測定結果から、ワーク（Ｗ）の変形量を検出するとともに、この算出した変形量が所定値を超えた場合に、その変形量に基づいて、砥石車（１、２）の切込み完了時のワーク（Ｗ）が変形を生じず平坦となるように、砥石車（１、２）を移動調整する。

Description

この発明は、薄肉円板状工作物の両面研削方法および両面研削装置に関し、さらに詳細には、例えば半導体ウェハ等のような薄肉円板状工作物の表裏両面を一対の砥石車により同時に研削する研削技術に関する。

従来、この種の薄肉円板状工作物（以下、ワークと称する）の表裏両面を研削する両面研削方法としては、日本特開平１１−１９８００９号に記載されるものがある。
この研削方法においては、高速回転する一対のカップ型砥石車間において、ワークを、ワーク外周と上記砥石車の研削面外周とが交差しかつワークの中心が上記砥石車の環状研削面内に位置するように配置して、このワークの上記研削面外周から径方向外部へ突出している部分を回転支持するとともに、高速回転する上記一対の砥石車をその砥石軸方向へ切り込んで、これら両砥石車の環状研削面により上記ワークの表裏両面を挟んだ状態で同時に研削加工するようにしている。
そして、研削加工後のワークの直径方向に距離センサを移動させて、このワークの厚みを測定し、この測定結果に基づいて砥石車の傾きを調整することで、ワークの平行度が高まるようにしている。
このような方法は、厚みの一定なワークを得ることにより加工面の平行度が高いワークを得ようとするものである。
ところで、上記一対の砥石車が研削加工を繰り返すうちに、各砥石車の研削面は経時的に摩耗するところ、両砥石車の研削面の摩耗量は研削条件の微小な差異等から相対的に差を生じ、この結果、これら研削面の位置が徐々に予め設定された所期の状態からずれてしまうことになる。
そして、上述した従来の研削方法のように、一対の砥石車の間から径方向外部へ突出しているワークの部分を回転支持して、支持されていないワークの部分を上記両砥石車により挟んで研削する場合には、研削面の位置が所望の位置からずれた状態で研削を行うと、いずれか一方の砥石車が先にワークに当たってしまい、ワークは曲がった状態で研削を施されることになる。この結果、研削加工後のワークに曲がりを生じて、その平坦度の低下等を招くおそれがあった。
また、装置の機械各部の経年変化や、熱変位などの外的要因によって、砥石車の砥石軸の傾きに狂いが生じた場合にも、研削加工中にワークが曲がってしまい、上記と同様な問題が生じる。
しかしながら、上述の研削方法では、砥石軸の傾きに狂いが生じたか否かは検知することができず、これがため、この原因に起因するワークの曲がりの問題についても対応し解決することができなかった。
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、研削加工後のワークの変形量から、砥石車の研削面の摩耗や砥石軸の傾きの狂い等による砥石車の姿勢の狂いを検出して、砥石車を正しい姿勢（正しい軸方向位置および傾き）に調整することにより、曲がりがなく平行度および平坦度に優れるワークを得ることのできる両面研削方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、上記両面研削方法を実施することができる構成を備えた両面研削装置を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明の研削方法は、薄肉円板状ワークを回転支持するとともに、高速回転する一対の砥石車をその砥石軸方向へ切り込んで、これら両砥石車端面の研削面により上記ワークの表裏両面を同時に研削加工する方法であって、上記砥石車の切込み完了時に、非接触型の距離センサを用いて、所定の基準位置と上記ワークの表裏両面との距離を少なくとも３箇所でそれぞれ測定するステップと、これら少なくとも３箇所の測定結果から、上記ワークの変形量を検出するステップと、この算出した変形量が所定値を超えた場合に、その変形量に基づいて、上記砥石車の切込み完了時のワークが変形を生じず平坦となるように、上記砥石車を移動調整するステップとを備えてなることを特徴とする。
好適な実施態様として、上記ワークの回転支持は、上記ワークの表裏面に対向して見て、ワークが、ワーク外周と上記砥石車の研削面外周とが交差して位置するように配置された状態において、ワーク回転支持手段により、このワークの上記研削面外周から径方向外部へ突出している表裏両面の部分を回転支持する。
また、本発明の研削装置は、上記研削方法を実施するもので、薄肉円板状ワークを回転支持するとともに、高速回転する一対の砥石車をその砥石軸方向へ切り込んで、これら両砥石車端面の研削面により上記ワークの表裏両面を同時に研削加工する装置であって、端面の研削面同士が対向するように配された一対の砥石車と、上記ワークを、上記一対の砥石車の研削面間においてワークの表裏両面がこれら両研削面に対向する状態で、回転支持するワーク回転支持手段と、上記砥石車の姿勢を調整する砥石姿勢調整手段と、上記砥石車の切込み完了時において、所定の基準位置と上記ワーク回転支持手段に回転支持されたワークの表裏両面との距離を少なくとも３箇所で測定して、これら３箇所の測定結果から、上記ワークの回転支持状態における変形量を算出するワーク測定手段と、このワーク測定手段の測定結果にしたがって上記砥石姿勢調整手段を制御する砥石姿勢制御手段とを備えてなることを特徴とする。
好適な実施態様として、上記ワーク回転支持手段は、上記ワークの表裏面に対向して見て、ワークが、ワーク外周と上記砥石車の研削面外周とが交差して位置するように配置された状態において、このワークの上記研削面外周から径方向外部へ突出している表裏両面の部分を回転支持する構成とされており、好ましくは、上記ワーク回転支持手段は、上記ワークの表裏両面を静圧流体により非接触支持する静圧支持手段を備えている。
また、上記ワーク測定手段は、所定の基準位置と上記ワークの表裏両面との距離を測定する少なくとも３対の非接触型の距離センサと、これら３対の距離センサの検出結果から、上記ワークの変形量を算出するワーク変形量算出手段とを備えてなる。
さらに、上記砥石姿勢調整手段は、上記砥石車の軸方向位置を移動調整する軸方向調整手段と、上記砥石車を水平軸線を中心として上下方向に傾動調整する上下方向調整手段と、上記砥石車を鉛直軸線を中心として水平方向に傾動調整する水平方向調整手段とを備えてなり、上記砥石姿勢制御手段は、上記ワーク測定手段により測定された上記ワークの変形量が所定値を超えた場合に、その変形量に基づいて、上記砥石車の切込み完了時のワークが変形を生じず平坦となるように、上記砥石姿勢調整手段の軸方向調整手段、上下方向調整手段および水平方向調整手段を駆動制御するように構成されている。
本発明においては、ワークを回転支持するとともに、高速回転する一対の砥石車をその砥石軸方向へ切り込んで、これら両砥石車端面の研削面により上記ワークの表裏両面を同時に研削加工する。
この場合、上記砥石車の切込み完了時に、非接触型の距離センサを用いて、所定の基準位置と上記ワークの表裏両面との距離を少なくとも３箇所でそれぞれ測定し、これら少なくとも３箇所の測定結果から、上記ワークの変形量を検出するとともに、この算出した変形量が所定値を超えた場合に、その変形量に基づいて、上記砥石車の切込み完了時のワークが変形を生じず平坦となるように、上記砥石車を移動調整することにより、砥石車を正しい姿勢（正しい軸方向位置および傾き）を保つことができ、曲がりがなく平行度および平坦度に優れるワークを得る。

第１図は、本発明の一実施例である対向二軸平面研削盤を示す正面図である。
第２図は、同平面研削盤の砥石車とワーク回転支持装置を示す正面図である。
第３図は、同じく同砥石車とワーク回転支持装置を示す側面図である。
第４図は、エアゲージセンサのエアノズルの配置構成をワークの表裏面に対向して見た概略図である。
第５図は、第１図における右側の砥石ティルト装置を示す斜視図である。
第６図は、同じく同砥石ティルト装置を示す右側面図である。
第７図は、同平面研削盤におけるワーク測定装置と砥石姿勢制御装置の制御構成を示すブロック図である。
第８図は、同平面研削盤における静圧パッドに支持されたワークと砥石車との位置関係を示す模式図で、初期状態を示している。
第９図は、同じく同平面研削盤における静圧パッドに支持されたワークと砥石車との位置関係を示す模式図で、砥石車が摩耗している状態を示している。
第１０図は、同じく同平面研削盤における静圧パッドに支持されたワークと砥石車との位置関係を示す模式図で、砥石車が上下方向に傾いている状態を示している。
第１１図は、同じく同平面研削盤における静圧パッドに支持されたワークと砥石車との位置関係を示す模式図で、砥石車が水平方向に傾いている状態を示しており、第１１図（ａ）は正面図、第１１図（ｂ）は一部断面平面図である。

以下、本発明に係る実施例を図面に基づいて説明する。
本発明に係る研削装置が第１図〜第１１図に示されており、この研削装置は具体的には、ワークＷである半導体ウェハの表裏両面を同時研削するもので、一対の砥石車１、２の砥石軸３、４が水平に対向して回転支持される横型の対向二軸平面研削盤である。
この研削盤は、第１図に示すように、研削加工部の主要構成部である左右一対の砥石車１、２およびワーク回転支持装置５などの基本構成を備えるとともに、砥石車１、２を正しい姿勢に調整保持するための砥石ティルト装置６、ワーク測定装置（ワーク測定手段）７および砥石姿勢制御装置（砥石姿勢制御手段）８を備えてなり、これらは固定部分を構成する水平なベッド９上に装置されている。
砥石車１、２は具体的にはカップ型砥石車であって、その周縁部先端面１ａ、２ａが円環状の研削面とされている。これら砥石車１、２は、その研削面１ａ、２ａ同士がほぼ平行な状態で対向するように配されて、これら両研削面１ａ、２ａ間の研削位置において、後述するように、ワークＷがワーク回転支持装置５により回転支持される構成とされている。
具体的には、砥石車１、２は、砥石台１０、１１に回転可能に軸支された砥石軸３、４の先端部に、取外し可能に取付け固定されている。これら砥石軸３、４は、砥石台１０、１１の内部に装置された駆動モータ等の回転駆動源１２に駆動連結されるとともに、同じく砥石台１０、１１の内部に装置された砥石切込み装置１３により、その軸線方向つまり切込み方向Ｘ、Ｙへそれぞれ切込み動作される構造とされている。
砥石切込み装置１３は、砥石車１、２を切込み動作させる本来的機能のほか、後述するように、砥石ティルト装置６と共に砥石車１、２の姿勢を調整する砥石姿勢調整手段を構成し、具体的には、砥石車１、２の軸方向位置を移動調整する軸方向調整手段として機能する。
砥石切込み装置１３の具体的な構造は図示しないが、例えばボールねじ機構とこれを回転駆動するステッピングモータ１３ａとを主要部として備え、このステッピングモータ１３ａの出力軸には、後述する砥石ティルト装置６のステッピングモータ６７、７７と同様、絶対値型エンコーダ１３ｂが連結されている。
上記左右の砥石台１０、１１は、ベッド９の上面に傾動自在に設けられている。
すなわち、詳細な図示は省略したが、砥石台１０、１１は、その前側部位１５が図示しない鉛直支持軸および水平支持軸を介してそれぞれベッド９に枢支されおり、これにより、砥石台１０、１１は、上記鉛直支持軸（鉛直軸）を中心として水平方向（第１図の紙面に対して垂直な方向）および上記水平支持軸（水平軸）を中心として上下方向（第１図の紙面に平行な方向）へそれぞれ傾動可能とされている。また、砥石台１０、１１の後側部位は、上記砥石ティルト装置６、６を介してそれぞれベッド９に連結支持されている。この砥石ティルト装置６は、上記砥石切込み装置１３と共に砥石車１、２の姿勢を調整する砥石姿勢調整手段を構成するもので、その具体的構造については後述する。
ワーク回転支持装置５は、ワークＷを回転支持するワーク回転支持手段として機能するもので、一対の砥石車１、２の研削面１ａ、２ａ間において、ワークＷを、その表裏両面Ｗａ、Ｗｂが上記両研削面１ａ、２ａに対向する鉛直状態で回転支持する構成とされている。
具体的には、ワーク回転支持装置５は、第２図および第３図に示すように、ワークＷの外周と砥石車１、２の研削面１ａ、２ａの外周とが交差しかつワークＷの中心Ｐｗが上記研削面１ａ、２ａ内に位置するように配置された状態において、上記研削面１ａ、２ａの外周から径方向外部へ突出しているワークＷの表裏両面Ｗａ、Ｗｂの部分を回転支持する構造とされている。
このワーク回転支持装置５は、ワークＷを軸方向に位置決め支持する軸方向支持手段と、ワークＷを径方向に位置決めするとともに回転支持する径方向支持手段とを備えてなり、ワークＷは、その外周縁が支持キャリア１６の支持孔１６ａに嵌合支持された状態で、ワーク回転支持装置５に回転支持される。
上記軸方向支持手段は、ワークＷの表裏両面Ｗａ、Ｗｂを静圧流体により非接触状態で支持する静圧支持装置（静圧支持手段）１７からなり、その主要部として、対向状に設けられた左右一対の静圧パッド２０，２１を備えている。
これら静圧パッド２０，２１は、具体的には、砥石車１、２との干渉をさけるための切欠２０ａ、２１ａを備える鉛直厚板状のもので、切欠２０ａ、２１ａは、第３図に示すように、砥石車１、２の外径よりも若干大きな径寸法を有する円弧状の内径輪郭を有するとともに、その対向支持面に静圧溝２０ｂ、２１ｂがそれぞれ形成されている。
この静圧溝２０ｂ、２１ｂは、流体供給孔２５を介して図示しない流体供給源に接続されており、この流体供給源から供給される水などの圧力流体が上記静圧溝２０ｂ、２１ｂから噴き出されて、砥石車１、２の研削面１ａ、２ａ間から外部に出ているワークＷの表裏両面Ｗａ、Ｗｂを、両砥石車１、２の研削面１ａ、２ａ間のほぼ軸方向中心位置に非接触状態で静圧保持する構成とされている。
また、静圧パッド２０，２１の上記対向支持面において、砥石車１、２の近傍位置には、前記ワーク測定装置７の３つのエアノズル３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃがそれぞれ形成されて、後述する距離センサ部を構成している。
上記ワーク回転支持装置５の径方向支持手段は、具体的には図示しないが、公知の回転駆動装置が採用されている。この回転駆動装置は、例えば、ワークＷを支持する上記支持キャリア１６の外周縁を当接支持する複数の支持ローラと、これら支持ローラの一部または全部を回転駆動する駆動モータ等の回転駆動源とからなり、ワークＷを径方向に位置決め支持した状態で回転させる。図示例においては、第３図に示すように、ワークＷの中心と両砥石車１、２の研削面１ａ、２ａの中心が同一鉛直線上に位置するように、ワークＷが位置決めして回転支持される。
砥石ティルト装置６は、上述したように、軸方向調整手段としての砥石切込み装置１３と共に、砥石車１、２の姿勢を調整する砥石姿勢調整手段を構成するものである。砥石ティルト装置６は具体的には、砥石車１、２を水平軸線を中心として上下方向に傾動調整する上下方向調整部（上下方向調整手段）４０と、砥石車１、２を、鉛直軸線を中心として水平方向に傾動調整する水平方向調整部（水平方向調整手段）４１とを備えてなる。以下、右側の砥石台１１用の砥石ティルト装置６を例にとって説明する。
図示の砥石ティルト装置６は、具体的には第５図および第６図に示すように、固定側であるベッド９に固設された駆動側本体４５に、上記上下方向調整部４０および水平方向調整部４１が設けられるとともに、傾動側である砥石台１０、１１に、これら両調整部４０、４１により調整動作される従動体４６が固設されている。
駆動側本体４５は、ベッド９の側部端面に取付け固定されるとともに、そのベッド９より上方へ突出し上部に、断面矩形状の収容空間５０が左右水平方向に貫通して設けられている。この収容空間５０内には、上記上下方向調整部４０の調整ねじ部材６０および水平方向調整部４１の調整ねじ部材６１がそれぞれ突入状に臨んでいる。
従動体４６は、砥石台１１の側部端面に取付け固定されるとともに、その水平方向に延びる従動部４７が、上記駆動側本体４５の収容空間５０内に突入して、両調整部４０、４１の調整ねじ部材６０、６１と当接係合している。
つまり、上記従動部４７は第６図に示すような断面矩形状とされ、上下方向の移動調整に関して、その水平下面４７ｂに、上下方向調整部４０の調整ねじ部材６０の先端係合部６０ａが当接するとともに、その水平上面４７ａに、駆動側本体４５に設けられた弾発部材６３の先端係合部６３ａが弾発的に当接している。これにより、上記調整ねじ部材６０と従動部４７は常時上下方向に当接係合する構造とされている。
一方、水平方向の移動調整に関して、従動部４７の一方の鉛直面４７ｃに、水平方向調整部４１の調整ねじ部材６１の先端係合部６１ａが当接係合するとともに、その他方の鉛直面４７ｄに、駆動側本体４５に上記調整ねじ部材６１に対向して設けられた、皿ばね等からなる弾発部材６４の先端係合部６４ａが弾発的に当接している。これにより、上記調整ねじ部材６１と従動部４７は常時水平方向に当接係合する構造とされている。
上下方向調整部４０の調整ねじ部材６０は、第６図に示すように、駆動側本体４５の雌ねじ部６５に上下方向に螺進退可能に設けられており、その先端部が上記先端係合部６０ａとされるともに、その基端部６０ｂがウォームギア６６を介してステッピングモータ６７に駆動連結されている。
しかして、ステッピングモータ６７の出力軸の回転は、ウォームギア６６を介して調整ねじ部材６０に伝えられ、これにより、調整ねじ部材６０が上下方向へ螺進退することにより、従動体４６がこの調整ねじ部材６０の螺進退に追従して上下方向に移動し、その結果、砥石台１１が上記水平軸を中心に上下方向へ傾動して、砥石車２の傾きが調整される。
そして、ステッピングモータ６７が停止すると、調整ねじ部材６０が停止して、従動体４６が調整ねじ部材６０と加圧部材３２に挟まれた状態で停止し、砥石台１１が上下方向の所定の姿勢に位置決め固定される。また、エンコーダ７１により、常に、ステッピングモータ６７の回転位置の絶対値が検出される。
水平方向調整部４１の調整ねじ部材６１は、第６図に示すように、駆動側本体４５に水平方向に螺進退可能に設けられており、その先端部が上記先端係合部６１ａとされるともに、その基端部６１ｂがウォームギア７６を介してステッピングモータ７７に駆動連結されている。
しかして、ステッピングモータ７７の出力軸の回転は、ウォームギア７６を介して調整ねじ部材６１に伝えられ、これにより、調整ねじ部材６１が水平方向へ螺進退することにより、従動体４６がこの調整ねじ部材６１の螺進退に追従して水平方向に移動し、その結果、砥石台１１が上記鉛直軸を中心に水平方向へ傾動して、砥石車２の水平方向の傾きが調整される。
そして、ステッピングモータ７７が停止すると、調整ねじ部材６１が停止して、従動体４６が調整ねじ部材６１と加圧部材６４に挟まれた状態で停止し、砥石台１１が水平方向の所定の姿勢に位置決め固定される。また、エンコーダ８１により、常に、ステッピングモータ７７の回転位置の絶対値が検出される。
なお、砥石車２の傾きの調整を行わないときは、上下方向および水平方向調整部４０、４１のステッピングモータ６７、７７への通電が停止され、これらステッピングモータ６７、７７の出力軸をフリーな状態にしておく。このように各ステッピングモータ６７、７７が停止しているときには、上記のように、調整ねじ部材６０、６１も停止しており、従動体４７が調整ねじ部材６０、６１と弾発部材６３、６４に挟まれて、駆動側本体４５に対して固定されている。このため、砥石台１１がベッド９に対して所定の姿勢に固定されている。
ワーク測定装置（ワーク測定手段）７は、研削加工時のワークＷの変形量を測定するもので、具体的には、砥石車１、２の切込み完了時において、所定の基準位置と前記ワーク回転支持装置５に回転支持されたワークＷの表裏両面Ｗａ、Ｗｂとの距離を少なくとも３箇所で測定して、これら３箇所の測定結果から、上記ワークＷの変形量を算出する構成とされ、複数（図示例の場合は３つ）のエアゲージセンサＳａ、Ｓｂ、Ｓｃとワーク変形量算出部（ワーク変形量算出手段）８０とを主要部として備える。
距離センサＳａ、Ｓｂ、Ｓｃは非接触型のもので、図示の実施例においては、計測媒体として空気圧を利用するエアゲージセンサが用いられている。これらエアゲージセンサＳａ、Ｓｂ、Ｓｃは、エアノズル３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃを備えてなり、これらエアノズル３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃは、前述したように、ワーク回転支持装置５の静圧パッド２０，２１の上記対向支持面に臨んで配されている。
すなわち、これらエアゲージセンサＳａ、Ｓｂ、Ｓｃのエアノズル３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃは、第２図および第３図に示すように、上記ワークＷを挟んで静圧パッド２０，２１の対向支持面の互いに対向する位置にそれぞれ一対計６個配されている。
これら一対のエアノズル３０Ａ_１と３０Ａ_２、３０Ｂ_１と３０Ｂ_２、３０Ｃ_１と３０Ｃ_２の組（３組）は、第３図および第４図に示すように、ワークＷの表裏両面Ｗａ、Ｗｂに対向して見て、上記砥石車１、２の研削面１ａ、２ａ外周近傍において、できるだけ研削面１ａ、２ａ外周に近い位置に配されている。
具体的には、第４図（ａ）に示すように、上記エアゲージセンサのエアノズルの組の一つ、つまり、エアノズル３０Ｂ_１、３０Ｂ_２の組がワークＷ（および砥石車１、２）の一直径線である鉛直方向の中心線上に位置するように配されるとともに、残りのエアノズルの組、つまりエアノズル３０Ａ_１、３０Ａ_２の組とエアノズル３０Ｃ_１、３０Ｃ_２の組が、上記鉛直方向の中心線に対して対称位置にそれぞれ配され、およびこれらエアノズルの組は、砥石車１、２の研削面１ａ、２ａの円周方向へ等間隔（各エアノズルと砥石車１、２の中心とのなす角（中心角）が均等）をもって配されている。
さらに、スペース的に可能であれば、上記エアノズル３０Ａ_１、３０Ａ_２の組とエアノズル３０Ｃ_１、３０Ｃ_２の組は、第４図（ｂ）に示すように、上記条件に加えて、ワークＷの外周縁の近くに位置するようにそれぞれ配されているのが望ましい。
そして、これらエアノズル３０Ａ_１と３０Ａ_２、３０Ｂ_１と３０Ｂ_２、３０Ｃ_１と３０Ｃ_２は、Ａ／Ｅ変換器（エア圧／電気信号変換器）９０を介して空気供給源９１に接続されている。また、Ａ／Ｅ変換器９０は、上記ワーク変形量算出部８０に接続されている。
第２図において、左側静圧パッド２０の各エアノズル３０Ａ_１、３０Ｂ_１、３０Ｃ_１は、ワーク回転支持装置５に保持されたワークＷの左側表面と基準位置となる上記左側静圧パッド２０の支持面との距離Ｌａ_１、Ｌｂ_１、Ｌｃ_１を測定するためのものであり、右側静圧パッド２０の各エアノズル３０Ａ_２、３０Ｂ_２、３０Ｃ_２は、ワーク回転支持装置５に保持されたワークＷの右側裏面と基準位置となる上記右側静圧パッド２１の支持面との距離Ｌａ_２、Ｌｂ_２、Ｌｃ_２を測定するためのものである。つまり、各エアノズルの出口部の圧力は上記距離と一定の関係がある。
各エアノズル３０Ａ（３０Ａ_１、３０Ａ_２）、３０Ｂ（３０Ｂ_１、３０Ｂ_２）、３０Ｃ（３０Ｃ_１、３０Ｃ_２）の出口部の圧力は、Ａ／Ｅ変換器９０で電気信号に変換されてワーク変形量算出部８０に送られる。
このワーク変形量算出部８０は、３組のエアゲージセンサＳａ_１とＳａ_２、Ｓｂ_１とＳｂ_２、Ｓｃ_１とＳｃ_２の検出結果から、ワークＷの変形量を算出するもので、上記エアノズル３０Ａ（３０Ａ_１、３０Ａ_２）、３０Ｂ（３０Ｂ_１、３０Ｂ_２）、３０Ｃ（３０Ｃ_１、３０Ｃ_２）の出口部の空気圧に基づいて、静圧パッド２０，２１の対向支持面とワークＷとの距離Ｌａ（Ｌａ_１、Ｌａ_２）、Ｌｂ（Ｌｂ_１、Ｌｂ_２）、Ｌｃ（Ｌｃ_１、Ｌｃ_２）がそれぞれ測定されるとともに、これら３点の距離からワークＷの変形量が算出され、その結果は砥石姿勢制御装置８へ送られる。
なお、砥石姿勢制御装置８におけるエアゲージセンサＳａ（Ｓａ_１、Ｓａ_２）、Ｓｂ（Ｓｂ_１、Ｓｂ_２）、Ｓｃ（Ｓｃ_１、Ｓｃ_２）の検出結果に基づく制御は、各エアゲージセンサの組の測定値の差を２で除した値、つまり距離値Ｌａ＝（Ｌａ_１−Ｌａ_２）／２、距離値Ｌｂ＝（Ｌｂ_１−Ｌｂ_２）／２および距離値Ｌｃ＝（Ｌｃ_１−Ｌｃ_２）／２を変形量として処理される。
砥石姿勢制御装置８は、上記ワーク測定装置７の測定結果に従って上記砥石姿勢調整装置、つまり上下および水平方向調整手段としての上記砥石ティルト装置６と、軸方向調整手段としての上記砥石切込み装置１３を制御するもので、第７図に示すように、比較部８ａ、補正演算部８ｂ、ならびに軸方向制御部８ｃ、上下方向制御部８ｄおよび水平方向制御部８ｅから構成されている。
比較部８ａは、上記ワーク測定装置７により測定されたワークＷの変形量（距離値）Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃを所定の許容値（しきい値）Ｌｓと比較してこのしきい値Ｌｓを超えたか否かを判定し、判定結果を補正演算部８ｂへ送る。補正演算部８ｂは、比較部８ａの判定結果に基づき、ワークＷの変形量Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃがしきい値Ｌｓを超えた場合に、その変形量Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃに基づいて、砥石車１、２の上下水平方向および軸方向の姿勢補正量（調整方向と調整量）を演算し、その演算結果を軸方向制御部８ｃ、上下方向制御部８ｄおよび水平方向制御部８ｅへ送る。これら制御部８ｃ〜８ｅは、補正演算部８ｂの演算結果に従って、砥石ティルト装置６のステッピングモータ６７、７７と砥石切込み装置１３のステッピングモータ１３ａの回転方向と回転量を決めて、エンコーダ１３ｂ、７１、８１の出力をフィードバックしながら、上記ステッピングモータ１３ａ、６７、７７を決められた方向へ決められた量だけ回転駆動させる。これにより、砥石台１０、１１における砥石軸３、４の軸方向位置と、砥石台１０、１１の上下水平方向の傾きとが調整されて、砥石車１、２を正しい姿勢、つまり砥石車１、２の切込み完了時のワークＷが変形を生じず平坦となるように、砥石車１、２の姿勢が移動調整される。
続いて、本実施例の研削装置における具体的な砥石車１、２の姿勢調整について、第８図〜第１１図を参照して説明する。なお、第８図〜第１１図は、理解を容易にすることを目的として、模式的にかつ砥石車１、２およびワークＷの変形量を大幅に拡大して描かれているが、実際には、これらの変形量は目視にて確認できないほど微小なものである。
Ａ．砥石車１、２の切込み動作：
本実施例においては、研削加工における基本動作である砥石車１、２の切込み動作は、図外の公知の主制御装置により、以下のように砥石車１、２の切込み完了位置が制御されて、ワークＷの変形量が所定量以下になるように制御される。
つまり、一対の砥石車１、２は、砥石切込み装置１３により、所定の待機位置（切込み開始位置）から予め設定された切込み量（一定量）だけ切り込まれて停止し（この停止位置が切込み完了位置）、スパークアウト後に上記待機位置へ後退復帰される。この研削サイクル一工程により、一枚のワークＷが所定の厚さ寸法に研削加工され、この研削サイクルが連続して順次供給されるワーク毎に繰り返される。また、上記切込み完了位置は、図示しないインプロセスの定寸装置を利用して、その検出データを上記砥石切込み装置１３にフィードバックして制御している。
Ｂ．初期状態の調整：
このような研削サイクルを実行する本実施例の研削装置において、まず、砥石車１、２、静圧パッド２０、２１およびワークＷが平行で芯が揃っている状態、つまり第８図に示す初期状態に調整する。この初期状態においては、左右一対の砥石車１、２の研削面１ａ、２ａが平行で、左右一対の静圧パッド２０、２１の支持面が平行で、かつワークＷが所定の精度（平行度、平坦度）に研削できる状態にある。この状態では、ワークＷと静圧パッド２０、２１との上記距離値Ｌａ＝Ｌｂ＝Ｌｃになる。この初期状態での値を理想距離値Ｌ_０とする。
具体的には、砥石切込み完了時にワークＷの変形量が０となる砥石車１、２の研削面１ａ、２ａの位置（切込み完了位置）が最適位置として決定される。そして、この最適位置と研削完了時の各ワークＷの変形量とに基づいて、砥石車１、２の待機位置（砥石切込み開始位置）が調整され、砥石車１、２の研削面１ａ、２ａの切込み完了位置が上記最適値から所定量以上ずれないように調整される。
上記最適位置は、以下のように決定される。複数枚のワークＷを用意する。次いで、各ワークＷを試験的に研削して、エアゲージセンサＳａ（Ｓａ_１、Ｓａ_２）、Ｓｂ（Ｓｂ_１、Ｓｂ_２）、Ｓｃ（Ｓｃ_１、Ｓｃ_２）によって、各ワークＷの表裏面と静圧パッド２０、２１との距離を測定する。そして、研削が終了したワークＷを研削装置から取り出して、ワークＷの変形量および厚さを適当な測定装置によって測定する。この測定結果に基づいて、ワークＷの変形量（曲がり）が０になるように待機位置（切込み開始位置）を変更して、次のワークＷを研削する。これを何度か繰り返し、変形量（曲がり）がほぼ０であり、厚さが所定の値となるワークＷを得る。これを理想ワークＷ_０と呼ぶ。理想ワークＷ_０が得られたときのこのワークＷ_０と静圧パッド２０、２１との距離を理想距離Ｌ_０と呼ぶ。このように研削完了時にワークＷと静圧パッド２０、２１との距離が理想距離Ｌ_０となる切込み完了位置が最適位置となる。この理想距離Ｌ_０が砥石姿勢制御装置８の比較部８ａに記憶される。
Ｃ．砥石車１、２の姿勢調整：
最適位置が決定された後、１枚目のワークＷを研削する前は、各砥石車１、２は、上記最適値から所定距離だけ軸方向へ後退移動した最適待機位置（最適切込み開始位置）に位置し、この状態からワークＷの研削が開始される。
ワークＷの研削を行い、毎回スパークアウト時に、ワーク測定装置７によって、静圧パッド２０，２１の対向支持面とワークＷとの距離が上記３点で測定され、砥石姿勢制御装置８では、これら測定距離から得られる距離値Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃに基づいて砥石車１、２の傾き等を移動調整する。この移動調整は、ワークＷの研削完了後、つまり、砥石車１、２がスパークアウト後に上記待機位置へ後退復帰した状態で行われる。
初期の状態においては、砥石車１、２の摩耗はごく少なく、また、装置の機械各部の経年変化や、熱変位などの外的要因による砥石車１、２の砥石軸の傾きの狂いもほとんどなく、実際の切込み完了位置と上記最適位置とのずれはなく、あるいはごく小さい。したがって、ワークＷと静圧パッド２０、２１との距離値Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃは理想距離値Ｌ_０にほぼ等しく、ワークＷの変形（曲がり）は所定量Ｌｓ以下であり、平行度、平坦度ともに高い。
（ａ）砥石車１、２の軸方向調整：
研削を続けると、距離値ＬｂはＬｂ＝Ｌ_０のままで、距離値ＬａとＬｃは、Ｌａ＝Ｌｃ＝Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、…と徐々に変化していく。これに伴って研削完了後のワークＷの平坦度も徐々に悪化していく。この変化の原因は、主に砥石車１、２、の偏摩耗により、砥石車１、２の切込み完了位置が上記最適位置からずれて移動するためである。これは距離値がＬａ＝Ｌｃ≠Ｌｂの場合で、第９図に示す状態である。
そして、距離値Ｌａ、Ｌｃがしきい値Ｌｓを超えた場合には、砥石姿勢制御装置８は、砥石車１、２の切込み完了位置の設定を軸方向へ（Ｌｂ−Ｌｃ）だけ修正移動させるように、軸方向調整手段としての砥石切込み装置１３のステッピングモータ１３ａを回転駆動する。
一例として、例えば、理想距離Ｌ_０が０．０５ｍｍで、第８図に示す初期状態における測定距離がＬａ_１＝Ｌａ_２＝Ｌｂ_１＝Ｌｂ_２＝Ｌｃ_１＝Ｌｃ_２＝０．０５ｍｍとした場合に、距離値Ｌａ｛（Ｌａ_１−Ｌａ_２）／２｝＝Ｌｂ｛（Ｌｂ_１−Ｌｂ_２）／２｝＝Ｌｃ｛（Ｌｃ_１−Ｌｃ_２）／２｝＝０
この初期状態から、測定距離が理想距離Ｌ_０＝０．０５ｍｍから外れて、例えば、Ｌａ_１＝Ｌｃ_１＝０．０５６ｍｍとなり、Ｌａ_２＝Ｌｃ_２＝０．０４４ｍｍとなったとすると、距離値Ｌａ｛（Ｌａ_１−Ｌａ_２）／２｝＝Ｌｃ｛（Ｌｃ_１−Ｌｃ_２）／２｝＝０．００６ｍｍとなり、第９図に示す状態となる。
そして、これら距離値Ｌａ、Ｌｃがしきい値Ｌｓ（例えば、０．００５ｍｍ）を超えた場合には、砥石姿勢制御装置８は、砥石車１、２の切込み完了位置の設定を軸方向へ（Ｌｂ−Ｌｃ）＝−０．００６ｍｍ（つまり砥石軸３，４を左方向へ０．００６ｍｍ）だけ修正移動させるように、軸方向調整手段としての砥石切込み装置１３のステッピングモータ１３ａを回転駆動する。
この修正で、ワークの仕上がり精度（平坦度、平行度）は改善される。
さらに研削を続けると、また徐々に距離値Ｌａ、Ｌｃが理想距離Ｌ_０から外れた値をとっていくので、しきい値Ｌｓを超えるたびに、上記と同様、砥石車１、２を切込み完了位置の設定を軸方向へ（Ｌｂ−Ｌｃ）だけ修正移動する。
（ｂ）砥石車１、２の傾き調整：
何回か（ａ）の修正（砥石車１、２の軸方向調整）を繰り返すうちに、この修正動作をしても、距離値Ｌａ、Ｌｃがしきい値Ｌｓ以下にならなくなる。
これは、熱変位が主原因と考えられる。つまり、熱変位等により砥石軸３、４に傾きが生じたためで、これは第１０図または第１１図に示す２種類のパターンがある。
したがって、砥石姿勢制御装置８は、これら２種類の砥石車１、２の傾きを基本パターンとして測定される距離値Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃに基づいて、次のような調整制御を行う。
（ｂ−１）砥石車１、２の上下方向の傾き調整：
まず、距離値がＬａ＝Ｌｃ≠Ｌｂの場合には、第１０図に示すパターンである。すなわち、この場合は、砥石軸３、４の上下方向の傾きにより、砥石車１、２が本来の軸線方向に対して上下方向へ角度αだけ傾いている状態である。
砥石姿勢制御装置８は、砥石軸３、４を距離値Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃから算出されるワークＷの上下方向の傾き（曲がり）角度αが０°になるように調整量を算出し、砥石ティルト装置６、６における上下方向調整部４０のステッピングモータ６７を回転駆動する。これにより、砥石台１０、１１さらには砥石車１、２を上下方向へ傾動させて、距離値Ｌａ＝Ｌｃ＝Ｌｂ＝Ｌ_０とし、第８図に示す状態にする。
（ｂ−２）砥石車１、２の水平方向または水平上下方向の傾き調整：
次に、距離値がＬａ≠Ｌｃの場合には、第１１図に示すパターンか、あるいは第１１図に示すパターンと第１０図に示すパターンが複合した状態である。すなわち、この場合は、砥石軸３、４の水平方向の傾きにより、砥石車１、２が本来の軸線方向に対して水平方向へ角度βだけ傾いている状態、あるいは、砥石軸３、４の上下と水平方向双方の傾きにより、砥石車１、２が本来の軸線方向に対して水平方向へ角度βだけ傾くとともに、上下方向へも角度αだけ傾いている状態である。
砥石姿勢制御装置８は、まず、砥石軸３、４を距離値Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃから算出されるワークＷの水平方向の傾き（曲がり）角度βが０°になるように調整量を算出し、砥石ティルト装置６、６における水平方向調整部４１のステッピングモータ７７を回転駆動する。これにより、砥石台１０、１１さらには砥石車１、２を水平方向へ傾動させる。
この修正により、次に研削されるワークＷでは、距離値がＬａ＝Ｌｃになり、しかもＬａ＝Ｌｂ＝Ｌｃ＝Ｌ_０であれば第８図に示す状態に修正されていることになる。
一方、もし、Ｌａ＝Ｌｃ≠Ｌｂであれば、前述した第１０図に示す状態であることから、さらに上記（ｂ−１）の修正（砥石車１、２の上下方向の傾き調整）をして、第８図の状態にする。
しかして、以上のように構成された両面研削装置においては、主制御装置により、ワーク回転支持装置５が、ワークＷを研削位置に回転支持するとともに、高速回転する一対の砥石車１、２が所定の待機位置からその砥石軸３、４方向へ予め設定された切込み量だけそれぞれ切り込まれて、これら両砥石車１、２の端面の研削面１ａ、２ａにより上記ワークＷの表裏両面Ｗａ、Ｗｂが同時に研削加工される。砥石車１、２は、スパークアウト後に上記待機位置へ後退復帰され、この間にワークＷがワーク回転支持装置３から取り出される。以後、この手順が繰り返されて、複数のワークＷ、Ｗ、…が一枚ずつかつ連続して研削される。
この場合、ワーク測定装置７は、砥石車１、２のスパークアウト時に、エアゲージセンサＳａ、Ｓｂ、Ｓｃを用いて、基準位置である静圧パッド２０、２１の対向支持面とワークＷの表裏両面との距離を３箇所でそれぞれ測定するとともに、ワーク変形量算出部８０が、これら３箇所の測定結果（距離Ｌａ_１、Ｌｂ_１、Ｌｃ_１、Ｌａ_２、Ｌｂ_２、Ｌｃ_２）から、ワークＷの変形量（軸方向への変形、上下方向の曲がり、水平方向の曲がり）を検出する。
そして、砥石姿勢制御装置８は、上述したように、この算出した変形量（距離値Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃ）が所定値（しきい値）Ｌｓを超えた場合に、その変形量Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃに基づいて、砥石車１、２の切込み完了時のワークＷが変形を生じず平坦となるように、砥石ティルト装置６、６と砥石切込み装置１３、１３を駆動制御して、砥石車１、２を移動調整する。これにより、砥石車１、２は常時正しい姿勢（正しい軸方向位置および傾き）を保つことができ、曲がりがなく平行度および平坦度に優れるワークを得ることができる。

実施例１においては、砥石車１、２の移動調整がワークＷの研削完了後に行われる構成であったが、本実施例における砥石車１、２の移動調整は、以下のようにワークＷの研削中において行われる。
すなわち、本実施例においては、実施例１の場合と同様に、初期状態での距離値Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃの理想距離値Ｌ_０を記憶させて、砥石車１、２のスパークアウト時に、各距離値Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃを監視しながら、これら距離値Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃに基づいて砥石車１、２の傾きを移動修正する。
つまり、距離値がＬａ≠Ｌｃの場合には、砥石姿勢制御装置８は、まず距離値がＬａ＝Ｌｃとなるまで砥石軸３、４の水平方向の傾きを移動修正する（当初からＬａ＝Ｌｃであれば、この移動修正は不要）。
次に、距離値がＬａ＝Ｌｂ＝Ｌｃ＝Ｌ_０となるまで、砥石軸３、４の上下方向の傾きを移動修正して第８図の状態にする。
なお、この砥石軸３、４の水平方向の傾きを修正しても効果がない場合は、第９図に示す状態なので、砥石軸３、４を軸方向へ移動調整して、距離値がＬａ＝Ｌｂ＝Ｌｃ＝Ｌ_０にして、第８図の状態にする。
その他の構成および作用は実施例１と同様である。
なお、上述した実施例は、あくまでも本発明の好適な実施態様を示すものであって、本発明はこれに限定されることなく、その範囲内において種々設計変更可能である。例えば、以下に列挙するような改変が可能である。
（１）図示の実施例においては、３つのエアゲージセンサＳａ、Ｓｂ、Ｓｃが静圧パッド２０、２１の支持面にそれぞれ配されて、つまり一対のエアゲージセンサの組が３個所配されて、ワークＷの表裏両面Ｗａ、Ｗｂとの距離を３箇所で測定する構成とされているが、一対のエアゲージセンサの配設数は、少なくとも３個所あれば良く、適宜増設可能である。この場合、一対のエアゲージセンサの組の一つは、ワークＷの鉛直方向の中心線上に配置されるとともに、残りの組がこの中心線に対して両側対称位置に配置されるのが望ましいことから、その配設数は５個所以上の奇数個所が望ましい。
例えば、５つのエアゲージセンサＳａ、Ｓｂ、Ｓｃ、Ｓｄ、Ｓｅが静圧パッド２０、２１の支持面にそれぞれ配される場合は、第４図（ｃ）に示すように、
これらエアゲージセンサＳａ〜Ｓｅのエアノズル３０Ａ〜３０Ｅの組の一つ、つまり、一対のエアノズル３０Ｃ_１、３０Ｃ_２の組がワークＷ（および砥石車１、２）の一直径線である鉛直方向の中心線上に位置するように配されるとともに、残りのエアノズルの組、つまりエアノズル３０Ａ_１、３０Ａ_２の組、エアノズル３０Ｂ_１、３０Ｂ_２の組、エアノズル３０Ｄ_１、３０Ｄ_２の組およびエアノズル３０Ｅ_１、３０Ｅ_２の組が、上記鉛直方向の中心線に対して対称位置にそれぞれ配されている。また、これら一対のエアノズルの組は、上記砥石車１、２の円周方向へ等間隔をもって配される（各エアノズルと砥石車１、２の中心Ｏとのなす角（中心角）が均等）。
（２）図示例のワーク回転支持装置５は、ワークＷを軸方向に位置決め支持する軸方向支持手段として、左右一対の静圧パッド２０，２１によりワークＷを非接触状態で支持する静圧支持装置１７を採用しているが、例えば、日本特開平１０−１２８６４６号公報または日本特開平１０−１７５１４４号公報に開示されるような、従来公知の支持ローラ等により支持するローラ支持手段も採用可能である。
（３）距離センサＳａ、Ｓｂ、Ｓｃは、図示例のようなエアゲージセンサのほか、静電容量型のセンサやレーザ装置など、他の非接触型のセンサも採用可能である。
（４）図示例においては、砥石姿勢制御装置８により、距離値Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃがしきい値Ｌｓを超えたとき、自動的に砥石車１、２の姿勢修正をするが、砥石姿勢制御装置８に代えて、あるいはこれとの併用で手動操作で姿勢修正することもできる。
この手動操作による場合は、警告アラーム等で異常信号を出し、これに従って、作業者が機械を停止させ、手動で第８図に示す初期状態に砥石車１、２を調整復帰させて運転再開する。
具体的には、砥石ティルト装置６の場合、前記ステッピングモータ６７、７７への通電を停止して、出力軸６７ａ、７７ａをフリーにしている状態において、角柱部６６ｅ、７７ｅにスパナ等の手動工具を係合させて、ウォームギア６６、７６を回転駆動させることにより、手動操作で、砥石台１０、１１の傾きを調整することもできる。
（５）図示の実施例においては、砥石車１、２の切込み動作が、砥石切込み装置１３により、所定の待機位置（切込み開始位置）から予め設定された一定の切込み量だけ切り込まれて停止し（この停止位置が切込み完了位置）、スパークアウト後に上記待機位置へ後退復帰されるようにされて、砥石車１、２の軸方向調整に際しては、上記待機位置が移動調整される構成、つまり、上記切込み量が一定で、上記待機位置が可変な構成とされている。
これに対して、上記切込み量が可変で、上記待機位置が一定とされて、砥石車１、２の軸方向調整に際しては、上記切込み量が変更調整される構成とされてもよい。
（６）さらに、図示例の両面研削装置は横型の対向二軸平面研削盤であるが、本発明は他の研削盤にももちろん適用可能である。
（７）また、図示の実施例は、研削対象である円板状ワークが円形状のものであるが、本発明は、中央部に円形状の穴を有する円環形状のワーク、いわゆるドーナツ状ワークも研削対象とすることができる。
この場合、ワークＷの支持形態は、その外周と砥石車１、２の研削面１ａ、２ａの外周とが交差しかつワークＷの上記中央穴の一部が上記研削面１ａ、２ａ内に位置するように配置された状態において、上記研削面１ａ、２ａの外周から径方向外部へ突出しているワークＷの表裏両面Ｗａ、Ｗｂの部分が、ワーク回転支持装置５により回転支持されることとなる。

以上詳述したように、本発明によれば、ワークを回転支持するとともに、高速回転する一対の砥石車をその砥石軸方向へ切り込んで、これら両砥石車端面の研削面により上記ワークの表裏両面を同時に研削加工するに際して、上記砥石車の切込み完了時に、非接触型の距離センサを用いて、所定の基準位置と上記ワークの表裏両面との距離を少なくとも３箇所でそれぞれ測定し、これら少なくとも３箇所の測定結果から、上記ワークの変形量を検出するとともに、この算出した変形量が所定値を超えた場合に、その変形量に基づいて、上記砥石車の切込み完了時のワークが変形を生じず平坦となるように、上記砥石車を移動調整する構成とされているから、以下に列挙するような効果が発揮されて、曲がりがなく平行度および平坦度に優れるワークを得ることができる。
（１）上記所定の基準位置とワークの表裏両面との距離を３点以上で測定することにより、ワークの姿勢の左右水平方向の曲がりや上下方向の曲がりが検知できる。
（２）砥石軸をティルト制御することで、より適正な砥石車の姿勢制御ができ、ＮＧワークがなくなる。
（３）自動で砥石車を適正な位置および姿勢にしてワークを研削することができ、平坦度の精度維持ができる。

Claims (17)

1. 薄肉円板状工作物を回転支持するとともに、高速回転する一対の砥石車をその砥石軸方向へ切り込んで、これら両砥石車端面の研削面により前記工作物の表裏両面を同時に研削加工する方法であって、
   前記砥石車の切込み完了時に、非接触型の距離センサを用いて、所定の基準位置と前記工作物の表裏両面との距離を少なくとも３箇所でそれぞれ測定するステップと、
   これら少なくとも３箇所の測定結果から、前記工作物の変形量を検出するステップと、
   この算出した変形量が所定値を超えた場合に、その変形量に基づいて、前記砥石車の切込み完了時の工作物が変形を生じず平坦となるように、前記砥石車を移動調整するステップとを備えてなる
   ことを特徴とする薄肉円板状工作物の両面研削方法。
2. 前記工作物の表裏両面に対向して見て、前記工作物が、工作物外周と前記砥石車の研削面外周とが交差して位置するように配置された状態において、ワーク回転支持手段により、この工作物の前記研削面外周から径方向外部へ突出している表裏両面の部分を回転支持することを特徴とする請求の範囲第１項に記載の薄肉円板状工作物の両面研削方法。
3. 前記距離センサは、前記工作物を挟んで互いに対向する位置に一対配されるとともに、これら一対の距離センサの組が前記砥石車の研削面外周近傍位置に少なくとも３箇所以上の奇数個所に配され、
   前記工作物の表裏両面に対向して見て、前記距離センサの組の一つが工作物の一直径線上に位置するように配され、残りの距離センサの組が前記一直径線に対して対称位置にそれぞれ配され、およびこれら距離センサの組は、前記砥石車の円周方向へ等間隔をもって配されている
   ことを特徴とする請求の範囲第２項に記載の薄肉円板状工作物の両面研削方法。
4. 前記距離センサによる前記距離測定を、前記砥石車のスパークアウト時に行うことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の薄肉円板状工作物の両面研削方法。
5. 前記砥石車の移動調整を前記工作物の研削完了後に行うことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の薄肉円板状ワークの両面研削方法。
6. 前記砥石車の移動調整を前記工作物の研削中に行うことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の薄肉円板状工作物の両面研削方法。
7. 薄肉円板状工作物を回転支持するとともに、高速回転する一対の砥石車をその砥石軸方向へ切り込んで、これら両砥石車端面の研削面により前記工作物の表裏両面を同時に研削加工する装置であって、
   端面の研削面同士が対向するように配された一対の砥石車と、
   前記工作物を、前記一対の砥石車の研削面間において工作物の表裏両面がこれら両研削面に対向する状態で、回転支持するワーク回転支持手段と、
   前記砥石車の姿勢を調整する砥石姿勢調整手段と、
   前記砥石車の切込み完了時において、所定の基準位置と前記ワーク回転支持手段に回転支持された工作物の表裏両面との距離を少なくとも３箇所で測定して、これら３箇所の測定結果から、前記工作物の回転支持状態における変形量を算出するワーク測定手段と、
   このワーク測定手段の測定結果にしたがって前記砥石姿勢調整手段を制御する砥石姿勢制御手段とを備えてなる
   ことを特徴とする薄肉円板状工作物の両面研削装置。
8. 前記ワーク回転支持手段は、前記工作物の表裏両面に対向して見て、前記工作物が、工作物外周と前記砥石車の研削面外周とが交差して位置するように配置された状態において、この工作物の前記研削面外周から径方向外部へ突出している表裏両面の部分を回転支持する構成とされている
   ことを特徴とする請求の範囲第７項に記載の薄肉円板状工作物の両面研削装置。
9. 前記ワーク回転支持手段は、前記工作物の表裏両面を静圧流体により非接触支持する静圧支持手段を備えている
   ことを特徴とする請求の範囲第８項に記載の薄肉円板状工作物の両面研削装置。
10. 前記ワーク測定手段は、所定の基準位置と前記工作物の表裏両面との距離を測定する少なくとも３つの非接触型の距離センサと、これら３つの距離センサの検出結果から、前記工作物の変形量を算出するワーク変形量算出手段とを備えてなる
    ことを特徴とする請求の範囲第７項に記載の薄肉円板状工作物の両面研削装置。
11. 前記距離センサは、前記工作物を挟んで互いに対向する位置に一対配されるとともに、これら一対の距離センサの組が前記砥石車の研削面外周近傍位置に少なくとも３箇所以上の奇数個所に配され、
    前記工作物の表裏両面に対向して見て、前記距離センサの組の一つが工作物の一直径線上に位置するように配され、残りの距離センサの組が前記一直径線に対して対称位置にそれぞれ配され、および前記距離センサの組は、前記砥石車の円周方向へ等間隔をもって配されている
    ことを特徴とする請求の範囲第１０項に記載の薄肉円板状工作物の両面研削装置。
12. 前記ワーク回転支持手段が前記工作物の表裏両面を静圧流体により非接触支持する静圧支持手段を備えるとともに、この静圧支持手段の静圧パッドに前記ワーク測定手段の距離センサが配されてなり、
    この距離センサは、前記静圧パッドを前記基準位置として前記工作物の表裏両面との距離を測定するように構成されている
    ことを特徴とする請求の範囲第１０項に記載の薄肉円板状工作物の両面研削装置。
13. 前記砥石姿勢調整手段は、前記砥石車の軸方向位置を移動調整する軸方向調整手段と、前記砥石車を水平軸線を中心として上下方向に傾動調整する上下方向調整手段と、前記砥石車を鉛直軸線を中心として水平方向に傾動調整する水平方向調整手段とを備えてなる
    ことを特徴とする請求の範囲第７項に記載の薄肉円板状工作物の両面研削装置。
14. 前記砥石姿勢制御手段は、前記ワーク測定手段により測定された前記工作物の変形量が所定値を超えた場合に、その変形量に基づいて、前記砥石車の切込み完了時の工作物が変形を生じず平坦となるように、前記砥石姿勢調整手段の軸方向調整手段、上下方向調整手段および水平方向調整手段を駆動制御するように構成されている
    ことを特徴とする請求の範囲第１３項に記載の薄肉円板状工作物の両面研削装置。
15. 前記砥石車の移動調整を前記工作物の研削完了後に行うことを特徴とする請求の範囲第７項に記載の薄肉円板状ワークの両面研削装置。
16. 前記ワーク測定手段による前記距離測定を、前記砥石車のスパークアウト時に行うことを特徴とする請求の範囲第７項に記載の薄肉円板状工作物の両面研削装置。
17. 前記砥石姿勢調整手段による前記砥石車の姿勢調整が前記工作物の研削中に行われることを特徴とする請求の範囲第７項に記載の薄肉円板状工作物の両面研削装置。

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