CN114517285B - 一种高温线性蒸发源装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种高温线性蒸发源装置，包括水平放置底板，所述水平放置底板外表面的两侧均固定连接有真空罩外壳，所述真空罩外壳内壁的两侧均固定连接有高度微调装置，所述高度微调装置的数量设置为四个，所述高度微调装置为两两对称设置，所述高度微调装置包括与真空罩外壳固定连接的竖直稳定板，本发明涉及蒸发源技术领域。该高温线性蒸发源装置，装置能够通过对电机进行操控，进而控制倾斜角块对放置槽块的高度进行微调，从而保持放置槽块处于水平状体，进而能保持装置长期稳定工作，解决了蒸发源放置时，如果未能达到水平位置就关闭真空罩，非水平状态的蒸发源无法保持长期稳定的工作状态，影响镀膜效果的问题。

Description

一种高温线性蒸发源装置

技术领域

本发明涉及蒸发源技术领域，具体为一种高温线性蒸发源装置。

背景技术

蒸发镀膜常称真空镀膜。其特点是在真空条件下，材料蒸发并在玻璃表面上凝结成膜，再经高温热处理后，在玻璃表面形成附着力很强的膜层。有70多种元素、50多种无机化合物材料和多种合金材料可供选择。PVD工艺的首要条件是在真空条件下操作,因为限量以上的残余气体会影响膜的成分和性质。为了实现镀膜工艺，要求残余气体的压力为0.1～1Pa。现代已成为常用镀膜技术之一。蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源，待镀工件，如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前方。待系统抽至高真空后，加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发物质的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。膜厚决定于蒸发源的蒸发速率和时间(或决定于装料量)，并与源和基片的距离有关。对于大面积镀膜，常采用多蒸发源的方式以保证膜层厚度的均匀性。

蒸发源放置在真空环境内部，长时间的蒸发导致蒸发喷嘴内部流动孔径变小，严重影响蒸发后膜层厚度的均匀性，蒸发源放置时，如果未能达到水平位置就关闭真空罩，非水平状态的蒸发源无法保持长期稳定的工作状态，影响镀膜效果。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种高温线性蒸发源装置，解决了长时间的蒸发导致蒸发喷嘴内部流动孔径变小，严重影响蒸发后膜层厚度的均匀性，蒸发源放置时，如果未能达到水平位置就关闭真空罩，非水平状态的蒸发源无法保持长期稳定的工作状态，影响镀膜效果的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种高温线性蒸发源装置，包括水平放置底板，所述水平放置底板外表面的两侧均固定连接有真空罩外壳，所述真空罩外壳内壁的两侧均固定连接有高度微调装置，所述高度微调装置的数量设置为四个，所述高度微调装置为两两对称设置，所述高度微调装置包括与真空罩外壳固定连接的竖直稳定板，所述竖直稳定板的一侧通过辅助块固定连接有调节电机箱，所述调节电机箱内壁的一侧通过电机座固定连接有调节电动机，所述调节电动机输出轴的一端通过联轴器固定连接有水平稳定工作轴，所述水平稳定工作轴的一端贯穿调节电机箱并且延伸至调节电机箱的外部，所述水平稳定工作轴的一端固定连接有齿轮，所述齿轮表面的一侧啮合有水平调节齿条，所述水平调节齿条的一侧固定连接有倾斜角块，所述水平调节齿条的表面开设有卡槽，所述竖直稳定板的一侧通过远程板固定连接有加强框板，所述水平放置底板的顶部固定连接有支撑柱，所述支撑柱的顶部固定连接有放置槽块。

优选的，所述放置槽块的内表面固定连接有旋转电机箱，所述旋转电机箱内壁的一侧通过电机座固定连接有旋转电动机。

优选的，所述旋转电动机输出轴的一端通过联轴器固定连接有承重轴，所述承重轴的顶端固定连接有承载板。

优选的，所述承载板的顶部固定连接有安装组件，所述安装组件包括与承载板顶部固定连接的硬度强化隔热板。

优选的，所述硬度强化隔热板的表面开设有定位槽和边角安装槽，所述硬度强化隔热板的顶部活动连接有蒸发源工作盒。

优选的，所述蒸发源工作盒底部的中间固定连接有定位杆，所述蒸发源工作盒的两侧均固定连接有弧形轨道板。

优选的，所述弧形轨道板的内表面活动连接有可调阻尼圆板，所述可调阻尼圆板的表面固定连接有定位折板。

优选的，所述硬度强化隔热板的表面转动连接有摆动板，所述摆动板底部的一侧固定连接有弹力杆。

(三)有益效果

本发明提供了一种高温线性蒸发源装置。与现有技术相比，具备以下有益效果：

(1)、该高温线性蒸发源装置，通过真空罩外壳内壁的两侧均固定连接有高度微调装置，高度微调装置的数量设置为四个，高度微调装置为两两对称设置，高度微调装置包括与真空罩外壳固定连接的竖直稳定板，竖直稳定板的一侧通过辅助块固定连接有调节电机箱，调节电机箱内壁的一侧通过电机座固定连接有调节电动机，调节电动机输出轴的一端通过联轴器固定连接有水平稳定工作轴，水平稳定工作轴的一端贯穿调节电机箱并且延伸至调节电机箱的外部，水平稳定工作轴的一端固定连接有齿轮，齿轮表面的一侧啮合有水平调节齿条，水平调节齿条的一侧固定连接有倾斜角块，水平调节齿条的表面开设有卡槽，竖直稳定板的一侧通过远程板固定连接有加强框板，通过高度微调装置的设置，装置能够通过对电机进行操控，进而控制倾斜角块对放置槽块的高度进行微调，从而保持放置槽块处于水平状体，进而能保持装置长期稳定工作，解决了蒸发源放置时，如果未能达到水平位置就关闭真空罩，非水平状态的蒸发源无法保持长期稳定的工作状态，影响镀膜效果的问题。

(2)、该高温线性蒸发源装置，通过承载板的顶部固定连接有安装组件，安装组件包括与承载板顶部固定连接的硬度强化隔热板，硬度强化隔热板的表面开设有定位槽和边角安装槽，硬度强化隔热板的顶部活动连接有蒸发源工作盒，蒸发源工作盒底部的中间固定连接有定位杆，蒸发源工作盒的两侧均固定连接有弧形轨道板，弧形轨道板的内表面活动连接有可调阻尼圆板，可调阻尼圆板的表面固定连接有定位折板，硬度强化隔热板的表面转动连接有摆动板，摆动板底部的一侧固定连接有弹力杆，通过安装组件的设置，装置能够在蒸发源工作盒无法稳定工作时，通过转动摆动板和提拉可调阻尼圆板，快速将其拆卸，结构十分简单，易于工作人员快速维护，解决了长时间的蒸发导致蒸发喷嘴内部流动孔径变小，严重影响蒸发后膜层厚度均匀性的问题。

(3)、该高温线性蒸发源装置，通过水平放置底板的顶部固定连接有支撑柱，支撑柱的顶部固定连接有放置槽块，放置槽块的内表面固定连接有旋转电机箱，旋转电机箱内壁的一侧通过电机座固定连接有旋转电动机，旋转电动机输出轴的一端通过联轴器固定连接有承重轴，承重轴的顶端固定连接有承载板，通过旋转电机箱、旋转电动机、承重轴和承载板的联合设置，装置能够通过承载板的匀速转动，喷发物质均匀上升，尽可能的将喷发的物质均匀的蒸发镀膜，提高了装置运行的稳定性和可靠性，并且相关结构十分简单，易于工作人员快速维护。

附图说明

图1为本发明结构的剖视图；

图2为本发明高度微调装置的结构示意图；

图3为本发明调节电动机结构的俯视图；

图4为本发明安装组件的结构示意图；

图5为本发明图4中A处的局部结构放大图。

图中，1、水平放置底板；2、真空罩外壳；3、高度微调装置；31、竖直稳定板；32、调节电机箱；33、调节电动机；34、水平稳定工作轴；35、齿轮；36、水平调节齿条；37、倾斜角块；38、卡槽；39、加强框板；4、支撑柱；5、放置槽块；6、旋转电机箱；7、旋转电动机；8、承重轴；9、承载板；10、安装组件；101、硬度强化隔热板；102、定位槽；103、边角安装槽；104、蒸发源工作盒；105、定位杆；106、弧形轨道板；107、可调阻尼圆板；108、定位折板；109、摆动板；110、弹力杆。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-5，本发明实施例提供一种技术方案：一种高温线性蒸发源装置，包括水平放置底板1，水平放置底板1外表面的两侧均固定连接有真空罩外壳2，真空罩外壳2内壁的两侧均固定连接有高度微调装置3，高度微调装置3的数量设置为四个，高度微调装置3为两两对称设置，高度微调装置3包括与真空罩外壳2固定连接的竖直稳定板31，竖直稳定板31的一侧通过辅助块固定连接有调节电机箱32，调节电机箱32内壁的一侧通过电机座固定连接有调节电动机33，调节电动机33输出轴的一端通过联轴器固定连接有水平稳定工作轴34，水平稳定工作轴34的一端贯穿调节电机箱32并且延伸至调节电机箱32的外部，水平稳定工作轴34的一端固定连接有齿轮35，齿轮35表面的一侧啮合有水平调节齿条36，水平调节齿条36的一侧固定连接有倾斜角块37，水平调节齿条36的表面开设有卡槽38，竖直稳定板31的一侧通过远程板固定连接有加强框板39，通过高度微调装置3的设置，装置能够通过对电机进行操控，进而控制倾斜角块37对放置槽块5的高度进行微调，从而保持放置槽块5处于水平状体，进而能保持装置长期稳定工作，解决了蒸发源放置时，如果未能达到水平位置就关闭真空罩，非水平状态的蒸发源无法保持长期稳定的工作状态，影响镀膜效果的问题。

水平放置底板1的顶部固定连接有支撑柱4，支撑柱4的顶部固定连接有放置槽块5，放置槽块5的内表面固定连接有旋转电机箱6，旋转电机箱6内壁的一侧通过电机座固定连接有旋转电动机7，旋转电动机7输出轴的一端通过联轴器固定连接有承重轴8，承重轴8的顶端固定连接有承载板9，通过旋转电机箱6、旋转电动机7、承重轴8和承载板9的联合设置，装置能够通过承载板9的匀速转动，喷发物质均匀上升，尽可能的将喷发的物质均匀的蒸发镀膜，提高了装置运行的稳定性和可靠性，并且相关结构十分简单，易于工作人员快速维护。

承载板9的顶部固定连接有安装组件10，安装组件10包括与承载板9顶部固定连接的硬度强化隔热板101，硬度强化隔热板101的表面开设有定位槽102和边角安装槽103，硬度强化隔热板101的顶部活动连接有蒸发源工作盒104，蒸发源工作盒104底部的中间固定连接有定位杆105，蒸发源工作盒104的两侧均固定连接有弧形轨道板106，弧形轨道板106的内表面活动连接有可调阻尼圆板107，可调阻尼圆板107的表面固定连接有定位折板108，硬度强化隔热板101的表面转动连接有摆动板109，摆动板109底部的一侧固定连接有弹力杆110，通过安装组件10的设置，装置能够在蒸发源工作盒104无法稳定工作时，通过转动摆动板109和提拉可调阻尼圆板107，快速将其拆卸，结构十分简单，易于工作人员快速维护，解决了长时间的蒸发导致蒸发喷嘴内部流动孔径变小，严重影响蒸发后膜层厚度均匀性的问题。

使用时，观察放置槽块5的水平状态，一旦不水平，开启对应的调节电机箱32中的调节电动机33，通过水平稳定工作轴34和齿轮35转动，进而带动水平调节齿条36和倾斜角块37挤压抬升放置槽块5，使得放置槽块5保持水平状体，开启旋转电机箱6中旋转电动机7，通过承重轴8带动承载板9和安装组件10转动，开启蒸发源工作盒104进行工作，当蒸发源工作盒104中喷嘴内径严重变小后，暂停运行机器，打开装置，转动摆动板109，将弹力杆110从定位折板108表面转移，沿着弧形轨道板106提拉可调阻尼圆板107，将定位折板108与边角安装槽103脱离，将定位杆105与定位槽102更换，对蒸发源工作盒104进行更换，然后重启机器，当装置完全运行结束后，将装置复原。

同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种高温线性蒸发源装置，包括水平放置底板（1），其特征在于：所述水平放置底板（1）外表面的两侧均固定连接有真空罩外壳（2），所述真空罩外壳（2）内壁的两侧均固定连接有高度微调装置（3），所述高度微调装置（3）的数量设置为四个，所述高度微调装置（3）为两两对称设置，所述高度微调装置（3）包括与真空罩外壳（2）固定连接的竖直稳定板（31），所述竖直稳定板（31）的一侧通过辅助块固定连接有调节电机箱（32），所述调节电机箱（32）内壁的一侧通过电机座固定连接有调节电动机（33），所述调节电动机（33）输出轴的一端通过联轴器固定连接有水平稳定工作轴（34），所述水平稳定工作轴（34）的一端贯穿调节电机箱（32）并且延伸至调节电机箱（32）的外部，所述水平稳定工作轴（34）的一端固定连接有齿轮（35），所述齿轮（35）表面的一侧啮合有水平调节齿条（36），所述水平调节齿条（36）的一侧固定连接有倾斜角块（37），所述水平调节齿条（36）的表面开设有卡槽（38），所述竖直稳定板（31）的一侧通过远程板固定连接有加强框板（39），通过高度微调装置（3）的设置，装置能够通过对电机进行操控，进而控制倾斜角块（37）对放置槽块（5）的高度进行微调，从而保持放置槽块（5）处于水平状体，所述水平放置底板（1）的顶部固定连接有支撑柱（4），所述支撑柱（4）的顶部固定连接有放置槽块（5），所述放置槽块（5）的内表面固定连接有旋转电机箱（6），所述旋转电机箱（6）内壁的一侧通过电机座固定连接有旋转电动机（7），所述旋转电动机（7）输出轴的一端通过联轴器固定连接有承重轴（8），所述承重轴（8）的顶端固定连接有承载板（9），通过旋转电机箱（6）、旋转电动机（7）、承重轴（8）和承载板（9）的联合设置，装置能够通过承载板（9）的匀速转动，喷发物质均匀上升，将喷发的物质均匀的蒸发镀膜，所述承载板（9）的顶部固定连接有安装组件（10），所述安装组件（10）包括与承载板（9）顶部固定连接的硬度强化隔热板（101），所述硬度强化隔热板（101）的表面开设有定位槽（102）和边角安装槽（103），所述硬度强化隔热板（101）的顶部活动连接有蒸发源工作盒（104）。

2.根据权利要求1所述的一种高温线性蒸发源装置，其特征在于：所述蒸发源工作盒（104）底部的中间固定连接有定位杆（105），所述蒸发源工作盒（104）的两侧均固定连接有弧形轨道板（106）。

3.根据权利要求2所述的一种高温线性蒸发源装置，其特征在于：所述弧形轨道板（106）的内表面活动连接有可调阻尼圆板（107），所述可调阻尼圆板（107）的表面固定连接有定位折板（108）。

4.根据权利要求1所述的一种高温线性蒸发源装置，其特征在于：所述硬度强化隔热板（101）的表面转动连接有摆动板（109），所述摆动板（109）底部的一侧固定连接有弹力杆（110）。