JPH11198009A - 薄板円板状ワークの両面研削装置および断面形状測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワークの平行度を向上させることができる薄
板円板状ワークの両面研削装置を提供する。 【解決手段】 両面研削装置は、所定の研削加工位置に
おいて自転させられている薄板円板状ワークＷの両面の
加工面を対向状に配置された１対の研削砥石12、13の端
面の円形研削面により同時に研削加工するものであり、
研削加工後のワークＷの厚さ方向の断面形状を測定する
断面形状測定装置４と、その測定結果に基づいて研削砥
石12、13の少なくとも一方の傾きを調整するための砥石
傾き調整装置５、６とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、薄板円板状ワー
クの両面研削装置および断面形状測定装置に関し、さら
に詳しくは、たとえば半導体ウェーハなどのような薄板
円板状ワークの両面を同時に研削する装置、および、こ
のような装置において研削加工後のワークの厚さ方向の
断面形状を測定するための装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ワークの両面を同時に研削する装置とし
て、端面の研削面同志が対向するように配置されて回転
する１対の研削砥石の間に、回転する円板状のキャリヤ
のポケット（穴）に入れたワークを通すものが従来から
知られていた。この場合、研削砥石の研削面の外径（直
径）は、ワークの外径より大きくなくてはならない。ま
た、キャリヤには、通常、外周寄りの円周上に複数のポ
ケットが等間隔をおいて形成されており、キャリヤの一
部もウェーハとともに１対の研削砥石の間に入るが、こ
の部分のキャリヤの厚さは、もちろん、研削時の１対の
砥石の間隔すなわちワークの仕上がり厚さより小さくな
くてはならない。

【０００３】ところで、現在用いられている半導体ウェ
ーハには外径が約２００ｍｍ（８インチ）のものと約３
００ｍｍ（１２インチ）のものがあるが、いずれも厚さ
（研削仕上がり寸法）は０．８ｍｍ程度であり、外径に
比べて厚さがきわめて薄いものである。このようなウェ
ーハを上記のような装置で研削する場合、ウェーハの外
径が比較的大きいため、砥石の外径が大きくなり、ウェ
ーハを収容して回転するキャリヤも大きくなる。このた
め、装置が大型になる。また、ウェーハの厚さが薄いた
め、ウェーハとともに研削砥石の間に入るキャリヤの部
分を非常に薄くする必要がある。研削砥石の間に入るキ
ャリヤのとくにポケットの部分には、これに収容されて
いるワークを介して研削力が作用するが、この部分を薄
くすると強度が低下し、ワークを円滑に移動させること
が困難になる。このため、従来は、ウェーハの両面研削
は困難であった。

【０００４】ウェーハ以外の薄板円板状のワークの場合
にも、同様の問題があった。

【０００５】上記のような問題を解決するため、本出願
人は、所定の研削加工位置において自転させられている
薄板円板状ワークの両面の加工面を対向状に配置された
１対の研削砥石の端面の円形研削面により同時に研削加
工する装置を提案した（特願平８−２３８００２号参
照）。

【０００６】このような装置における研削砥石として、
通常、カップ型砥石が用いられ、１対の研削砥石は、基
本的には、対向する２つの研削面が平行になるようにセ
ットされる。ところが、研削による砥石の目詰まりや砥
石の摩耗などによる研削抵抗の増加、砥石軸あるいは装
置全体の熱変位などにより、２つの研削面が完全な平行
ではなくなり、それにより、加工後のワークの平行度が
劣化することがある。

【０００７】ワークに要求される平行度は加工の段階に
よって異なるが、概ね、１次研削加工では平行度５μｍ
以下、仕上研削加工では平行度１μｍ以下が要求され
る。

【０００８】そして、砥石軸のセッティング直後は、加
工されたワークの平行度は要求される規格内にあるが、
時間の経過とともに、上記のような理由で劣化する。従
来は、ワークの平行度を規格内に保つため、一定間隔で
抜き取り検査を実施して、平行度検査装置で加工後のワ
ークの平行度を測定し、その結果に基づいて砥石軸の傾
きを調整している。

【０００９】ところが、このようにした場合、たとえば
平行度の測定に１時間必要であったとすると、その間に
加工された数十枚のワークが不良品となることがある。
また、抜き取り検査のために人手を要し、作業能率が悪
いという問題もある。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、ワ
ークの平行度を向上させることができる薄板円板状ワー
クの両面研削装置を提供することにある。

【００１１】この発明の目的は、また、加工後のワーク
の平行度を簡単に測定して、ワークの平行度を向上させ
ることができる薄板円板状ワークの両面研削装置を提供
することにある。

【００１２】この発明の目的は、また、加工後のワーク
の平行度を簡単に測定することができる薄板円板状ワー
クの両面研削装置における断面形状測定装置を提供する
ことにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段および発明の効果】この発
明による薄板円板状ワークの両面研削装置は、所定の研
削加工位置において自転させられている薄板円板状ワー
クの両面の加工面を対向状に配置された１対の研削砥石
の端面の円形研削面により同時に研削加工する装置にお
いて、研削加工後の前記ワークの厚さ方向の断面形状を
測定する断面形状測定手段と、その測定結果に基づいて
前記研削砥石の少なくとも一方の傾きを調整するための
砥石傾き調整手段とを備えていることを特徴とするもの
である。

【００１４】断面形状測定手段による研削加工後のワー
クの厚さ方向の断面形状の測定結果に基づいて、砥石傾
き調整手段により少なくとも一方の研削砥石の傾きを調
整することにより、１対の研削砥石の研削面の相対的な
傾きを好ましい範囲に保つことがき、その結果、ワーク
の平行度を向上させることができる。

【００１５】この発明による装置は、また、端面の円形
研削面同志が対向するとともに軸方向に相対的に移動し
うるように配置されて回転させられる１対の研削砥石
と、薄板円板状ワークの両面の加工面が前記１対の研削
砥石の研削面にそれぞれ対向するとともに前記ワークの
外周が前記研削面の外周と交差しかつ前記ワークの中心
が前記研削面内に位置するように前記ワークを前記研削
面の間の研削加工位置に支持して自転させるワーク自転
手段とを備えている装置において、研削加工後の前記ワ
ークの厚さ方向の断面形状を測定する断面形状測定手段
と、その測定結果に基づいて前記研削砥石の少なくとも
一方の傾きを調整するための砥石傾き調整手段とを備え
ていることを特徴とするものである。

【００１６】この場合、ワークは、ワーク自転手段によ
り研削加工位置に支持されて自転させられ、１対の研削
砥石が、それぞれの研削面をワークの各加工面に接触さ
せた状態で、ワークよりも高速で回転させられる。砥石
が回転することにより、それらの研削面に接触している
ワークの加工面が研削され、ワークの外周が研削面の外
周と交差しかつワークの中心が研削面内に位置した状態
でワークが自転することにより、ワークが１回転する間
に、ワークの加工面の全面が研削面の間を通過して、研
削面に接触する。このため、ワークの半径より研削面の
外径が少し大きい砥石を用いて、ワークをその場で自転
させるだけで、その両面の加工面の全面を同時に研削す
ることができる。ワークをその場で自転させるだけでよ
く、従来のようにキャリヤなどを用いて移動させる必要
がないため、薄板円板状のワークであっても容易にかつ
確実に研削ができ、しかも装置の小型化が可能である。
また、ワークの半径より研削面の外径が少し大きい研削
砥石を用いてワークの加工面全体を研削することがで
き、ワークの外径より研削面の外径が大きい大型の砥石
を用いる必要がないため、この点からも、装置の小型化
が可能である。

【００１７】したがって、この発明の装置によれば、薄
板円板状ワークの両面を同時にかつ容易に研削でき、し
かも装置の小型化が可能である。

【００１８】そして、断面形状測定手段による研削加工
後のワークの厚さ方向の断面形状の測定結果に基づい
て、砥石傾き調整手段により少なくとも一方の研削砥石
の傾きを調整することにより、１対の研削砥石の研削面
の相対的な傾きを好ましい範囲に保つことがき、その結
果、ワークの平行度を向上させることができる。

【００１９】砥石傾き調整手段は、研削砥石の傾きを手
動操作によって調整するものであってもよいし、自動的
に調整するものであってもよい。

【００２０】好ましくは、前記砥石傾き調整手段が、前
記断面形状測定手段の測定結果に基づいて前記研削砥石
の少なくとも一方の傾きを自動的に調整するための数値
制御手段を備えている。

【００２１】このようにすれば、研削砥石の傾きの調整
に人手を要せず、作業の効率化が可能である。

【００２２】また、好ましくは、前記断面形状測定手段
が、前記ワークの直径上の所要部分の断面形状を測定す
る直径断面形状測定手段を備えており、前記直径断面形
状測定手段が、対向状に配置されて前記ワークの各加工
面までの距離をそれぞれ測定する少なくとも１対の距離
センサを備え、前記ワークと前記距離センサとが、前記
距離センサが前記ワークの直径上を相対移動するよう
に、相対的に移動させられる。

【００２３】この明細書において、直径あるいは半径と
いう用語は、幾何学的な厳密な意味でなく、直径あるい
は半径の近傍を通る直線も含む広い意味に用いられる。

【００２４】薄板円板状ワークの両面の加工面を１対の
研削砥石の端面の平面状の研削面の間に挟んで研削加工
する場合、加工後のワークは、その軸線に対して軸対称
の形状となるため、その全面にわたって断面形状（平行
度）を測定する必要はなく、直径上の少なくとも半径上
の断面形状を測定すれば、全体の断面形状が判断でき
る。そして、上記のようにすれば、１対の距離センサの
出力から、ワークの直径上の所要部分の断面形状を簡単
に求めることができ、したがって、同断面形状を簡単に
測定することができる。

【００２５】その場合、好ましくは、研削加工後の前記
ワークを前記研削加工位置からその加工面と平行な方向
に直線移動させて搬出するワーク移送手段が設けられ、
このワーク移送手段における前記ワークの移動径路上
に、前記少なくとも１対の距離センサが固定状に設けら
れている。

【００２６】このようにすれば、研削加工後のワークが
ワーク移送手段により搬出されているときに、１対の距
離センサの出力から、ワークの直径上の所要部分の断面
形状を簡単に求めることができ、したがって、断面形状
測定のためのワークの移動手段を別に設ける必要がな
く、同断面形状を簡単に測定することができる。

【００２７】この発明による薄板円板状ワークの両面研
削装置における断面形状測定装置は、所定の研削加工位
置において自転させられている薄板円板状ワークの両面
の加工面を対向状に配置された１対の研削砥石の端面の
円形研削面により同時に研削加工する装置において、研
削加工後の前記ワークの厚さ方向の断面形状を測定する
ための装置であって、前記ワークの直径上の所要部分の
断面形状を測定する直径断面形状測定手段を備えてお
り、前記直径断面形状測定手段が、対向状に配置されて
前記ワークの各加工面までの距離をそれぞれ測定する少
なくとも１対の距離センサを備え、前記ワークと前記距
離センサとが、前記距離センサが前記ワークの直径上を
相対移動するように、相対的に移動させられることを特
徴とするものである。

【００２８】１対の距離センサの出力から、ワークの直
径上の所要部分の断面形状を簡単に求めることができ、
したがって、同断面形状を簡単に測定することができ
る。薄板円板状ワークの両面の加工面を１対の研削砥石
の端面の平面状の研削面の間に挟んで研削加工する場
合、加工後のワークは、その軸線に対して軸対称の形状
となるため、その全面にわたって断面形状（平行度）を
測定する必要はなく、直径上の少なくとも半径上の断面
形状を測定すれば、全体の断面形状が判断できる。そし
て、ワークの直径上の断面形状を測定するだけでよいの
で、断面形状の測定が簡単である。

【００２９】好ましくは、研削加工後の前記ワークを前
記研削加工位置からその加工面と平行な方向に直線移動
させて搬出するワーク移送手段が設けられ、このワーク
移送手段における前記ワークの移動径路上に、前記少な
くとも１対の距離センサが固定状に設けられている。

【００３０】このようにすれば、研削加工後のワークが
ワーク移送手段により搬出されているときに、１対の距
離センサの出力から、ワークの直径上の所要部分の断面
形状を簡単に求めることができ、したがって、断面形状
測定のためのワークの移動手段を別に設ける必要がな
く、同断面形状を簡単に測定することができる。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
を半導体ウェーハの両面研削に適用した実施形態につい
て説明する。

【００３２】図１〜図５は第１実施形態を示し、図１お
よび図２は両面研削装置の全体構成を示している。両面
研削装置は、横軸両頭平面研削盤(1)にワーク自転手段
としてのワーク自転装置(2)、ワーク移送手段としての
ワーク移送装置(3)、断面形状測定手段としての断面形
状測定装置(4)および砥石傾き調整手段を構成する砥石
傾き調整装置(5)(6)が付加されたものである。第１実施
形態の説明において、図１の紙面表側を前、同裏側を後
とし、前から後を見たときの左右すなわち図１の左右を
左右とする。

【００３３】研削盤(1)は、水平なベッド(7)、ベッド
(7)の上面に取付けられた左右の砥石ヘッド(8)(9)を備
えている。詳細な図示は省略したが、左側砥石ヘッド
(8)の右側部分および左側砥石ヘッド(9)の左側部分は、
互いに独立して鉛直軸および左右方向水平軸を中心に回
動しうるようにベッド(7)に取付けられ、後に詳しく説
明するように、左側砥石ヘッド(8)の左側部分および右
側砥石ヘッド(9)の右側部分が、それぞれ、対応する砥
石傾き調整装置(5)(6)を介してベッド(7)に固定されて
いる。各砥石ヘッド(8)(9)内に、砥石軸(10)(11)が回転
支持されている。左右の砥石軸(10)(11)の軸心は左右方
向にのびる１つの共通な水平線とほぼ一致しており、各
砥石軸(10)(11)はそれぞれの砥石ヘッド(8)(9)に対して
軸方向に移動させられる。左側砥石ヘッド(8)より右側
に突出した砥石軸(10)の先端部にカップ型の左側研削砥
石(12)が固定され、右側砥石ヘッド(9)より左側に突出
した砥石軸(11)の先端部にこれと同形状、同寸法の右側
研削砥石(13)が固定される。左側砥石(12)の環状の鉛直
右端面および右側砥石(13)の環状の鉛直左端面は、それ
ぞれ、円形研削面(12a)(13a)となっており、これらの研
削面(12a)(13a)が互いにほぼ平行な状態で対向してい
る。左右の砥石軸(10)(11)が軸方向に移動することによ
り、左右の砥石(12)(13)が軸方向に相対移動する。左右
の砥石軸(10)(11)は、図示しない駆動手段により、互い
に同方向に同速度で回転させられ、その結果、左右の砥
石(12)(13)が互いに同方向に同速度で回転させられる。
なお、左右の砥石(12)(13)の回転方向および回転速度
は、互いに異なることもある。研削盤(1)の他の部分
は、公知の横軸両頭平面研削盤と同様に構成することが
できる。

【００３４】砥石傾き調整装置(5)(6)の詳細が、図１お
よび図２に示されている。左右の調整装置(5)(6)は互い
に左右対称に構成されているので、以下、左側の調整装
置(5)について説明する。なお、左右の調整装置(5)(6)
について、対応する部分には同一の符号を付している。

【００３５】ベッド(7)の左端面に、支持部材(14)が固
定されている。支持部材(14)は右側面だけが開放した直
方体箱型をなし、他の部分より右側に突出した底壁の右
端面がベッド(7)の左端面上部に固定されて、支持部材
(14)の上側の大部分が左側砥石ヘッド(8)の下部左側面
に対向している。角柱状のアーム(15)が、砥石ヘッド
(8)の左側面下端部に左方突出状に固定されて、支持部
材(14)の内側に入り込んでいる。支持部材(14)の後側壁
とアーム(15)との間に、アーム(15)を前側に付勢する圧
縮コイルばね(16)が設けられている。支持部材(14)の前
側壁を前後方向に貫通する穴に、移動ナット(17)が前後
方向の移動はできるが回転はできないように取付けられ
ている。支持部材(14)の前側壁の前面に、電動モータ(1
8)がブラケット(19)を介して後向きに固定されている。
モータ(18)の出力軸に固定されたねじ軸(20)が移動ナッ
ト(17)のめねじにねじはめられており、アーム(15)がば
ね(16)の弾性力により移動ナット(17)の後端部に圧接さ
せられている。モータ(18)でねじ軸(20)を回転させるこ
とにより、移動ナット(17)が前後方向に移動して、アー
ム(15)を前後方向に移動させ、その結果、砥石ヘッド
(8)が鉛直軸を中心に前後方向に回動して、その前後方
向の傾きが調整される。これと同じ機構が支持部材(14)
の上壁および下壁とアーム(15)との間に設けられてお
り、電動モータ(21)でねじ軸(22)を回転させて移動ナッ
ト(23)を上下方向に移動させることにより、圧縮コイル
ばね(24)と移動ナット(23)とで挾持されたアーム(15)が
上下方向に移動し、その結果、砥石ヘッド(8)が左右方
向水平軸を中心に上下方向に回動して、その上下方向の
傾きが調整される。そして、このように砥石ヘッド(8)
の前後方向の傾きと上下方向の傾きを調整することによ
り、砥石(12)の傾きを自由に調整することができる。

【００３６】ワーク自転装置(2)の詳細が図３および図
４に示されている。

【００３７】ワーク自転装置(2)は、薄板円板状ワーク
（ウェーハ）(W)を左右の研削面(12a)(13a)の間の研削
加工位置に鉛直に支持して自転させるものであり、外周
ガイドローラ(26)、駆動ローラ(27)および押えローラ(2
8)を３個ずつ備えている。

【００３８】砥石(12)(13)、自転装置(2)のローラ(26)
(27)(28)および自転装置(2)により研削加工位置に支持
されたワーク(W)の左から見た位置関係が、図５に示さ
れている。この実施形態の場合、砥石(12)(13)の外径は
ワーク(W)の外径の約３／４であり、研削加工位置に支
持されたワーク(W)の中心(C)は砥石(12)(13)の中心より
後方に位置している。そして、ワーク(W)が研削加工位
置に支持された状態では、ワーク(W)の中心(C)を含む前
側部分が砥石(12)(13)の間に入って、残りの後側部分が
砥石(12)(13)の間から外に出ており、ワーク(W)の両面
の加工面(a)(b)が左右の研削面(12a)(13a)にそれぞれ対
向するとともに、ワーク(W)の外周が研削面(12a)(13a)
の外周と交差し、かつワーク(W)の中心(C)が研削面(12
a)(13a)内（研削面(12a)(13a)の外周と内周の間）に位
置している。ガイドローラ(26)は、砥石(12)(13)の間か
ら外に出ているワーク(W)の部分の外周に接触してワー
ク(W)の径方向の位置を規制するものであり、ワーク(W)
を円周方向にほぼ３等分する位置、すなわち、ワーク
(W)の上下方向中央の後側の１箇所と、ワーク(W)の前部
の上下２箇所とに設けられている。駆動ローラ(27)と押
えローラ(28)とは対をなし、砥石(12)(13)の間から外に
出ているワーク(W)の部分の３箇所を駆動ローラ(27)と
押えローラ(28)とで左右から挟むようになっている。駆
動ローラ(27)は、ワーク(W)の左側加工面(a)に圧接して
回転することによりワーク(W)を回転させる。押えロー
ラ(28)は、ワーク(W)の右側加工面(b)に圧接して遊転す
る。駆動ローラ(27)および押えローラ(28)は、ワーク
(W)を円周方向に４等分する位置のうちの３箇所、すな
わち、ワーク(W)の上下中央の後部の１箇所と、ワーク
(W)の前後方向中央の上下２箇所とに設けられている。

【００３９】左右の砥石ヘッド(8)(9)の間のベッド(7)
の上面に、水平円板状の基板(29)が鉛直な軸心を中心に
旋回しうるように取付けられている。前から見て略Ｕ字
状をなす摺動部材(30)が、基板(29)の上面に設けられた
前後方向に水平にのびるガイドレール(31)に、これに沿
って摺動しうるように取付けられている。摺動部材(30)
は、前後方向に水平にのびるボールねじ(32)に連結さ
れ、図示しない電動モータなどでボールねじ(32)を回転
させることにより、摺動部材(30)が前後方向に移動させ
られる。

【００４０】摺動部材(30)の右側上方突出部(30a)の上
部に、ガイド付薄形シリンダ(33)により一定範囲内を左
右方向に移動させられる鉛直板状の移動部材(34)が設け
られ、移動部材(34)に右端部が固定されて左側に水平に
のびる複数のガイド棒(35)に、右側支持部材(37)が左右
方向に移動しうるように取付けられている。支持部材(3
7)は、ガイド棒(35)に装着された圧縮コイルばね(39)に
よって左側に付勢され、通常は、ガイド棒(35)の左端の
鍔状のストッパ(35a)に圧接する左端位置に停止してい
る。支持部材(37)の左側に突出した３つの部分に、自転
装置(2)に支持されたワーク(W)の半径方向にのびる軸を
中心に自由に回転しうるように押えローラ(28)が取付け
られている。

【００４１】摺動部材(30)の左側上方突出部(30b)の右
側の面に、複数の角度調整用スペーサ(41)を介して左側
支持部材(42)が固定されている。支持部材(42)の右側に
突出した３つの部分に電動モータ(43)が固定され、ワー
ク(W)の半径方向内向きにのびるモータ(43)の駆動軸に
駆動ローラ(27)が固定されている。３個の駆動ローラ(2
7)は、それぞれのモータ(43)により同じ方向（この実施
形態ではモータ(43)側から見て時計方向）に回転させら
れ、これにより、自転装置(2)に支持されたワーク(W)が
一定方向（この実施形態では左側から見て反時計方向）
に回転させられる。支持部材(42)の右側に突出した上記
３つの部分の右端部に、ガイドローラ(26)がそれぞれ左
右方向の水平軸を中心に自由に回転しうるように取付け
られている。

【００４２】図１および図２に、移送装置(3)の一部が
示されている。

【００４３】移送装置(3)は、自転装置(2)に対するワー
ク(W)の搬入、搬出を行うものであり、自転装置(2)の後
部の上方において上下方向および左右方向に移動する鉛
直状のロボットアーム(46)を備えている。ロボットアー
ム(46)の下部に、ワーク(W)の右側加工面(b)を吸着して
保持するための上下２個の真空吸着盤(47)が取付けられ
ている。移送装置(3)は、ワーク(W)を保持したロボット
アーム(46)を下端位置まで下降させた後に左側に少し移
動させることにより、ワーク(W)を自転装置(2)の研削加
工位置に搬入し、自転装置(2)の研削加工位置にあるワ
ーク(W)を保持したロボットアーム(46)を少し右側に移
動させた後に上端位置まで上昇させることにより、ワー
ク(W)を搬出する。

【００４４】左右の砥石ヘッド(8)(9)の間のベッド(7)
上に、砥石(12)(13)および自転装置(2)の部分を覆うよ
うに箱型のカバー(48)が固定されている。カバー(48)の
上壁には、ロボットアーム(46)およびこれに保持された
ワーク(W)との干渉を避けるために、前後方向に長い開
口(49)が形成されている。そして、この開口(49)の近傍
のカバー(48)の上面に、断面形状測定装置(4)が設けら
れている。測定装置(4)は、研削加工後のワーク(W)の直
径上の厚さ方向の断面形状を測定することにより、ワー
ク(W)の厚さ方向の断面形状を測定するものであり、開
口(49)の左右両側に対向状に配置された１対の距離セン
サ(50)(51)を備えている。各距離センサ(50)(51)は、対
向するワーク(W)の各加工面(a)(b)までの距離をそれぞ
れ測定するものである。距離センサ(50)(51)は、前後方
向には、移送装置(3)のロボットアーム(46)に保持され
て上方に移動させられているワーク(W)の中心線のほぼ
真上に位置し、左右方向には、このワーク(W)の左右両
側に位置している。そして、ロボットアーム(46)に保持
されて搬出されるワーク(W)の鉛直な直径上の点が、左
右のセンサ(50)(51)にほぼ対向するようになっている。
これにより、距離センサ(50)(51)が、搬出されるワーク
(W)の直径上を相対移動する。距離センサ(50)(51)は、
ワーク(W)の直径上の所要部分の断面形状を測定する直
径断面形状測定手段を構成している。

【００４５】図６に示すように、距離センサ(50)(51)の
出力は、数値制御装置(52)に入力する。数値制御装置(5
2)は、距離センサ(50)(51)の出力に基づいて、砥石ヘッ
ド(8)(9)の傾きを制御するために、傾き調整装置(5)(6)
の電動機(18)(19)を制御する。傾き調整装置(5)(6)およ
び数値制御装置(52)は、測定装置(4)の出力に基づいて
研削砥石(12)(13)の傾きを調整する砥石傾き調整手段を
構成している。

【００４６】ワーク(W)の研削作業は、たとえば、次の
ようにして行われる。

【００４７】研削作業中、左右の砥石(12)(13)は、図５
に矢印で示すように、互いに同方向に同速度で常時回転
しており、作業開始時には、図１に示すように、左右の
砥石(12)(13)が左右に離れた待機位置に移動するととも
に、移動部材(34)が右側の待機位置に移動している。こ
のため、右側支持部材(37)は移動部材(34)に対して左端
位置にあり、押えローラ(28)は駆動ローラ(27)から右方
にかなり離れている。このとき、駆動ローラ(27)は、回
転を停止している。そして、このような状態で、移送装
置(3)のロボットアーム(46)が下端位置まで加工するこ
とにより、これに保持されたワーク(W)がカバー(48)の
開口(49)の部分を通して自転装置(2)に搬入され、ロボ
ットアーム(46)が少し左側に移動することにより、ワー
ク(W)がガイドローラ(26)の間にはめられて、左側加工
面(a)が駆動ローラ(27)の右縁部に接触させられる。そ
して、ロボットアーム(46)でワーク(W)をこのような位
置に支持した状態で、移動部材(34)が左側の作動位置ま
で移動させられる。移動部材(34)が左に移動すると、押
えローラ(28)も左に移動し、ワーク(W)の右側加工面(b)
に接触する。押えローラ(28)がワーク(W)に接触した後
は、移動部材(34)だけがばね(39)の弾性力に抗して作動
位置まで移動し、これにより、ばね(39)が圧縮され、ば
ね(39)の弾性力により、押えローラ(28)が加工面(b)
に、駆動ローラ(27)が加工面(a)に圧接させられる。こ
れにより、ワーク(W)が研削加工位置に支持され、ワー
ク(W)の前側部分が左右の砥石(12)(13)の間に入り、ワ
ーク(W)の中心が研削面(12a)(13a)の後部の外周と内周
の間に位置する。ワーク(W)が研削加工位置に支持され
ると、ロボットアーム(46)がワーク(W)を離して、少し
右側に移動した後、開口(49)を通ってカバー(48)より上
方の上端位置まで上昇する。

【００４８】ワーク(W)の搬入が完了すると、駆動ロー
ラ(27)が回転を開始する。駆動ローラ(27)が回転するこ
とにより、ワーク(W)が、ローラ(26)(27)(28)により径
方向および軸方向の位置を規制された状態で、駆動ロー
ラ(27)の回転方向により決まる方向に砥石(12)(13)より
も低速で回転させられる。同時に、砥石(12)(13)が互い
に接近する方向に移動させられ、研削面(12a)(13a)が対
応する加工面(a)(b)に接触する。砥石(12)(13)はワーク
(W)の仕上がり寸法より決まる所定の位置まで移動し、
その位置に所定時間停止する。その間に、研削砥石(12)
(13)が回転することにより、それらの研削面(12a)(13a)
に接触しているワーク(W)の加工面(a)(b)が研削され、
ワーク(W)の外周が研削面(12a)(13a)の外周と交差しか
つワーク(W)の中心(C)が研削面(12a)(13a)内に位置した
状態でワーク(W)が自転することにより、ワーク(W)が１
回転する間に、ワーク(W)の加工面(a)(b)の全面が研削
面(12a)(13a)の間を通過して、研削面(12a)(13a)に接触
し、その結果、ワーク(W)が何回転かする間に、両面の
加工面(a)(b)の全面が同時に研削される。研削中、必要
があれば、ボールねじ(32)を往復駆動し、これにより、
ワーク(W)を、前後方向、すなわち、研削面(12a)(13a)
に平行であってワーク(W)の中心(C)と砥石(12)(13)の軸
心を結ぶ方向に往復移動させる。この往復移動は、常に
ワーク(W)の中心が研削面(12a)(13a)内に位置する範囲
内で行われる。たとえば、往復移動のストロークは、約
５ｍｍである。このようにワーク(W)を往復移動させる
ことにより、とくにワーク(W)の中心部の平面度、面粗
度を向上させることができる。

【００４９】このようにしてワーク(W)の研削が終了す
ると、砥石(12)(13)がワーク(W)から離れ、さらに左右
の待機位置まで移動する。砥石(12)(13)がワーク(W)か
ら離れると、駆動ローラ(27)が回転を停止し、これによ
り、ワーク(W)の自転が停止する。ワーク(W)が停止し
て、砥石(12)(13)が待機位置まで移動すると、ロボット
アーム(46)が開口(49)を通って下端位置まで下降した
後、少し左側に移動し、ワーク(W)を保持する。そし
て、移動部材(34)が右側の待機位置まで移動させられ
る。これにより、右側支持部材(37)が移動部材(34)に対
して左端位置まで戻り、さらに押えローラ(28)がワーク
(W)から右側に離れる。押えローラ(28)が右側に移動し
たならば、ロボットアーム(46)がワーク(W)を保持して
少し右側に移動した後、開口(49)を通って上端位置まで
上昇し、研削済みのワーク(W)を搬出する。そして、ロ
ボットアーム(46)により次のワークが自転装置(2)に搬
入され、上記同様に研削が行われる。

【００５０】研削作業開始時には、左右の研削面(12a)
(13a)が鉛直でかつ互いに平行になるように、左右の砥
石(12)(13)の傾きが調整されている。

【００５１】このような状態で最初のワーク(W)の加工
が行われ、少なくとも最初のワーク(W)についてワーク
(W)の断面形状の測定と必要に応じた砥石(12)(13)の傾
きの調整が行われ、以後、所定数の加工を行うたびに、
同様に、ワーク(W)の断面形状の測定と必要に応じた砥
石(12)(13)の傾きの調整が行われる。

【００５２】次に、図７〜図９を参照して、上記のワー
ク(W)の断面形状の測定および砥石(12)(13)の傾きの調
整の詳細について説明する。砥石(12)(13)の傾きの調整
は、数値制御装置(52)でワーク(W)の断面形状の測定結
果に基づいて調整装置(5)(6)を作動させることによって
行われる。また、少なくともいずれか一方の砥石(12)(1
3)の傾きを調整することにより、左右の砥石(12)(13)の
傾きを調整することができるが、ここでは、左側砥石(1
2)の角度を固定して、右側砥石(13)の傾きのみを調整す
る場合について説明する。

【００５３】図７は、砥石軸(10)(11)と直交する鉛直な
断面における砥石(12)(13)とワーク(W)の左側から見た
位置関係を示している。図８は砥石(12)(13)の傾きが生
じている面（傾きの中心軸と直交する面）に直交する方
向から見た左右の砥石(12)(13)の位置関係を示してい
る。図９は、ワーク(W)の断面形状の測定結果、すなわ
ち、直径方向のワーク(W)の厚さの相対変化を示してい
る。図７において、砥石(12)(13)の研削面(12a)(13a)を
ワーク(W)の中心(C)を通る円で表わしている。なお、こ
の円の直径ｄを砥石(12)(13)の研削部直径という。ま
た、(O)は砥石(12)(13)の中心、(L)は砥石(12)(13)の中
心(O)とワーク(W)の中心(C)を通る直線を表わしてい
る。砥石(12)(13)の傾きは、図７の砥石(12)(13)の中心
(O)を通って図７の紙面に直交する面内に生じるが、こ
の砥石(12)(13)の傾きが生じる面の方向を図７の直線で
表わすことにする。砥石(12)(13)の傾きについては、ワ
ーク中心(C)側が広がる方向に傾く場合と、ワーク中心
(C)側が狭まる方向に傾く場合とがあり、さらに、これ
らのそれぞれの場合について、直線Ｌの方向に傾きが生
じてワーク中心(C)に対応する点において砥石(12)(13)
が最も広がるかあるいは最も狭まる場合と、直線Ｌ以外
の直線（たとえば直線ＯＡあるいは直線ＯＡ´）の方向
に傾きが生じてワーク中心(C)に対応する点以外の点
（たとえば点Ａあるいは点Ａ´）において砥石(12)(13)
が最も広がるかあるいは最も狭まる場合とがある。角度
θは、砥石(12)(13)の傾きが生じている方向（たとえば
直線ＯＡあるいは直線ＯＡ´の方向）と直線Ｌとのなす
角度を表わしている。図８において、γは左右の砥石(1
2)(13)の傾き角すなわち左右の砥石軸(10)(11)の軸心の
傾き角を表わしている。なお、傾き角γは、ワーク(W)
の中心(C)側が狭まる方向を正方向とする。

【００５４】最初のワーク(W)の加工が終了して、この
ワーク(W)が移送装置(3)のロボットアーム(46)により測
定装置(4)の部分を上昇させられている間に、測定装置
(4)により、次のように、ワーク(W)の直径上の断面形状
が測定される。ワーク(W)が上昇してきて左右の距離セ
ンサ(50)(51)がワーク(W)の左右の加工面(a)(b)に対向
すると、各センサ(50)(51)から対向する加工面(a)(b)ま
での距離に対応する距離信号が出力され、ワーク(W)が
さらに上昇してセンサ(50)(51)が加工面(a)(b)から外れ
るまでの間、一定時間ごとにセンサ(50)(51)から距離信
号が出力される。そして、数値制御装置(52)により、こ
れらの距離信号に基づいて、理想的な加工面である仮想
加工面に対するワーク(W)の上記の直径上の断面形状が
求められる。左右のセンサ(50)(51)の距離は一定である
から、上記の各時点において、ある一定の値から各セン
サ(50)(51)からの距離信号を減算することにより、上記
の直径上におけるワーク(W)の相対的な厚さすなわち上
記の直径方向の厚さの変化量が求められ、これが断面形
状となる。このようにして求められた断面形状の例が図
９の〔a〕〜〔c〕に示されている。これらの図におい
て、(S)は仮想加工面、(t)は断面形状を表わしており、
(P1)および(P2)はワーク(W)の上縁の点(P1)および下 縁
の点(P2)にそれぞれ対応し、(P1)と(P2)の距離がワーク
(W)の直径Ｄに対応し 、(P1)と(P2)の中間の点(C)がワ
ーク(W)の中心(C)に対応している。図９の〔a〕〜〔c〕
において、仮想加工面(S)から断面形状を表す曲線(t)の
各点までの距離がそ の点におけるワーク(W)の相対的な
厚さを表わしている。以下、これを相対厚さ というこ
とにする。また、ワーク(W)の上縁における相対厚さを
ｔa、ワーク(W) の中心(C)における相対厚さをｔcとす
る。ｔaおよびｔcの値は、ワーク(W)の実 際の厚さに対
応していない仮の値であるが、これらの差はワーク(W)
の実際の厚 さの差に対応している。

【００５５】ワーク中心(C)側が広がるように砥石(12)
(13)が傾いた場合、その傾きが生じている方向にかかわ
らず、断面形状の測定結果は図９の〔a〕のようにな
る。すな わち、相対厚さは、ワーク(W)の中心(C)で最
大となり、この点から上縁および下縁に向かって徐々に
小さくなる。ワーク中心(C)側が狭まるように砥石(12)
(13) が傾いた場合、その傾きが生じている方向によ
り、断面形状の測定結果は図９の〔b〕あるいは〔c〕の
ようになる。すなわち、直線Ｌの方向に傾きが生じてい
る場合は、図９の〔b〕に示すように、相対厚さは、ワ
ーク(W)の中心で最小となり、この点から上縁および下
縁に向かって徐々に小さくなる。また、直線Ｌ以外の方
向に傾きが生じている場合は、図９の〔c〕に示すよう
に、相対厚さは、ワーク(W)の中心(C)と上縁および下縁
との間で最小となり、この点から両側に向かって徐々に
大きくなる。この場合、ワーク(W)の中心(C)と上縁の
間における最小相対厚さをｔbとし、中心(C)から最小相
対厚さｔbの点までの距離をｚとする。

【００５６】図９の〔a〕のような断面形状の測定結果
が得られた場合、砥石(12)(13)の傾き が生じている方
向すなわち角度θは特定できないが、ワーク(W)の中心
(C)における最大相対厚さｔcと上縁(P1)における最小相
対厚さｔaとの差ｘ（＝ｔc−ｔa）が所定値より小さけ
れば、平行度が許容範囲内にあるとして、砥石(12)(13)
の傾きの調整を行わず、差ｘが上記の所定値より大きけ
れば、一応、直線Ｌの方向に傾きが生じているとして、
次の式(1)および(2)により角度θおよび傾き角γ(rad)
が求められる。

【００５７】 θ＝０ ……… (1) γ＝−ｓｉｎ^-1｛２ｘ／ｄ（１−ｃｏｓα）｝ ……… (2) ここで、αは次の式で与えられる。

【００５８】α＝２ｓｉｎ^-1（Ｄ／２ｄ） そして、数値制御装置(52)で調整装置(6)を作動させる
ことにより、このγが０になるように、砥石の傾きが調
整される。さらに、詳しくは、図７における砥石(13)の
中心(O)を通って直線Ｌと直交する直線Ｍを中心に、ワ
ーク中心(C)側において研削面(12a)(13a)が接近する方
向に、−γだけ砥石(13)が傾けられる。

【００５９】なお、ワーク(W)の上縁における相対厚さ
と下縁における相対厚さとの平均値をｔaとしてもよ
い。

【００６０】図９の〔b〕のような断面形状の測定結果
が得られた場合は、直線Ｌの方向に傾 きが生じている
と判断し、ワーク(W)の上縁(P1)における最大相対厚さ
ｔaと中心(C)における最小相対厚さｔcとの差ｘ（＝ｔa
−ｔc）が所定値より小さければ、平行度が許容範囲内
にあるとして、砥石(12)(13)の傾きの調整を行わず、差
ｘが上記の所定値より大きければ、次の式(3)および(4)
により角度θおよび傾き角γが求められる。

【００６１】 θ＝０ ……… (3) γ＝ｓｉｎ^-1｛２ｘ／ｄ（１−ｃｏｓα）｝ ……… (4) αは上記と同じである。

【００６２】そして、数値制御装置(52)で調整装置(6)
を作動させることにより、このγが０になるように、砥
石の傾きが調整される。さらに、詳しくは、図７におけ
る直線Ｍを中心に、中心(C)側において研削面(12a)(13
a)が離れる方向に、−γだけ砥石(13)が傾けられる。

【００６３】なお、この場合も、ワーク(W)の上縁にお
ける相対厚さと下縁における相対厚さとの平均値をｔa
としてもよい。

【００６４】図９の〔c〕のような断面形状の測定結果
が得られた場合は、直線Ｌ以外の方向 に傾きが生じて
いると判断し、ワーク(W)の上縁(P1)における相対厚さ
ｔaと最小相対厚さｔbとの差ｙ（＝ｔa−ｔb）およびワ
ーク(W)の中心における相対厚さｔcと最小相対厚さｔb
との差がともに所定値より小さければ、平行度が許容範
囲内にあるとして、砥石(13)の傾きの調整を行わず、上
記の差のいずれかが上記の所定値より大きければ、次の
式(5)および(6)により角度θおよび傾き角γが求められ
る。

【００６５】 θ＝２ｓｉｎ^-1（ｚ／ｄ） ……… (5) γ＝ｓｉｎ^-1｛２ｙ／ｄ（１−ｃｏｓα）｝ ……… (6) ここで、αは次の式で与えられる。

【００６６】α＝２ｓｉｎ^-1（Ｄ／２ｄ）−θ そして、数値制御装置(52)で調整装置(6)を作動させる
ことにより、このγが０になるように、砥石の傾きが調
整される。さらに、詳しくは、図７における砥石(13)の
中心(O)を通って直線ＯＡと直交する直線Ｎを中心に、
点(A)側において研削面(12a)(13a)が離れる方向に、−
γだけ砥石(13)が傾けられる。

【００６７】なお、この場合も、ワーク(W)の上縁にお
ける相対厚さと下縁における相対厚さとの平均値をｔa
としてもよい。また、ワーク(W)の上側における最小相
対厚さと下側における最小相対厚さの平均値をｔbとし
てもよい。

【００６８】上記のようにして最初のワーク(W)に対す
る断面形状の測定および傾きの調整が終了すると、２個
目のワーク(W)の加工が行われる。

【００６９】最初のワーク(W)の断面形状測定の結果、
傾きの調整の必要がなかった場合は、２個目のワーク
(W)の加工後に断面形状の測定および傾きの調整は行わ
ず、所定数のワーク(W)の加工を続けて行い、その後
に、同様に、断面形状の測定と必要に応じた傾きの調整
を行う。

【００７０】最初のワーク(W)の断面形状測定の結果、
傾きを調整した場合は、２個目以降のワーク(W)につい
て、傾きの調整の必要がなくなるまで、断面形状の測定
と傾きの調整を行う。なお、２個目以降のワーク(W)の
断面形状の測定結果は、ワーク(W)の断面形状が砥石軸
(10)(11)の傾きだけで形成されるときは、図９の〔a〕
〜〔c〕のいずれかになるので、上で説明したような傾
きの調整を行う。その他の要 因、たとえばワーク(W)の
振れなどにより図９の〔a〕〜〔c〕以外の形状になる場
合 も、ワーク(W)の相対厚さの最も厚いところを基に角
度θと傾き角γを求めて、 砥石軸(10)(11)の傾きを調
整する。そして、傾きの調整の必要がなくなった後に、
所定数のワーク(W)の加工を続けて行い、その後に、同
様に、断面形状の測定 と必要に応じた傾きの調整を行
う。

【００７１】図７において直線Ｌに対して互いに対称な
直線ＯＡおよびＯＡ´のいずれの方向に傾きが生じてい
る場合も、図９の〔c〕に示すような同じ断面形状の測
定結果 が得られる。図９の〔c〕に示すような断面形状
の測定結果が得られた場合、上記 のように、直線ＯＡ
の方向に傾きが生じていると判断して傾きの調整を行っ
ているが、実際は直線ＯＡ´の方向に傾きが生じている
場合にこのような傾きの調整を行っても、平行度は改善
されない。このような場合は、次のワーク(W)の断面 形
状を測定して角度θおよび傾き角γを求めた後、直線Ｏ
Ａ´の方向に砥石(13)を傾けて、調整を行う。

【００７２】上記実施形態では、ワーク(W)の直径の全
体にわたって断面形状を測定しているので、測定結果か
らワーク(W)の中心(C)に対応する部分を簡単に求めるこ
とができる。しかし、加工するワークの直径は予めわか
っているので、ワークの半径より少し大きい範囲の断面
形状を測定するだけでも、ワークの断面形状を測定する
ことができる。

【００７３】両面研削装置を構成する研削盤(1)、ワー
ク自転装置(2)、ワーク移送装置(3)、断面形状測定装置
(4)などの各部の構成は、上記実施形態のものに限ら
ず、適宜変更可能である。

【００７４】たとえば、上記実施形態では、両方の砥石
(12)(13)の傾きが数値制御装置(52)と調整装置(5)(6)に
よって自動的に調整できるようになっているが、一方だ
けを自動的に調整できるようにしてもよい。その場合、
他方は、手動操作によって調整できるようにしてもよい
し、調整ができないようにしてもよい。また、両方を手
動操作によって調整できるようにしてもよいし、一方を
手動操作によって調整できるようにし、他方を調整でき
ないようにしてもよい。その場合、ワークの断面形状の
測定結果をディスプレイあるいはプリンタなどの出力手
段によって出力し、その結果に基づいて、作業者が傾き
を調整するようにする。

【００７５】また、上記実施形態においては、研削砥石
の軸心が水平である横型の両面研削装置を示したが、た
とえば上記と同様の構成で研削砥石の軸心が鉛直である
縦型のものとすることもできる。

【００７６】図１０は断面形状測定装置の他の実施形態
を示し、図１１はその一部を拡大して示している。な
お、以下の説明において、図１０の右側を前、左側を後
とし、後から前を見たときの左右を左右とする。

【００７７】図１０に示すように、前後方向にのびる台
(60)の上に、加工後のワーク(W)をほぼ水平な姿勢に支
持して前方に搬送するための前後２組のコンベヤ(61)(6
2)が設けられている。各コンベヤ(61)(62)は、図示しな
い電動モータなどにより駆動される左右１対のゴム製丸
ベルト(63)を備えている。ベルト(63)は、横断面略Ｕ字
状のフレーム(64)の左右両側上部に配置され、水平状態
のワーク(W)の左右両側の部分を下から支持して前方に
送るようになっている。前後のコンベヤ(61)(62)の間隔
はワーク(W)の直径よりもかなり小さく、ワーク(W)は後
側のコンベヤ(62)から前側のコンベヤ(61)に支障なく乗
り移るようになっている。

【００７８】前後のコンベヤ(61)(62)の間に、左右にの
びる上下１対の洗浄ローラ(65)(66)がワーク(W)を上下
両側から挟むように配置され、これらの両端部が台(60)
に固定された左右の支持板(67)に回転自在に支持されて
いる。上下の洗浄ローラ(65)(66)は、電動モータ(68)に
より、歯車(69)(70)などを介して互いに反対方向に同速
度で回転させられる。上側の洗浄ローラ(65)の上方にお
いて左右方向にのびる散水管(71)の両端部が支持板(67)
に固定されている。図示は省略したが、散水菅(71)には
多数の下向きのノズルが設けられ、散水菅(71)は給水装
置に接続されている。

【００７９】前側のコンベヤ(61)の後部に、左右にのび
る上下１対のブロック状のワークガイド(72)(73)がワー
ク(W)を上下両側から挟むように配置されている。上側
のガイド(72)はその左端部において台(60)に固定され、
下側のガイド(73)はフレーム(64)の底壁上面に固定され
ている。上下のガイド(72)(73)の上下間隔はワーク(W)
の厚さよりわずかに大きく、これらの対向面には図示し
ない静圧みぞが形成されている。各ガイド(72)(73)には
上記の静圧みぞに連通する空気穴(74)が形成され、これ
らの穴(74)に空気供給管(75)が接続されている。

【００８０】ガイド(72)(73)より少し前方の部分に、上
下１対の距離センサ(76)(77)が配置されている。上側の
センサ(76)は上側のガイド(72)に固定され、下側のセン
サ(77)はフレーム(64)の底壁上面に固定されている。こ
れらのセンサ(76)(77)は、上記実施形態におけるセンサ
(50)(51)と同様のものである。

【００８１】ワーク(W)を加工する部分は上記の断面形
状測定装置の後側に配置されており、加工の終了したワ
ーク(W)が後側のコンベヤ(62)にのせられる。ワーク(W)
が後側のコンベヤ(62)から前側のコンベヤ(63)に乗り移
るときに、散水菅(70)のノズルから噴射される水と回転
している洗浄ローラ(65)(66)とにより、ワーク(W)の上
下の加工面が洗浄される。洗浄後のワーク(W)は上下の
ガイド(72)(73)の間に入り、空気供給管(75)および空気
穴(74)を通してガイド(72)(73)の静圧みぞに供給される
空気の圧力により非接触状態で案内され、前方に送られ
る。そして、ワーク(W)が上下のセンサ(76)(77)の間を
通過している間に、上記実施形態の場合と同様に、ワー
ク(W)の直径上の断面形状が測定される。

【００８２】他は、上記実施形態の場合と同様である。

【００８３】この発明は、半導体ウェーハ以外の薄板円
板状ワークに対する両面研削装置や断面形状測定装置に
も適用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、この発明の実施形態を示す両面研削装
置の一部切欠き正面図である。

【図２】図２は、図１の一部切欠き平面図である。

【図３】図３は、図１の装置におけるワーク自転装置の
部分を拡大して示す一部切欠き正面図である。

【図４】図４は、図３のIV−IV線の断面図である。

【図５】図５は、図３のワーク自転装置の主要部を示す
概略構成図である。

【図６】図６は、図１の装置における砥石傾き調整装置
の電気的構成の１例を示すブロック図である。

【図７】図７は、研削砥石とワークの位置関係を示す説
明図である。

【図８】図８は、研削砥石の傾きを示す説明図である。

【図９】図９は、ワークの断面形状の測定結果の１例を
示す説明図である。

【図１０】図１０は、断面形状測定装置の他の実施形態
を示す斜視図である。

【図１１】図１１は、図１０の一部を拡大して示す縦断
面図である。

【符号の説明】

(1) 横軸両頭平面研削盤 (2) ワーク自転装置 (3) ワーク移送装置 (4) 断面形状測定装置 (5)(6) 砥石傾き調整装置 (12)(13) 研削砥石 (12a)(13a) 研削面 (50)(51) 距離センサ (76)(77) 距離センサ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】所定の研削加工位置において自転させられ
   ている薄板円板状ワークの両面の加工面を対向状に配置
   された１対の研削砥石の端面の円形研削面により同時に
   研削加工する装置において、 研削加工後の前記ワークの厚さ方向の断面形状を測定す
   る断面形状測定手段と、その測定結果に基づいて前記研
   削砥石の少なくとも一方の傾きを調整するための砥石傾
   き調整手段とを備えていることを特徴とする薄板円板状
   ワークの両面研削装置。
2. 【請求項２】端面の円形研削面同志が対向するとともに
   軸方向に相対的に移動しうるように配置されて回転させ
   られる１対の研削砥石と、薄板円板状ワークの両面の加
   工面が前記１対の研削砥石の研削面にそれぞれ対向する
   とともに前記ワークの外周が前記研削面の外周と交差し
   かつ前記ワークの中心が前記研削面内に位置するように
   前記ワークを前記研削面の間の研削加工位置に支持して
   自転させるワーク自転手段とを備えている装置におい
   て、 研削加工後の前記ワークの厚さ方向の断面形状を測定す
   る断面形状測定手段と、その測定結果に基づいて前記研
   削砥石の少なくとも一方の傾きを調整するための砥石傾
   き調整手段とを備えていることを特徴とする薄板円板状
   ワークの両面研削装置。
3. 【請求項３】前記砥石傾き調整手段が、前記断面形状測
   定手段の測定結果に基づいて前記研削砥石の少なくとも
   一方の傾きを自動的に調整するための数値制御手段を備
   えていることを特徴とする請求項１または２の薄板円板
   状ワークの両面研削装置。
4. 【請求項４】前記断面形状測定手段が、前記ワークの直
   径上の所要部分の断面形状を測定する直径断面形状測定
   手段を備えており、前記直径断面形状測定手段が、対向
   状に配置されて前記ワークの各加工面までの距離をそれ
   ぞれ測定する少なくとも１対の距離センサを備え、前記
   ワークと前記距離センサとが、前記距離センサが前記ワ
   ークの直径上を相対移動するように、相対的に移動させ
   られることを特徴とする請求項１、２または３の薄板円
   板状ワークの両面研削装置。
5. 【請求項５】研削加工後の前記ワークを前記研削加工位
   置からその加工面と平行な方向に直線移動させて搬出す
   るワーク移送手段が設けられ、このワーク移送手段にお
   ける前記ワークの移動径路上に、前記少なくとも１対の
   距離センサが固定状に設けられていることを特徴とする
   請求項４の薄板円板状ワークの両面研削装置。
6. 【請求項６】所定の研削加工位置において自転させられ
   ている薄板円板状ワークの両面の加工面を対向状に配置
   された１対の研削砥石の端面の円形研削面により同時に
   研削加工する装置において、研削加工後の前記ワークの
   厚さ方向の断面形状を測定するための装置であって、 前記ワークの直径上の所要部分の断面形状を測定する直
   径断面形状測定手段を備えており、前記直径断面形状測
   定手段が、対向状に配置されて前記ワークの各加工面ま
   での距離をそれぞれ測定する少なくとも１対の距離セン
   サを備え、前記ワークと前記距離センサとが、前記距離
   センサが前記ワークの直径上を相対移動するように、相
   対的に移動させられることを特徴とする薄板円板状ワー
   クの両面研削装置における断面形状測定装置。
7. 【請求項７】研削加工後の前記ワークを前記研削加工位
   置からその加工面と平行な方向に直線移動させて搬出す
   るワーク移送手段が設けられ、このワーク移送手段にお
   ける前記ワークの移動径路上に、前記少なくとも１対の
   距離センサが固定状に設けられていることを特徴とする
   請求項６の薄板円板状ワークの両面研削装置における断
   面形状測定装置。