JP3270890B2 - 研削盤における砥石ティルト装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【発明の属する技術の分野】この発明は、研削盤におけ
る砥石ティルト装置、さらに詳しくは、たとえば対向二
軸平面研削盤などにおいて、ベッドなどの固定部分に傾
動自在に支持された砥石台を傾動させて、固定部分に対
する砥石の傾きを調整するとともに、固定部分に対して
砥石台を所望の姿勢に固定するための装置に関する。

【従来の技術】対向二軸平面研削盤として、ベッドの上
に左右１対の砥石台が支持され、各砥石台に左右方向に
のびて端部同志が互いに対向する砥石軸が設けられ、こ
れらの砥石軸の対向端部に砥石が固定され、これらの砥
石の対向端部に平坦な研削面が形成されたものが知られ
ている。このような研削盤は、ワークの両面を同時に研
削するために使用されるが、１対の砥石の研削面の平行
度を確保するために、ベッドに対する砥石台の傾きを調
整する必要がある。このため、従来は、各砥石台をベッ
ドに傾動自在に支持し、手動操作によりベッドに対する
砥石台の傾きを調整して、砥石台をベッドに固定するよ
うになっている。たとえば、砥石台の前後方向の傾きを
調整する場合には、ベッドの上に鉛直軸を中心に傾動し
うるように砥石台が支持され、砥石台の前後両側のベッ
ドの部分に、砥石台の前後両面にそれぞれ当接する調整
ねじが設けられる。この場合、手動操作で前後の調整ね
じの位置を調整することにより、砥石台の前後方向の傾
きが調整されるが、２つの調整ねじが砥石台の反対側に
位置しているため、作業性が悪く、調整も困難であっ
た。また、２つの調整ねじの位置を調整する必要がある
ため、とくに微小角度の調整が困難であった。砥石台の
上下方向の傾きを調整する場合についても同様である。
また、砥石台の前後方向の傾きと上下方向の傾きを調整
することによって砥石台の任意の方向の傾きの調整がで
きるが、この場合にも、同様の問題があった。さらに、
従来は、上記のように砥石のティルト操作を手動操作で
行っているので、ティルト量の数値管理ができず、傾き
の調整作業が困難で、熟練を要するという問題もあっ
た。

【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、作
業性が良くて、調整も容易な研削盤における砥石ティル
ト装置を提供することにある。この発明の目的は、ま
た、砥石のティルト量の数値管理が可能で、傾きの調整
作業が容易な研削盤における砥石ティルト装置を提供す
ることにある。

【課題を解決するための手段および発明の効果】請求項
１の研削盤における砥石ティルト装置は、研削盤におい
て固定部分に傾動自在に支持された砥石台を傾動させて
固定部分に対する砥石の傾きを調整するとともに固定部
分に対して砥石台を所望の姿勢に固定するための装置で
あって、固定部分と砥石台のいずれか一方に、調整用部
材支持部が固定状に設けられ、同他方に、１つの受圧部
が、調整用部材支持部との間に固定部分に対する砥石台
の傾動を妨げない程度の間隔をあけて、固定状に設けら
れ、調整用部材支持部に、互いに異なる傾き調整方向を
向く２つの貫通状のねじ穴と、これらのねじ穴にそれぞ
れねじはめられて先端部が受圧部に接触させられる２つ
の調整ねじ部材と、これらの調整ねじ部材にそれぞれ対
応する２つの加圧部材と、これらの加圧部材をそれぞれ
付勢して受圧部に圧接させることにより受圧部を対応す
る調整ねじ部材の先端部に圧接させる２組の弾性部材
と、２つの調整ねじ部材をそれぞれ回転させるための２
組の調整ねじ部材回転手段とが設けられていることを特
徴とするものである。調整ねじ部材が停止しているとき
には、受圧部は、弾性部材の弾性力により、調整ねじ部
材とこれに対応する加圧部材とに挟まれて、調整用部材
支持部に対して固定されている。このため、砥石台は、
固定部分に対して、所定の姿勢に固定されている。そし
て、このように砥石台が固定部分に対して固定された状
態で、ワークの研削が行われる。このとき、弾性部材の
弾性力は加圧部材および受圧部を介して調整ねじ部材に
伝えられるが、この力は調整ねじ部材とねじ穴のねじの
部分で受けられ、調整ねじ部材回転手段に伝わることは
ない。このため、調整ねじ部材回転手段によって調整ね
じ部材を一定位置に保持しておく必要がなく、また、ば
ね定数の大きい弾性部材を用い、受圧部を大きな力で調
整ねじ部材に押し付けて、剛性を高めることができる。
なお、このようなばね定数の大きい弾性部材として、た
とえば、皿ばねなどを用いることができる。調整ねじ部
材回転手段により調整ねじ部材を回転させると、調整ね
じ部材はねじ穴に沿って移動する。このため、受圧部
は、調整ねじ部材と対応する加圧部材に挟まれた状態
で、調整ねじ部材の軸方向に移動し、その結果、砥石台
が調整ねじ部材の軸方向に傾けられる。そして、調整ね
じ部材の回転量を調整することにより、調整ねじ部材の
軸方向の移動量を調整して、固定部分に対する砥石台の
傾きを任意に調整することができる。このように、１つ
の調整ねじ部材の位置を調整するだけで、砥石台の傾き
の調整ができるので、作業性がきわめて良く、調整とく
に微小角度の調整も容易である。また、弾性部材によ
り、調整ねじ部材が一定方向に付勢されているので、調
整ねじ部材とねじ穴との間のバックラッシュの影響をな
くすことができる。このように、請求項１の研削盤にお
ける砥石ティルト装置によれば、高い剛性を確保するこ
とができ、作業性が良く、調整も容易である。さらに、
２つの調整ねじ部材の位置をそれぞれ調整することによ
り、砥石台の２つの調整ねじ部材の軸方向の傾きを任意
に調整することができ、その結果、砥石台の任意の方向
の傾きを任意に調整することができる。請求項２の研削
盤における砥石ティルト装置は、請求項１の装置におい
て、調整用部材支持部が固定部分に設けられ、受圧部が
砥石台に設けられ、調整用部材支持部に、受圧部が入り
込む空間が形成され、一方の調整ねじ部材が空間を囲む
壁の１つに設けられ、この壁と対応する壁に一方の加圧
部材が設けられ、他方の調整ねじ部材が一方の調整ねじ
部材が設けられた壁と直交する壁に設けられ、他方の調
整ねじ部材が設けられた壁と対応する壁に他方の加圧部
材が設けられ、各調整ねじ部材を回転させる電動モータ
がそれぞれ設けられていることを特徴とするものであ
る。この場合、電動モータで調整ねじ部材を回転させる
ことにより、調整ねじ部材の位置を調整して、砥石台の
傾きを調整することができる。そして、電動モータの回
転量を制御することにより、受圧部を調整ねじ部材の軸
方向に移動させて、固定部分に対する砥石台の傾きを任
意に調整することができる。このように、電動モータの
回転量を制御することにより、固定部分に対する砥石台
の傾きが調整できるので、砥石台のティルト量の数値管
理が可能であり、傾きの調整作業が容易で、熟練を要し
ない。なお、調整ねじ部材とモータとの間のバックラッ
シュの影響をなくすために、調整ねじ部材をいずれの方
向に移動させる場合も、必ず、モータを一定方向に回転
させることにより調整ねじ部材を一定方向に移動させて
から、モータを反対方向に回転させることにより調整ね
じ部材を反対方向に移動させて位置決めするようにする
のが望ましい。好ましくは、ティルト装置にモータ制御
装置を設け、このモータ制御装置により電動モータの回
転方向および回転量を制御するようにする。その場合、
さらに好ましくは、モータ制御装置に操作パネルを設
け、この操作パネルから砥石台の傾き量あるいはモータ
の回転量を入力し、この入力値に基づいて、制御装置に
より電動モータを制御するようにする。さらに、モータ
制御装置をコンピュータに接続し、コンピュータから砥
石台の傾き量に関するデータをモータ制御装置に送信
し、これに基づいて、モータ制御装置がモータを制御す
るようにすることもできる。請求項３の研削盤における
砥石ティルト装置は、請求項２の装置において、前記空
間が、断面長方形状をなし、受圧部が、直方体状をなす
ことを特徴とするものである。

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
を対向二軸平面研削盤に適用した実施形態について説明
する。図１は、対向二軸平面研削盤の全体構成を示して
いる。なお、以下の説明において、図１の紙面表側を
前、同裏側を後とし、前から後を見たときの左右すなわ
ち図１の左右を左右とする。研削盤は、固定部分を構成
する水平なベッド(1)、およびベッド(1)の上面に傾動自
在に支持された左右の砥石台(2)(3)を備えている。詳細
な図示は省略したが、左側砥石台(2)の右側部分および
右側砥石台(3)の左側部分は、互いに独立して鉛直軸お
よび前後方向水平軸を中心に傾動しうるようにベッド
(1)に取付けられ、左側砥石台(2)の左側部分および右側
砥石台(3)の右側部分が、それぞれ、電動式砥石ティル
ト装置(4)(5)を介してベッド(1)に固定されている。各
砥石台(2)(3)に、左右方向にのびて端部同志が互いに対
向する砥石軸(6)(7)が回転支持され、これらの砥石軸
(6)(7)の対向端部にカップ型の研削砥石(8)(9)が固定さ
れている。各砥石(8)(9)の鉛直な先端面は平坦な円形研
削面(8a)(9a)となっており、これらの研削面(8a)(9a)が
ほぼ平行な状態で対向している。各砥石軸(6)(7)は、各
砥石台(2)(3)に対して軸方向に移動しうるようになって
いる。ティルト装置(4)(5)は、砥石台(2)(3)の２つの傾
き調整方向の傾き、すなわち、前後方向水平軸を中心と
する上下方向の傾きおよび鉛直軸を中心とする水平方向
（前後方向）の傾きを調整することにより、砥石台(2)
(3)全体の傾きを調整し、かつベッド(1)に対して砥石台
(2)(3)を所望の姿勢に固定するものである。ティルト装
置(4)(5)で砥石台(2)(3)の傾きを調整することにより、
砥石(8)(9)および研削面(8a)(9a)の傾きが調整され、少
なくともいずれか一方の砥石台(4)(5)の傾きを調整する
ことにより、１対の砥石(8)(9)の研削面(8a)(9a)の相対
的な傾きが調整される。たとえば、短円柱状の通常のワ
ークの研削を行う場合、砥石(8)(9)の近傍に、円周上に
形成された複数のポケットにワークを支持して回転する
円板状のキャリヤが設けられ、キャリヤのポケットに支
持されたワークが回転している１対の砥石の研削面の間
に通されることにより、ワークの両面が同時に研削され
る。また、たとえば、半導体ウェハなどの薄板円板状の
ワークの研削を行う場合、砥石(8)(9)の近傍に、ワーク
自転装置が設けられる。ワーク自転装置は、ワークの両
面が１対の砥石(8)(9)の研削面(8a)(9a)にそれぞれ対向
するとともに、ワークの外周が研削面(8a)(9a)の外周と
交差し、かつワークの中心が研削面(8a)(9a)内に位置す
るようにワークを研削面(8a)(9a)の間の研削加工位置に
支持して、その場で自転させるものであり、このように
自転しているワークの両面にそれより高速で回転してい
る１対の砥石(8)(9)の研削面(8a)(9a)が押し付けられる
ことにより、ワークの両面の全面が同時に研削される。
なお、ワーク自転装置としては、たとえば、特願平９−
２４０６８３号に記載されているようなものを使用する
ことができる。右側のティルト装置(5)の詳細が図２〜
図６に示されている。左右のティルト装置(4)(5)は互い
に左右対称に構成されているので、以下、右側のティル
ト装置(5)について説明する。なお、左右のティルト装
置(4)(5)について、対応する部分には同一の符号を付し
ている。ベッド(1)の右端面に調整用部材支持部を構成
する加圧部(10)が固定状に設けられ、右側砥石台(3)の
右端面に受圧部(11)が固定状に設けられている。加圧部
(10)は、複数の部材を組合わせることにより略直方体の
ブロック状に形成され、その上部が、ベッド(1)より上
方に突出して砥石台(3)の下部右側面に対向している。
加圧部(10)のベッド(1)より上方に突出した部分に、こ
の部分を左右方向に貫通する空間(12)が形成されてい
る。この空間(12)は、加圧部(10)の上壁(13)、下壁(1
4)、前壁(15)および後壁(16)に囲まれ、横断面長方形状
をなす。砥石台(3)の下部右側面に受圧部材(17)が固定
されており、その下部右側面に、右側に突出した直方体
ブロック状の受圧部(11)が一体に形成されている。受圧
部(11)は、加圧部(10)の空間(12)内に入り込んでおり、
受圧部(11)と加圧部(10)の壁(13)(14)(15)(16)との間に
は、ベッド(1)に対する砥石台(3)の傾動を妨げない程度
の間隔があけられている。図４および図５に詳細に示す
ように、加圧部(10)の上壁(13)と下壁(14)に、上下方向
の傾き調整機構(20)が設けられている。下壁(14)は上壁
(13)に比べて厚く、下壁(14)の下部は右側に突出してい
る。下壁(14)の中央部に、これを上下方向に貫通する上
下貫通穴(21)が形成され、下壁(14)下部の右側に突出し
た部分に、この部分を前後方向に貫通する前後貫通穴(2
2)が形成されている。これらの穴(21)(22)は、上下貫通
穴(21)の下部右側部分と前後貫通穴(22)の前後方向中間
部の左側部分で互いに連通している。上下貫通穴(21)の
下端部は、この部分に固定された蓋(23)により塞がれて
いる。前後貫通穴(22)の前端部はこの部分に固定された
蓋(24)により塞がれ、後端部はこの部分に固定された歯
車箱(25)により塞がれている。上下貫通穴(21)は下にい
くにつれて内径が大きくなった段付き状に形成され、最
上部の最も内径の小さい部分が貫通状のねじ穴(26)とな
っている。そして、このねじ穴(26)に、上下方向にのび
る調整ねじ部材(27)の中間部に形成されたおねじ部(27
a)がねじはめられている。ねじ部材(27)の上部は、おね
じ部(27a)より小径の押圧部(27b)となっている。押圧部
(27b)は常に下壁(14)の上面より少し上方に突出し、そ
の上端の球面状の部分が受圧部(11)の下面に接触させら
れる。ねじ部材(27)の下部は、連結部(27c)となってい
る。連結部(27c)は、おねじ部(27a)より小径の円柱の両
側を互いに平行な平面になるように切り取ることによ
り、横断面小判状に形成されている。上壁(13)の中央部
に、これを上下方向に貫通する貫通穴(28)が形成され、
その上端部が、この部分に固定された蓋(29)により塞が
れている。貫通穴(28)内の上部に、ばね受け部材(30)が
配置されている。ばね受け部材(30)の中間部にフランジ
(30a)が形成され、上部がおねじ部(30b)、下部がガイド
軸部(30c)となっている。そして、おねじ部(30b)が、蓋
(29)の中央部を上下に貫通するねじ穴に下からねじはめ
られて、ロックナット(31)により固定されており、これ
により、ばね受け部材(30)のフランジ(30a)より下側の
部分が貫通穴(28)内の上部に位置している。貫通穴(28)
内の下部に、短円柱状の加圧部材(32)が上下摺動自在に
設けられている。加圧部材(32)の上部は他の部分より大
径であり、この部分が貫通穴(28)にわずかな隙間をあけ
てはめられている。加圧部材(32)の上端面に円形穴(33)
が形成され、この穴(33)にばね受け部材(30)のガイド軸
部(30c)がわずかな隙間をあけてはめられている。そし
て、加圧部材(32)は、貫通穴(28)とガイド軸部(30c)を
案内にして、上下に移動する。なお、貫通穴(28)の下端
部は、加圧部材(32)が下方に抜け落ちるのを防止するた
め、小径に形成されている。加圧部材(32)の下部は常に
上壁(13)の下面より少し下方に突出し、その下端の球面
状の部分が受圧部(11)の上面に接触させられる。加圧部
材(32)の上面とばね受け部材(30)のフランジ(30a)の下
面との間のガイド軸部(30c)の周囲に、弾性部材である
複数の皿ばね(34)が取付けられている。皿ばね(34)は、
加圧部材(32)を下向きに加圧して受圧部(11)の上面に圧
接させ、これにより、受圧部(11)の下面をねじ部材(27)
の押圧部(27b)に圧接させる。このように、皿ばね(34)
の弾性力により、受圧部(11)がねじ部材(27)と加圧部材
(32)との間に挟み止められる。下壁(14)の上下貫通穴(2
1)内に、上下方向にのびる歯車軸(35)が配置され、軸受
(36)(37)により回転支持されている。歯車軸(35)の中間
部には、ウォームホイール(38)が固定されている。歯車
軸(35)の上端には、直径方向全長にわたるスリット(39)
が形成されている。スリット(39)の対向面の幅は、ねじ
部材(27)の連結部(27c)の二面幅（平行な２つの平坦面
間の距離）と等しいかこれよりわずかに大きく、連結部
(27c)がスリット(39)にきつくはめられて、これらが連
結されている。下壁(14)の前後貫通穴(22)内に、前後方
向にのびるウォーム軸(40)が配置され、軸受(41)(42)に
より回転支持されている。ウォーム軸(40)の中間部に
は、ウォームホイール(38)とかみ合うウォーム(43)が形
成されている。ウォーム軸(40)の前部は蓋(24)を貫通し
て少し前方に突出しており、その前端部に、スパナをか
けるための角柱部(40a)が形成されている。また、歯車
箱(25)内に突出したウォーム軸(40)の後端部に、平歯車
(44)が固定されている。歯車箱(25)の左側後面に電動モ
ータとしてのステッピングモータ(45)が前向きに固定さ
れており、歯車箱(25)内に突出したモータ軸(46)の前端
部に、ウォーム軸(40)の平歯車(44)とかみ合う平歯車(4
7)が固定されている。また、モータ軸(46)の後端部に
は、軸継手(48)を介して絶対値型エンコーダ(49)が連結
されている。モータ(45)のモータ軸(46)の回転は、平歯
車(47)(44)、ウォーム軸(40)、ウォーム(43)、ウォーム
ホイール(38)および歯車軸(35)を介して、ねじ部材(27)
に伝えられ、ねじ部材(27)は、回転により、ねじ穴(26)
に沿って上下方向に移動する。ねじ部材(27)が上下方向
に移動することにより、受圧部(11)がねじ部材(27)と加
圧部材(32)に挟まれた状態で上下方向に移動し、その結
果、砥石台(3)が前後方向の水平軸を中心に傾動して、
その上下方向の傾きが調整される。そして、モータ(45)
が停止すると、ねじ部材(27)が停止して、受圧部(11)が
ねじ部材(27)と加圧部材(32)に挟まれた状態で停止し、
砥石台(3)が上下方向に所定の姿勢に固定される。ま
た、エンコーダ(49)により、常に、モータ(45)の回転位
置の絶対値が検出される。図６に詳細に示すように、加
圧部(10)の後壁(15)と前壁(16)に、前後方向の傾き調整
機構(50)が設けられている。前後方向の傾き調整機構(5
0)は、上下方向の傾き調整機構(20)と向きが異なるだけ
で、同様の構成を有するので、詳細な説明は省略する。
なお、前後方向の傾き調整機構(50)の各部には、上下方
向の傾き調整機構(20)の対応する部分の図面参照符号に
「30」を加算した図面参照符号を付している。前後方向
の傾き調整機構(50)においても、上下方向の傾き調整機
構(20)の場合と同様、モータ(75)のモータ軸(76)の回転
は、平歯車(77)(74)、ウォーム軸(70)、ウォーム(73)、
ウォームホイール(68)および歯車軸(65)を介して、ねじ
部材(57)に伝えられ、ねじ部材(57)は、回転により、ね
じ穴(56)に沿って前後方向に移動する。ねじ部材(57)が
前後方向に移動することにより、受圧部(11)がねじ部材
(57)と加圧部材(62)に挟まれた状態で前後方向に移動
し、その結果、砥石台(3)が鉛直軸を中心に傾動して、
その前後方向の傾きが調整される。そして、モータ(75)
が停止すると、ねじ部材(57)が停止して、受圧部(11)が
ねじ部材(57)と加圧部材(62)に挟まれた状態で停止し、
砥石台(3)が前後方向に所定の姿勢に固定される。ま
た、エンコーダ(79)により、常に、モータ(75)の回転位
置の絶対値が検出される。図７に示すように、ティルト
装置(5)にはモータ制御装置(80)が設けられ、各傾き調
整機構(20)(50)のモータ(45)(75)およびエンコーダ(49)
(79)がモータ制御装置(80)に接続されている。また、モ
ータ制御装置(80)には、操作パネル(81)が取付けられて
いる。右側のティルト装置(5)において、砥石(9)の傾き
の調整を行わないときは、各傾き調整機構(20)(50)のモ
ータ(45)(75)への通電を停止し、これらのモータ軸(46)
(76)をフリーな状態にしておく。このように各モータ(4
5)(75)が停止しているときには、前記のように、ねじ部
材(27)(57)も停止しており、受圧部(11)がねじ部材(27)
(57)と加圧部材(32)(62)に挟まれて、加圧部(10)に対し
て固定されている。このため、右側の砥石台(3)がベッ
ド(1)に対して所定の姿勢に固定されている。そして、
このような状態で、前記のようなワークの研削が行われ
る。このとき、ばね(34)(64)の弾性力は加圧部材(32)(6
2)および受圧部(11)を介してねじ部材(27)(57)に伝えら
れるが、この力は、ねじ部材(27)(57)とねじ穴(26)(56)
のねじの部分で受けられ、モータ(45)(75)に伝わること
はない。このため、ばね定数の大きい皿ばね(34)(64)を
用い、受圧部(11)を大きな力でねじ部材(27)(57)に押し
付けて、剛性を高めることができ、モータ軸(46)(76)を
フリーな状態にしておいても差し支えがない。砥石(9)
の傾きの調整を行うときには、操作パネル(81)から傾き
の調整方向と調整量を入力する。そして、モータ制御装
置(80)が、この入力値から、各傾き調整機構(20)(50)に
ついて、モータ(45)(75)の回転方向と回転量を決め、エ
ンコーダ(49)(79)の出力をフィードバックしながら、モ
ータ(45)(75)を決められた方向に決められた量だけ回転
させる。これにより、前記のように、砥石台(3)の上下
方向および前後方向の傾きが調整され、その結果、ベッ
ド(1)に対する砥石台(3)全体の傾きが調整される。この
ように、モータ(45)(75)の回転量を制御することによ
り、砥石台(3)の傾きの調整ができるので、砥石台(3)の
ティルト量の数値管理が可能であり、傾きの調整作業が
容易で、熟練を要しない。なお、モータ制御装置(80)に
パソコンなどのコンピュータを接続し、コンピュータか
ら砥石台(3)の傾きの調整方向および調整量に関するデ
ータをモータ制御装置(80)に送信し、これに基づいて、
モータ制御装置(80)がモータ(45)(75)を制御するように
することもできる。皿ばね(34)(64)によりねじ部材(27)
(57)が一定方向に付勢されているので、ねじ部材(27)(5
7)とねじ穴(26)(56)との間のバックラッシュの影響をな
くすことができる。また、ねじ部材(27)(57)とモータ(4
5)(75)との間のバックラッシュ、すなわち、ねじ部材(2
7)(57)の連結部(27c)と歯車軸(35)(65)のスリット(39)
との間、ウォームホイール(38)(68)とウォーム(43)(73)
との間および２つの歯車(44)(47)(74)(77)の間のバック
ラッシュの影響をなくすために、ねじ部材(27)(57)をい
ずれの方向に移動させる場合も、必ず、モータ(45)(75)
を一定方向に回転させることによりねじ部材(27)(57)を
一定方向に移動させてから、モータ(45)(75)を反対方向
に回転させることによりねじ部材(27)(57)を反対方向に
移動させて位置決めするようになっている。さらに詳し
くは、上下方向の傾き調整機構(20)については、ねじ部
材(27)を上側に移動する場合も下側に移動させる場合
も、たとえば、ねじ部材(27)を一旦下側に移動させてか
ら、これを上側に移動させて位置決めする。また、前後
方向の傾き調整機構(50)については、ねじ部材(57)を前
側に移動する場合も後側に移動させる場合も、たとえ
ば、ねじ部材(57)を一旦後側に移動させてから、これを
前側に移動させて位置決めする。前記のようにモータ(4
5)(75)への通電を停止して、モータ軸(46)(76)をフリー
にしている状態において、角柱部(40a)(70a)にスパナを
かけて、ウォーム軸(40)(70)を回転させることにより、
手動操作で、砥石台(3)の傾きを調整することもでき
る。左側のティルト装置(4)についても、上記と同じこ
とが言える。たとえば、特願平１０−４３８４号に記載
されているように、研削加工後のワークの厚さ方向の断
面形状を測定し、この測定結果の基づいて、１対の砥石
(8)(9)の相対的な傾きの方向と傾きの量を演算し、この
演算結果に基づいて、少なくともいずれか一方のティル
ト装置(4)(5)で砥石台(2)(3)の傾きを調整することによ
り、１対の砥石(8)(9)の相対的な傾きを調整することも
できる。上記実施形態では、１対の砥石台(2)(3)がいず
れもティルト装置(4)(5)によってベッド(1)に固定され
ているが、砥石台(2)(3)の一方だけをこの発明によるテ
ィルト装置によってベッド(1)に固定するようにしても
よい。その場合、他方は、従来のように手動操作によっ
て傾きの調整ができるようにしてもよいし、傾きの調整
ができないようにしてもよい。ティルト装置(4)(5)の各
部の構成は、上記実施形態のものに限らず、適宜変更可
能である。上記実施形態では、ティルト装置(4)(5)は、
砥石台(2)(3)の２つの方向の傾きをそれぞれ調整するこ
とにより、砥石台(2)(3)の任意の方向の傾きを調整する
ようになっているが、用途によっては、ティルト装置
は、砥石台の１つの方向の傾きだけを調整するものであ
る場合もある。その場合、傾き調整機構(20)(50)は１組
だけ設けられる。また、上記実施形態では、モータ(45)
(75)と手動操作のいずれによってもねじ部材(27)(57)を
回転させられるようになっているが、電動モータなどの
駆動機器によってのみねじ部材を自動回転させるように
してもよいし、手動操作によってのみねじ部材を回転さ
せるようにしてもよい。また、この発明は、対向二軸平
面研削盤以外の研削盤にももちろん適用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、この発明の実施形態を示す対向二軸平
面研削盤の正面図である。

【図２】図２は、図１における右側の電動式砥石ティル
ト装置の部分を拡大して示す斜視図である。

【図３】図３は、右側の電動式砥石ティルト装置の部分
の右側面図である。

【図４】図４は、図３のIV−IV線の拡大断面図である。

【図５】図５は、図３のＶ−Ｖ線の拡大断面図である。

【図６】図６は、図３のVI−VI線の拡大断面図である。

【図７】図７は、右側の電動式砥石ティルト装置の主要
部の電気的構成の１例を示すブロック図である。

【符号の説明】

(1) ベッド (2)(3) 砥石台 (4)(5) 電動式砥石ティルト装置 (8)(9) 研削砥石 (10) 加圧部（調整用部材支持部） (11) 受圧部 (26)(56) ねじ穴 (27)(57) 調整ねじ部材 (32)(62) 加圧部材 (34)(64) 皿ばね（弾性部材） (45)(75) ステッピングモータ（電動モータ）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24B 7/17 B24B 41/047

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】研削盤において固定部分に傾動自在に支持
   された砥石台を傾動させて固定部分に対する砥石の傾き
   を調整するとともに固定部分に対して砥石台を所望の姿
   勢に固定するための装置であって、固定部分と砥石台の
   いずれか一方に、調整用部材支持部が固定状に設けら
   れ、同他方に、１つの受圧部が、調整用部材支持部との
   間に固定部分に対する砥石台の傾動を妨げない程度の間
   隔をあけて、固定状に設けられ、調整用部材支持部に、
   互いに異なる傾き調整方向を向く２つの貫通状のねじ穴
   と、これらのねじ穴にそれぞれねじはめられて先端部が
   受圧部に接触させられる２つの調整ねじ部材と、これら
   の調整ねじ部材にそれぞれ対応する２つの加圧部材と、
   これらの加圧部材をそれぞれ付勢して受圧部に圧接させ
   ることにより受圧部を対応する調整ねじ部材の先端部に
   圧接させる２組の弾性部材と、２つの調整ねじ部材をそ
   れぞれ回転させるための２組の調整ねじ部材回転手段と
   が設けられていることを特徴とする研削盤における砥石
   ティルト装置。
2. 【請求項２】請求項１記載の研削盤における砥石ティル
   ト装置において、 調整用部材支持部が固定部分に設けられ、受圧部が砥石
   台に設けられ、 調整用部材支持部に、受圧部が入り込む空間が形成さ
   れ、 一方の調整ねじ部材が空間を囲む壁の１つに設けられ、 この壁と対応する壁に一方の加圧部材が設けられ、 他方の調整ねじ部材が一方の調整ねじ部材が設けられた
   壁と直交する壁に設けられ、 他方の調整ねじ部材が設けられた壁と対応する壁に他方
   の加圧部材が設けられ、 各調整ねじ部材を回転させる電動モータがそれぞれ設け
   られていることを特徴とする研削盤におけるティルト装
   置。
3. 【請求項３】請求項２記載の研削盤における砥石ティル
   ト装置において、 前記空間が、断面長方形状をなし、 受圧部が、直方体状をなすことを特徴とする研削盤にお
   ける砥石ティルト装置。