JPH09174427A - 三次元微傾斜装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 切削、研削、ラップ、ポリッシュ加工におい
て必要とする仕上げ平面位置を得るために、ワークの取
付面に微細傾斜、平行移動を与えてワークの姿勢、高さ
位置を簡単、かつ確実に再現性よく三次元的に調整する
こと。 【解決手段】 基準板４３の中央部周りの３箇所におい
て各々基準板４３と傾斜板４７とを３個の平行板ばね手
段５３、５５、５７によって相互に接続する。この平行
板ばね手段は基準板４３と傾斜板４７とのずれ移動を禁
止して基準板４３に対する傾斜板４７の傾斜方向に弾性
を有している。基準板４３の中央部周りの３箇所におい
て各々基準板４３と傾斜板４７とに挟まれて基準板４３
と傾斜板４７の間隙量を増減する高構成構造の３個の間
隙量増減手段６７、６９、７１と７７、７９、８１を設
ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、三次元微傾斜装
置に関し、特にラッピンクなどの高精度加工においてワ
ークを保持する三次元微傾斜装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】平面ラップ盤においては、ワークを柔構
造で保持した状態で、ワークをラップ定盤の盤面に押し
付けてその盤面とワークとの間に存在する浮遊砥粒によ
って平面研磨を行うから、研磨面は加工前の平均的平面
に倣って表面平滑度を高められるものの、その研磨仕上
がり面の角度姿勢（位置精度）は修正されない。

【０００３】このため、平面ラップ盤では、例えば磁気
ヘッド用ウエハなどのラップ加工において、ウエハの中
間位置に生成された複数の基準位置から精度よく平行に
ラップ加工すること、即ち理想平面を得ることは不可能
である。

【０００４】特殊な例として、錘や空油圧による加圧を
基準点に合わせて偏荷重とし、研磨面の研磨仕上げ指定
平面に対する傾きを排除することが行われている。

【０００５】また、これ以外に、切削、研削、ラップ、
ポリッシュ加工によってワークの加工面を目標位置平面
に仕上げる場合、その加工面を単に加工基準面とせず、
目標位置平面を考慮した基準ブロック、ねじ調整機構、
二次元傾斜台などを使用して加工面の角度姿勢を目標位
置平面に合ったものにすることが行われている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】錘や空油圧による加圧
を基準点に合わせて偏荷重として研磨面の研磨仕上げ指
定平面に対する傾きを排除する作業は、試行錯誤的作業
になり、経験的な勘に頼ることなり、確実性に欠け、作
業能率が悪い。

【０００７】基準ブロック、ねじ調整機構、二次元傾斜
台などでは、加工面の角度姿勢を目標位置平面に合った
ものにする作業も手動操作に負うところが多く、従来は
何れの場合も、再現精度に問題があり、多量生産には不
向きであり、またこの調整を自動化することが難しい。
また基準ブロック、ねじ調整機構、二次元傾斜台などで
は加工面の角度姿勢を目標位置平面に合わせてその加工
面を平行移動させて加工面の高さ調整するすることがで
きない。

【０００８】この発明は、上述の如き問題点に着目して
なされたものであり、切削、研削、ラップ、ポリッシュ
加工において必要とする仕上げ平面位置を得るために、
ワークの取付面に微細傾斜、平行移動を与えてワークの
姿勢、高さ位置を簡単、かつ確実に再現性よく調整で
き、しかも自動化が可能な三次元微傾斜装置を提供する
ことを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、この発明の請求項１による三次元微傾斜装置は、
基準板と、傾斜板と、前記基準板の中央部周りの３箇所
において各々前記基準板と前記傾斜板とを相互に接続
し、前記基準板と前記傾斜板とのずれ移動を禁止して前
記基準板に対する前記傾斜板の傾斜方向に弾性を有する
３個の平行板ばね手段と、前記基準板の中央部周りの３
箇所において各々前記基準板と前記傾斜板とに挟まれて
前記基準板と前記傾斜板の間隙量を増減する高剛性構造
の３個の間隙量増減手段とを有している。

【００１０】この発明による三次元微傾斜装置では、３
個の平行板ばね手段により傾斜板が基準板に対して全方
向に傾斜可能に接続され、３個の間隙量増減手段により
基準板の中央部周りの３箇所において各々基準板と傾斜
板の間隙量が増減されることにより傾斜板が基準板に対
して微傾斜し、また３個の間隙量増減手段が全て同等に
操作されることにより傾斜板が平行移動し、傾斜板の高
さ位置が微調整される。

【００１１】また上述の目的を達成するために、この発
明の請求項２による三次元微傾斜装置は、請求項１に記
載の三次元微傾斜装置において、前記間隙量増減手段
が、前記基準板に移動可能に設けられた楔部材と、前記
傾斜板に定位置保持されて前記楔部材と係合する鋼球と
により構成されていることを特徴としている。

【００１２】この発明による三次元微傾斜装置では、楔
部材が基準板に対して移動可能することにより、傾斜板
に定位置保持されている鋼球との係合関係によって楔部
材の移動量に応じて基準板と傾斜板の間隙量が微細増減
され、傾斜板の傾斜度、高さ位置が微調整される。

【００１３】また上述の目的を達成するために、この発
明の請求項３による三次元微傾斜装置は、請求項２に記
載の三次元微傾斜装置において、前記楔部材が前記基準
板に線形移動可能に設けられ、前記基準板に回転可能に
設けられた送りねじ軸と螺合し、前記送りねじ軸の回転
により前記楔部材を線形移動することを特徴としてい
る。

【００１４】この発明による三次元微傾斜装置では、送
りねじ軸の回転により楔部材が基準板に対して線形移動
することにより、送りねじ軸の回転量に応じて基準板と
傾斜板の間隙量が定量的に微細増減され、傾斜板の傾斜
度、高さ位置が微調整される。

【００１５】また上述の目的を達成するために、この発
明の請求項４による三次元微傾斜装置は、請求項１〜３
の何れかに記載の三次元微傾斜装置において、前記平行
板ばね部材は各々前記基準板の中心点周りに互いに１２
０度の回転角をもって等間隔に配置され、前記間隙量増
減手段は各々前記基準板の中心点周りに前記平行板ばね
部材とは６０度の回転変位して互いに１２０度の回転角
をもって等間隔に配置されていることを特徴としてい
る。

【００１６】この発明による三次元微傾斜装置では、基
準板の中心点周りにに等間隔をおいて配置された３個の
平行板ばね手段により傾斜板が基準板に対して全方向に
傾斜可能に接続され、互いに隣接する二つの平行板ばね
手段間の中間部で、基準板の中心点周りに等間隔をおい
て配置された３個の間隙量増減手段により基準板の中心
点周りの３箇所において各々基準板と傾斜板の間隙量が
増減されることにより傾斜板が基準板に対して全方向に
微傾斜し、また高さ位置が微調整される。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下にこの発明の実施の形態を図
面を用いて詳細に説明する。

【００１８】図１はこの発明による三次元微傾斜装置が
使用されて好適な研磨装置の一つの実施の形態を示して
いる。

【００１９】研磨装置は高剛性基台としてベッド１を有
し、ベッド１上に高剛性構造体によるコラム３が固定さ
れている。

【００２０】ベッド１上には垂直（鉛直）軸線周りに回
転可能な回転テーブル５を有するラップ定盤用回転テー
ブル装置７が取り付けられている。ベッド１の側部には
テーブル駆動モータ９が取り付けられており、テーブル
駆動モータ９はベルト式伝動機構１１によって回転テー
ブル５を自身の中心軸線周りに回転駆動する。

【００２１】回転テーブル５上にはラップ定盤１３が固
定装着されている。ラップ定盤１３は上面部に円環状の
盤面１５を有し、この盤面１５上に浮遊砥粒を与えられ
る。

【００２２】ラップ定盤用回転テーブル装置７の下底部
にはラップ定盤１３に冷却液を供給されるためのラップ
定盤冷却液用回転継手１７が接続されている。

【００２３】コラム３には上下方向のリニアガイド部１
９が形成されており、リニアガイド部１９に高剛性構造
体による主軸支持スライダ２１が上下方向、即ちラップ
定盤１３との対向面方向に移動可能に剛性接続されてい
る。主軸支持スライダ２１には上下方向に主軸ヘッド２
３が取り付けられており、主軸ヘッド２３にはラップ定
盤１３の盤面１５に垂直な軸線廻り、即ち鉛直軸線周り
に回転可能なワーク主軸２５とワーク主軸２５を回転駆
動する主軸モータ２７とが設けられている。

【００２４】コラム３には上下方向に延在する送りねじ
軸２９が回転可能に設けられており、送りねじ軸２９に
は主軸支持スライダ２１に固定された送りナット３１が
螺合している。送りねじ軸２９は、所要の剛性を備え、
コラム３に取り付けられた切り込み加圧サーボモータ３
３によって回転駆動され、主軸支持スライダ２１をラッ
プ定盤１３との対向面方向に剛固に駆動加圧する。

【００２５】主軸支持スライダ２１に対する主軸ヘッド
２３の取付部には加工圧検出器３５が設けられている。
加工圧検出器３５は、圧電素子によるロードセル等によ
り構成され、ワーク主軸２５に作用する軸線方向の加工
圧を定量的に検出し、加工圧検出信号を切り込み加圧サ
ーボモータ３３のサーボ制御装置３７に入力する。

【００２６】サーボ制御装置３７は、加工圧検出器３５
により検出される加工圧をフィードバック補償値として
加圧サーボモータ３３による主軸支持スライダ２１の加
圧量が制御目標値に保たれるように定値制御を行い、定
圧加圧制御手段をなす。

【００２７】ワーク主軸２５の先端部にはワーク取付治
具として三次元微傾斜装置３９が取り付けられている。

【００２８】三次元微傾斜装置３９は、図２、図３に示
されているように、ボルト４１によってワーク主軸２５
の先端面に固定された円盤状の基準板４３と、基準板４
３の下方部にあって基準板４３の中心部に設けられた中
心軸部４５に嵌合して嵌合遊びにより全方向に微傾斜可
能な傾斜板４７とを有している。傾斜板４７の最大傾斜
可能角度は、研磨装置での使用では、数１００秒〜１度
程度であってよい。

【００２９】基準板４３と傾斜板４７との間には中心軸
線周りの３箇所において各々、一端をボルト４９によっ
て基準板４３に固定され、他端をボルト５１によって傾
斜板４７に固定された平行板ばね部材５３、５５、５７
が設けられている。

【００３０】平行板ばね部材５３、５５、５７は、周方
向に互いに隣接するもの同士で基準板４３の中心軸線周
りに互いに１２０度の回転角をもって等間隔に配置され
て各々基準板４３の径方向に延在しており、所定幅寸法
ｔを有していることにより、傾斜板４７が基準板４３に
対して相対回転変位、即ち捩れること（ずれ移動）を禁
止し、中間部に上下方向の薄肉部５９を有していること
により略上下方向の曲げに対して所要のばね性を示し、
換言すれば基準板４３に対する傾斜板４７の傾斜方向に
所要のばね性を示し、互いに共働して傾斜板４７を基準
板４３に対してフローティング状態でほぼ平行姿勢に保
持している。

【００３１】基準板４３の中心軸線周りの３箇所で平行
板ばね部材５３、５５、５７とは各々６０度回転変位し
た位置には各々ブラケット６０によって傾斜調整ねじ軸
６１、６３、６５が各々回転可能に設けられている。傾
斜調整ねじ軸６１、６３、６５は基準板４３の中心軸線
周りに互いに１２０度の回転角をもって等間隔に配置さ
れ、各々中心軸部４５を隔てて平行板ばね部材５３、５
５、５７と一直線上に径方向に延在しており、この傾斜
調整ねじ軸６１、６３、６５の各々には楔ブロック６
７、６９、７１が螺合している。

【００３２】楔ブロック６７、６９、７１は各々傾斜板
４７との対向面側に傾斜面７３を有し、傾斜調整ねじ軸
６１、６３、６５の回転によって径方向に直線移動す
る。各楔ブロック６７、６９、７１の傾斜面７３には傾
斜板４７の中心軸線周りの３箇所に形成された円錐形ポ
ケット７５の各々に係合している鋼球７７、７９、８１
が係合している。楔ブロック６７、６９、７１と傾斜板
４７と鋼球７７、７９、８１とは各々、平行板ばね部材
５３、５５、５７のばね力により互いに押し付けられ、
所要の予荷重を与えられている。鋼球７７、７９、８１
は円錐形ポケット７５に係合していることによって傾斜
板４７に定位置保持され、楔ブロック６７と鋼球７７、
楔ブロック６９と鋼球７９、楔ブロック７１と鋼球８１
が各々間隙増減手段をなしている。

【００３３】傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５の外側端
部には各々歯車８３が取り付けられている。コラム３に
は水平方向のリニアガイド部８６を有するマウント部材
８５が固定されており、リニアガイド部８６にはスライ
ダ８７が水平方向に移動可能に設けられている。スライ
ダ８７には傾斜調整サーボモータ８９が取り付けられて
おり、傾斜調整サーボモータ８９の回転出力軸９１に駆
動歯車９３が取り付けられている。

【００３４】マウント部材８５には、主軸支持スライダ
２１が最上昇位置に位置している状態で、駆動歯車９３
が傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５の一つの歯車８３と
噛合する噛合位置と、これより後退して歯車８３と噛合
より離間する離間位置との間にスライダ８７を往復動す
る流体圧シリンダ装置９５が設けられている。

【００３５】三次元微傾斜装置３９の傾斜調整ねじ軸６
１、６３、６５の歯車８３は各々、主軸モータ２７によ
ってワーク主軸２５が分割回転駆動されることにより、
駆動歯車９３との噛合位置に選択的に位置することがで
き、主軸支持スライダ２１が最上昇位置に位置している
状態で、スライダ８７が流体圧シリンダ装置９５によっ
て噛合位置に移動することにより、あるいはスライダ８
７が噛合位置に位置している状態で、主軸支持スライダ
２１が最上昇位置に移動することにより、駆動歯車９３
が傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５の何れか一つの歯車
８３と噛合する。

【００３６】三次元微傾斜装置３９の下底面部（ワーク
取付面）９７には真空チャック用吸引ポート９９が開口
している。真空チャック用吸引ポート９９は、三次元微
傾斜装置４７、基準板４３に形成された負圧通路１０
１、１０３によりワーク主軸２５の負圧通路１０５と連
通し、図示されていない真空ポンプより負圧を与えら
れ、下底面部９７にワークＷ（図１参照）を吸着保持す
る。

【００３７】次に三次元微傾斜装置３９によるワークＷ
の取付姿勢の調整手順について説明する。ワークＷの取
付姿勢の調整に際しては、まず主軸支持スライダ２１を
最上昇位置に位置させ、主軸モータ２７によってワーク
主軸２５を分割回転駆動し、傾斜調整ねじ軸６１、６
３、６５の何れか一つの歯車８３を噛合位置に位置させ
る。次に流体圧シリンダ装置９５によってスライダ８７
を前進移動させて噛合位置に位置させることにより、駆
動歯車９３が傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５の何れか
一つの歯車８３に噛合する。

【００３８】この状態で、傾斜調整サーボモータ８９を
回転駆動することにより、駆動歯車９３によって噛合状
態にある歯車８３、例えば傾斜調整ねじ軸６１の歯車８
３を回転駆動する。これにより傾斜調整ねじ軸６１が回
転し、楔ブロック６７が基準板４３の径方向へ線形移動
する。楔ブロック６７の線形移動が図２にて右方である
とすると、楔ブロック６７の傾斜面７３と鋼球７７との
係合関係により傾斜面７３の傾斜勾配に従って傾斜板４
７が平行板ばね部材５３のばね力に抗して図２にて左下
がりに微傾斜する。

【００３９】例えば、楔ブロック６７の傾斜面７３の傾
斜角が１／１００、傾斜調整ねじ軸６１のねじピッチが
０．２５ｍｍ、鋼球７７の配置半径が４０ｍｍとする、
傾斜調整ねじ軸６１の１回転による楔ブロック６７の移
動量は０．２５ｍｍで、鋼球７７の上下方向の変位量は
０．０２５ｍｍとなる。他の二つの楔ブロック６９、７
１が固定されていると、この場合の傾斜角はａｒｃｔａ
ｎ ０．０２５／６０＝略８３秒と、極めて微少な傾斜
角調整が行われることになる。

【００４０】このことは、他の二つの楔ブロック６９、
７１においても同じであり、傾斜調整ねじ軸６１、６
３、６５の各々によって楔ブロック６７、６９、７１の
配置位置が調整されることにより、傾斜板４７は全ての
方向について極めて微少な傾斜角調整を行われ、この傾
斜角調整により三次元微傾斜装置３９の下底面部９７は
任意の傾斜方向、傾斜角による傾斜面を呈する。従って
傾斜板４７の傾斜姿勢は傾斜調整ねじ軸６１、６３、６
５の各々回転量およびその組み合わせにより再現性よく
正確に決まる。

【００４１】また、傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５が
全て同一量だけ回転されると、微傾斜ヘッド３９の下底
面部９７は、任意の傾斜方向、傾斜角による傾斜面を呈
した状態で上下方向に平行移動し、高さ位置を微調整さ
れる。この高さ位置は微傾斜ヘッド３９の下底面部９７
を水平面にした状態でも有効である。

【００４２】傾斜板４７の下底面９７には真空チャック
用吸引ポート９９の負圧によってワークＷが吸着保持さ
れる。

【００４３】この傾斜板４７の微傾斜姿勢は、中心軸線
周りの３箇所にて基準板４３との間に剛体である楔ブロ
ック６７、６９、７１と傾斜板４７と鋼球７７、７９、
８１が挟まれ、これらが平行板ばね部材５３、５５、５
７のばね力によって相互に押し付けられていることによ
り、全くがた付きを生じることなく高剛性をもって剛固
に維持される。

【００４４】従って、傾斜板４７の下底面９７に吸着保
持されているワークＷは傾斜板４７の微傾斜に従った傾
斜姿勢および高さ位置をもってワーク主軸２５より剛固
に保持されることになる。

【００４５】上述の３個の楔ブロック６７、６９、７１
の移動のための傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５の回転
量は、ＮＣ装置によるＮＣプログラムの実行によって各
傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５の回転量の指令値が傾
斜調整サーボモータ８９の図示されていないサーボ制御
装置に与えられることにより決めることができ、この制
御により傾斜板４７の傾斜調整、高さ位置調整を自動化
することができる。

【００４６】ワークＷの研磨に際しては、上述のように
傾斜調整された傾斜板４７にワークＷを吸着保持させ、
ラップ定盤用回転テーブル装置７の回転テーブル５をテ
ーブル駆動モータ９によって高速回転駆動し、主軸モー
タ２７によってワーク主軸２５を回転させた状態で、切
り込み加圧サーボモータ３３によって送りねじ２９を回
転させて主軸支持スライダ２１を降下させる。

【００４７】この主軸支持スライダ２１の降下より、ワ
ーク主軸２５、三次元微傾斜装置２９と共に降下し、ワ
ークＷの下底面、即ち研磨面がラップ定盤１３の盤面１
５に剛固に押し付けられ、ラッピングによる研磨が行わ
れる。

【００４８】このラッピングでは、ワークＷが剛構造で
保持されて剛固に加工圧を与えるから、三次元微傾斜装
置２９によるワーク主軸２５に対するワークＷの取付姿
勢（傾斜姿勢）に応じて研磨仕上がり面の角度姿勢が修
正され、基準点から指定された平面が精度よく得られ
る。

【００４９】なお、三次元微傾斜装置２９の傾斜板４７
におけるワークＷの保持は真空吸着による以外に面状の
磁気チャックにより行われてもよい。

【００５０】またこの発明による三次元微傾斜装置は、
上述のように、ワーク主軸２５に取り付けて使用する以
外に、図２に示されている状態とは上下反転させてワー
クを段取り保持するワークパレットなどとしても使用す
ることが可能である。

【００５１】以上に於ては、この発明を特定の実施の形
態について詳細に説明したが、この発明は、これに限定
されるものではなく、この発明の範囲内にて種々の実施
の形態が可能であることは当業者にとって明らかであろ
う。

【００５２】

【発明の効果】以上の説明から理解される如く、この発
明の請求項１による三次元微傾斜装置では、３個の平行
板ばね手段により基準板と傾斜板とが全方向に傾斜可能
に接続され、３個の間隙量増減手段により基準板の中央
部周りの３箇所において各々基準板と傾斜板の間隙量が
増減されることにより傾斜板が基準板に対して微傾斜、
あるいは平行移動するから、傾斜板、即ちワークの取付
面に微細傾斜を与えて、またその高さ位置を微調整し
て、ワークの姿勢、高さ位置を簡単、かつ確実に再現性
よく調整できる。

【００５３】この発明の請求項２による三次元微傾斜装
置では、楔部材が基準板に対して移動可能することによ
り、傾斜板に定位置保持されている鋼球との係合関係に
よって楔部材の移動量に応じて基準板と傾斜板の間隙量
が微細増減されるから、ワークの姿勢、高さ位置を極く
微細に調整できる。

【００５４】この発明の請求項３による三次元微傾斜装
置では、送りねじ軸の回転により楔部材が基準板に対し
て線形移動することにより、送りねじ軸の回転量に応じ
て基準板と傾斜板の間隙量が定量的に微細増減できるか
ら、ワークの姿勢を極く微細に三次元的に調整できると
共に、ＮＣ装置、サーボ制御装置による送りねじ軸の回
転量制御により微傾斜調整、高さ位置調整を自動化する
ことが簡単に可能になる。

【００５５】この発明の請求項４による三次元微傾斜装
置では、基準板の中心軸線周りに等間隔をおいて配置さ
れた３個の平行板ばね手段により基準板と傾斜板とが全
方向に傾斜可能に接続され、互いに隣接する二つの平行
板ばね手段間の中間部で、基準板の中心点に等間隔をお
いて配置された３個の間隙量増減手段により基準板の中
心点の３箇所において各々基準板と傾斜板の間隙量が増
減されることにより傾斜板が基準板に対して微傾斜ある
いは平行移動するから、傾斜板、即ちワークの取付面に
微細傾斜を与えてワークの姿勢、高さ位置を簡単、かつ
確実に再現性よく、しかも安定状態で調整できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による三次元微傾斜装置を使用した研
磨装置の一つの実施の形態を示す側面図である。

【図２】この発明による三次元微傾斜装置の一つの実施
の形態を示す縦断面図である。

【図３】図２の矢印III −III による矢視図（平面図）
である。

【符号の説明】

１ ベッド ３ コラム ５ 回転テーブル ７ ラップ定盤用回転テーブル装置 ９ テーブル駆動モータ １１ ベルト式伝動機構 １３ ラップ定盤 １５ 盤面 １７ ラップ定盤冷却液用回転継手 １９ リニアガイド部 ２１ 主軸支持スライダ ２３ 主軸ヘッド ２５ ワーク主軸 ２７ 主軸モータ ２９ 送りねじ軸 ３１ 送りナット ３３ 切り込み加圧サーボモータ ３５ 加工圧検出器 ３７ サーボ制御装置 ３９ 三次元微傾斜装置 ４１ ボルト ４３ 基準板 ４５ 中心軸部 ４７ 傾斜板 ４９、５１ ボルト ５３、５５、５７ 平行板ばね部材 ５９ 薄肉部 ６０ ブラケット ６１、６３、６５ 傾斜調整ねじ軸 ６７、６９、７１ 楔ブロック ７３ 傾斜面 ７５ 円錐形ポケット ７７、７９、８１ 鋼球 ８３ 歯車 ８５ マウント部材 ８６ リニアガイド部 ８７ スライダ ８９ 傾斜調整サーボモータ ９１ 回転出力軸 ９３ 駆動歯車 ９５ 流体圧シリンダ装置 ９７ 下底面部 ９９ 真空チャック用吸引ポート １０１、１０３、１０５ 負圧通路

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基準板と、傾斜板と、前記基準板の中央
   部周りの３箇所において各々前記基準板と前記傾斜板と
   を相互に接続し、前記基準板と前記傾斜板とのずれ移動
   を禁止して前記基準板に対する前記傾斜板の傾斜方向に
   弾性を有する３個の平行板ばね手段と、前記基準板の中
   央部周りの３箇所において各々前記基準板と前記傾斜板
   とに挟まれて前記基準板と前記傾斜板の間隙量を増減す
   る高剛性構造の３個の間隙量増減手段とを有しているこ
   とを特徴とする三次元微傾斜装置。
2. 【請求項２】 前記間隙量増減手段は、前記基準板に移
   動可能に設けられた楔部材と、前記傾斜板に定位置保持
   されて前記楔部材と係合する鋼球とにより構成されてい
   ることを特徴とする請求項１に記載の三次元微傾斜装
   置。
3. 【請求項３】 前記楔部材は前記基準板に線形移動可能
   に設けられ、前記基準板に回転可能に設けられた送りね
   じ軸と螺合し、前記送りねじ軸の回転により線形移動す
   ることを特徴とする請求項２に記載の三次元微傾斜装
   置。
4. 【請求項４】 前記平行板ばね部材は各々前記基準板の
   中心点周りに互いに１２０度の回転角をもって等間隔に
   配置され、前記間隙量増減手段は各々前記基準板の中心
   点周りに前記平行板ばね部材とは６０度の回転変位して
   互いに１２０度の回転角をもって等間隔に配置されてい
   ることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の三次
   元微傾斜装置。