JP3552903B2 - 研削盤 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えばシリコンウエハ等のワークを精密に研削仕上げする研削盤に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のこの種の研削盤においては、ワークを保持するワーク保持装置に対応して、砥石駆動装置が配設されている。この砥石駆動装置では、フレーム上の保持筒に円筒状のハウジングが移動可能に嵌合支持されている。ハウジング内にはスピンドルが回転可能に軸支され、その端部にはワークと対応するように砥石が保持されている。そして、ハウジングがモータの回転により移動されて、砥石がワークに対して接離する方向へ送り移動されるようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この従来の研削盤においては、スピンドルを回転可能に収容支持したハウジングが、フレーム上の保持筒に直接に嵌合支持されている。このため、ハウジングが保持筒内で軸線方向に移動されて、砥石がワークに対して送り移動される際に、ハウジングに大きな摺動抵抗が作用する。よって、砥石を微小に送り移動させることができず、ワークを精密に研削仕上げすることができないという問題があった。
【0004】
この発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的とするところは、スピンドルを収容支持したハウジングに作用する摺動抵抗を軽減することができ、砥石を微小に送り移動させることができて、ワークを精密に研削仕上げすることができる研削盤を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項1に記載の発明では、ワークを保持するワーク保持装置と、そのワーク保持装置に対応して上下方向へ起立状態で配設された砥石駆動装置とを備え、前記砥石駆動装置には、フレーム上の保持筒に静圧軸受を介して上下方向へ移動可能に支持されたハウジングと、そのハウジング内に回転可能に軸支されたスピンドルと、ワークに対応してスピンドルの端部に保持された砥石と、回転運動を直線運動に変換する機構を具備し、ハウジングを上下方向に移動させて砥石をワークに接離させる送り手段とを設けたものである。
【0006】
また、前記送り手段はモータとボールネジとナット部とから構成し、ボールネジをハウジングと同一軸線上に配設し、前記ハウジングとフレーム上の保持筒との間には、ハウジングを回り止めするための回り止め手段を設け、前記回り止め手段は、ハウジングと保持筒とのいずれか一方に設けられたガイド筒と、ハウジングと保持筒との他方に設けられ、ガイド筒内に静圧軸受を介して摺動可能に嵌合されたガイドロッドとからなるものである。
【0007】
請求項2に記載の発明では、請求項1に記載の研削盤において、前記スピンドルはハウジング内に、静圧軸受を介して軸支したものである。
請求項3に記載の発明では、請求項1又は請求項2に記載の研削盤において、前記ワーク保持装置に対応して、砥石駆動装置と反対側に上下方向へ起立状態で配設された第2砥石駆動装置をさらに備え、その第2砥石駆動装置には、フレーム上の保持筒に静圧軸受を介して上下方向へ移動可能に支持された第2ハウジングと、その第2ハウジング内に回転可能に軸支された第2スピンドルと、ワークに対応して第2スピンドルの端部に保持された第2砥石と、回転運動を直線運動に変換する機構を具備し、第2ハウジングを上下方向に移動させて第2砥石をワークに接離させる第2送り手段とを設けたものである。
【0008】
また、前記第2送り手段はモータとボールネジとナット部とから構成し、ボールネジを第2ハウジングと同一軸線上に配設したものである。
【0009】
請求項4に記載の発明では、請求項3に記載の研削盤において、前記第2スピンドルを第2ハウジング内に、静圧軸受を介して軸支したものである。
【0012】
請求項5に記載の発明では、請求項1〜請求項4のうちいずか一項に記載の研削盤において、前記回り止め手段は、ハウジング及びその関連部材の重量を支承して、送り手段によるハウジングの移動時のバランスを保つためのバランス機構を具備するものである。
【0013】
請求項6に記載の発明では、請求項1〜請求項5のうちいずか一項に記載の研削盤において、前記回り止め手段は、ハウジングを上下方向へ微調節移動させるための微調節送り機構を具備し、前記微調節送り機構は、前記ガイド筒に複数形成されるエア供給口を介した圧力エアが前記ガイドロッドの外周面に作用することで、該ガイドロッドが前記ボールネジの軸線周りに押圧されて前記ハウジングが微小回動し、この回動に伴って、前記ナット部とボールネジとを介して前記ハウジングを上下方向へ微調節移動させるものである。
【0014】
請求項7に記載の発明では、請求項2に記載の研削盤において、前記スピンドル上のフランジ部には、静圧軸受の上下空間を連通するための連通孔を形成したものである。
【0015】
請求項8に記載の発明では、請求項3または請求項4に記載の研削盤において、前記第2ハウジングとフレーム上の保持筒との間には、第2ハウジングを回り止めするための第2回り止め手段を設けたものである。
【0016】
請求項9に記載の発明では、請求項8に記載の研削盤において、前記第2回り止め手段は、第2ハウジングと保持筒とのいずれか一方に設けられたガイド筒と、第2ハウジングと保持筒との他方に設けられ、ガイド筒内に静圧軸受を介して摺動可能に嵌合されたガイドロッドとからなるものである。
【0017】
請求項10に記載の発明では、請求項4に記載の研削盤において、前記第2スピンドル上のフランジ部には、静圧軸受の上下空間を連通するための連通孔を形成したものである。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下に、この発明の一実施形態を、図面に基づいて説明する。
図1及び図2に示すように、この実施形態の両頭研削盤のフレーム11は、下部フレーム12と、その下部フレーム12上に固定された上部フレーム13とから構成されている。下部フレーム12にはワーク保持装置14が装設され、このワーク保持装置14上にはシリコンウエハ等の薄板状のワーク15が着脱可能に保持されて、図示しない回転用モータにより回転されるようになっている。
【0019】
前記上部フレーム13には第1砥石駆動装置16が上下方向へ起立状態で装設され、第1砥石駆動装置16の下部には第1砥石17がワーク保持装置14上のワーク15の上面と対応するように装備されている。下部フレーム12には第2砥石駆動装置18が上下方向へ起立状態で装設され、第2砥石駆動装置18の上部には第2砥石19がワーク保持装置14上のワーク15の下面と対応するように装備されている。そして、両砥石17,19の対向端面の研削面が平行に配置され、これらの研削面によりワーク15の表裏両面が同時に研削されるようになっている。
【0020】
前記第1砥石駆動装置16の構成について詳細に説明する。図3に示すように、前記上部フレーム13の上壁には保持筒22が貫通固定され、その内部には円筒状の第1ハウジング23が静圧ラジアル軸受24を介して上下方向へ移動可能に嵌挿支持されている。第1ハウジング23内の中心には第1スピンドル25が静圧ラジアル軸受26及び静圧スラスト軸受27を介して回転可能に軸支され、その下端部には前記第1砥石17を保持するための砥石台28が設けられている。第1ハウジング23内には第1回転用モータ29が配設され、この第1回転用モータ29により、第1スピンドル25を介して第1砥石17が回転されるようになっている。
【0021】
前記第1スピンドル25の下端近傍にはフランジ部30が設けられ、このフランジ部30には静圧スラスト軸受27の上部空間27aと下部空間27bとを連通するための複数の連通孔31が形成されている。これにより、静圧スラスト軸受27の上下空間27a,27bにおいて圧力エアの圧力差が生じるのを防いで、第1回転用モータ29による第1スピンドル25の回転時に、その第1スピンドル25に振動が発生するおそれを防止するようになっている。
【0022】
図3及び図4に示すように、前記保持筒22の上端には第1送り手段としての第1送り機構32が装設されている。すなわち、保持筒22の上端には蓋板33がスペーサ34を介して取り付けられ、そのスペーサ34の両側には透孔35が形成されている。第1ハウジング23及び第1スピンドル25の軸線と同一軸線上に位置するように、蓋板33の中心にはボールネジ36がベアリング37を介して回転可能に支持されている。
【0023】
前記第1ハウジング23の上端には取付板38が固定され、取付板38の両側部がスペーサ34の透孔35を通して第1ハウジング23の外部に突出されている。取付板38の中心にはナット部39が貫通固定され、このナット部39にはボールネジ36が進退可能に螺合されている。蓋板33上には第1送り用モータ40がブラケット41を介して装着され、第1送り用モータ40のモータ軸がカップリング42を介してボールネジ36に連結されている。
【0024】
そして、前記第1送り用モータ40によりボールネジ36が回転されたとき、ナット部39との螺合により回転運動が直線運動に変換されて、第1ハウジング23が保持筒22内で上下方向に移動される。これにより、第1砥石17がワーク15に対して接離する方向へ送り移動されるようになっている。
【0025】
図3及び図4に示すように、前記第1ハウジング23と保持筒22との間には、第1ハウジング23を回り止めするための第1回り止め手段としての第1回り止め機構43が配設されている。第1ハウジング23上の取付板38の両側上面には一対のガイド筒44が立設固定されている。保持筒22の外面には一対の有底筒状のガイドロッド45が支持板46を介して取り付けられ、ガイドロッド45は各ガイド筒44内に静圧ラジアル軸受47を介して上下方向へ摺動可能に嵌合されている。
【0026】
前記第1回り止め機構43には、第1ハウジング23の移動時のバランスを保つためのバランス機構48が装備されている。すなわち、両ガイド筒44上にはシリンダ49がそれぞれ取り付けられ、各シリンダ49の頂部には圧力エアを供給するためのエア供給口50が形成されている。そして、エア供給口50から各シリンダ49内に圧力エアが供給されることにより、ガイド筒44に浮上力が付与されて、第1ハウジング23及びその関連部材の重量が支承される。これにより、第1送り用モータ40により第1ハウジング23が上下方向へ移動される際に、ボールネジ36とナット部39との係合部に加わる荷重が軽減されて、第1ハウジング23の移動バランスが保たれるようになっている。
【0027】
前記第1回り止め機構43には、第1ハウジング23を上下方向へ微調節移動させるための微調節送り機構51が装備されている。すなわち、両ガイド筒44には複数のエア供給口52が形成されている。そして、第1送り用モータ40により第1ハウジング23が移動されて、第1砥石17がワーク15と対応する位置まで送り移動された後、選択された任意のエア供給口52からガイドロッド45の外周面に向けて圧力エアが吹き付けられる。これにより、ガイドロッド45がガイド筒44内でボールネジ36の軸線周りに押圧されて、第1ハウジング23に微小回動が許容され、その回動に伴いナット部39及びボールネジ36を介して、第1ハウジング23が軸線方向に微調節移動されるようになっている。
【0028】
次に、前記第2砥石駆動装置18の構成について詳細に説明する。図5に示すように、下部フレーム12上には支持台55が固定され、支持台55の中央には保持筒57が貫通固定され、その内部には円筒状の第2ハウジング58が静圧ラジアル軸受59を介して上下方向へ移動可能に嵌挿支持されている。第2ハウジング58内の中心には第2スピンドル60が静圧ラジアル軸受61及び静圧スラスト軸受62を介して回転可能に軸支され、第2スピンドル60の上端部には前記第2砥石19を保持するための砥石台63が設けられている。第2ハウジング58内には第2回転用モータ67が配設され、この第2回転用モータ67により、第2スピンドル60を介して第2砥石19が回転されるようになっている。
【0029】
前記第2スピンドル60の上端近傍にはフランジ部68が設けられ、このフランジ部68には静圧スラスト軸受62の上部空間62aと下部空間62bとを連通するための複数の連通孔69が形成されている。これにより、静圧スラスト軸受62の上下空間62a,62bにおいて圧力エアの圧力差が生じるのを防いで、第2回転用モータ67による第2スピンドル60の回転時に、その第2スピンドル60に振動が発生するおそれを防止するようになっている。
【0030】
図5に示すように、前記保持筒57の下端には第2送り手段としての第2送り機構70が装設されている。すなわち、保持筒57の下端には蓋板71が取り付けられ、その一側部が保持筒57の外側方に延長されている。第2ハウジング58及び第2スピンドル60の軸線と同一軸線上に位置するように、蓋板71にはボールネジ72がベアリング73を介して回転可能に支持されている。
【0031】
前記第2ハウジング58の下端には取付板74が取り付けられ、その一側部が保持筒57の透孔75を通して外部に突出されている。取付板74にはナット部76が貫通固定され、このナット部76にはボールネジ72が螺合されている。蓋板71の一側上面には第2送り用モータ77が装着され、そのモータ軸がプーリ78,79及びベルト80を介してボールネジ72に作動連結されている。
【0032】
そして、前記第2送り用モータ77によりボールネジ72が回転されたとき、ナット部76との螺合により回転運動が直線運動に変換されて、第2ハウジング58が保持筒57内で上下方向に移動される。これにより、第2砥石19がワーク15に対して接離する方向へ送り移動されるようになっている。
【0033】
図5に示すように、前記第2ハウジング58と保持筒57との間には、第2ハウジング58を回り止めするための第2回り止め手段としての第2回り止め機構81が配設されている。保持筒57の一側外面にはガイド筒82が取り付けられ、このガイド筒82は保持筒57の外面に設けられたガイドレール85に沿って上下方向へ摺動可能になっている。第2ハウジング58下端の取付板74の一側上面には有底筒状のガイドロッド83が立設固定され、ガイド筒82内に静圧ラジアル軸受84を介して上下方向へ摺動可能に嵌合されている。
【0034】
次に、前記のように構成された研削盤の動作を説明する。
さて、この研削盤において、研削加工を行う場合には、ワーク保持装置14にワーク15が保持された状態で、第2砥石駆動装置18の第2砥石19が第2送り機構70により上方に送り移動されて、ワーク15の下面に接触される。さらに、第1砥石駆動装置16の第1砥石17が第1送り機構32により下方に送り移動されて、ワーク15の上面に近接配置される。
【0035】
この状態で、ワーク保持装置14における図示しない回転用モータによりワーク15が回転されるとともに、両砥石17,19が回転用モータ29,67によりそれぞれ回転される。そして、第1砥石17が第1送り機構32によりワーク15に向かって減速送りされて、両砥石17,19によりワーク15の表裏両面が同時に粗研削される。
【0036】
その後、第1砥石駆動装置16の第1砥石17が微調節送り機構51により0.1ミクロン以下の単位で微調節送りされる。これにより、ワーク15の表裏両面が両砥石17,19にて同時に精密研削仕上げされる。
【0037】
前記実施形態によって期待できる効果について、以下に記載する。
・この実施形態においては、ワーク15を保持するワーク保持装置14に対応して、第1砥石駆動装置16が上下方向へ起立状態で配設されている。また、この第1砥石駆動装置16には、上部フレーム13上の保持筒22に静圧ラジアル軸受24を介して上下方向へ移動可能に支持された第1ハウジング23と、その第1ハウジング23内に回転可能に軸支された第1スピンドル25と、ワーク15に対応して第1スピンドル25の端部に保持された第1砥石17と、回転運動を直線運動に変換する機構を具備し、第1ハウジング23を上下方向に移動させて第1砥石17をワーク15に接離させる第1送り機構32とが設けられている。
【0038】
このため、第1送り機構32により第1ハウジング23に直線運動が付与されたときには、第1ハウジング23が静圧ラジアル軸受24を介して、大きな摺動抵抗を受けることなく上下方向に移動される。よって、第1砥石17をワーク15と対応する位置まで、微小に送り移動させることができて、ワーク15を精密に研削仕上げすることができる。
【0039】
・この実施形態においては、第1送り機構32がモータ40とボールネジ36とナット部39とから構成され、ボールネジ36が第1ハウジング23と同一軸線上に配設されている。このため、第1送り機構32の構成が簡単であるにも拘らず、第1ハウジング23に作用する摺動抵抗をいっそう軽減することができて、第1砥石17を安定して微小送りすることができる。
【0040】
・この実施形態においては、第1スピンドル25が第1ハウジング23内に、静圧ラジアル軸受26及び静圧スラスト軸受27を介して軸支されている。このため、第1スピンドル25の軸受構成が簡単であるにも拘らず、第1スピンドル25を第1ハウジング23内に安定状態で軸支することができて、ワーク15の加工精度を高めることができる。
【0041】
・この実施形態においては、第1ハウジング23と上部フレーム13上の保持筒22との間に、第1ハウジング23を回り止めするための第1回り止め機構43が設けられている。このため、上部フレーム13上の保持筒22に静圧ラジアル軸受24を介して支持された状態にある第1ハウジング23が不要に回動されるおそれを、第1回り止め機構43によって確実に防止することができ、第1砥石17をワーク15と対応する位置まで正確に微小送りすることができる。また、各シリンダ49にてガイド筒44及び取付板38に浮上力が付与されるため、ボールネジ36とナット39との間のバックラッシが無くなる。従って、第1砥石17をいっそう正確に微小送りすることができる。
【0042】
・この実施形態においては、第1回り止め機構43が、第1ハウジング23と保持筒22とのいずれか一方に設けられたガイド筒44と、第1ハウジング23と保持筒22との他方に設けられ、ガイド筒44内に静圧ラジアル軸受47を介して摺動可能に嵌合されたガイドロッド45とから構成されている。このため、第1回り止め機構43の構造が簡単であるにも拘らず、第1ハウジング23の不要な回動を、摺動抵抗等の余分な力が作用することなく確実に防止することができる。
【0043】
・この実施形態においては、第1回り止め機構43が、第1ハウジング23及びその関連部材の重量を支承して、第1送り機構32による第1ハウジング23の移動時のバランスを保つためのバランス機構48を具備している。このため、バランス機構48により第1ハウジング23及びその関連部材の重量が支承された状態で、第1ハウジング23を軸線方向へバランスを保って移動させることができ、第1砥石17をワーク15と対応する位置までいっそう正確に微小送りすることができる。
【0044】
・この実施形態においては、第1回り止め機構43が、第1ハウジング23の微小回動を許容して、第1ハウジング23を上下方向へ微調節移動させるための微調節送り機構51を具備している。このため、第1ハウジング23を微調節送り機構51により微調節移動させることができて、第1砥石17をワーク15と対応する位置まで、いっそう正確に微調節送りすることができる。
【0045】
・この実施形態においては、第1スピンドル25上のフランジ部30に、静圧スラスト軸受27の上下空間27a,27bを連通するための連通孔31が形成されている。このため、静圧スラスト軸受27の上下空間27a,27bに圧力差が生じることにより、第1スピンドル25に振動が発生するおそれを防止することかできて、ワーク15の加工精度を高めることができる。
【0046】
・この実施形態においては、ワーク保持装置14に対応して、第1砥石駆動装置16と反対側に第2砥石駆動装置18が上下方向へ起立状態で配設されている。また、この第2砥石駆動装置18には、下部フレーム12上の保持筒57に静圧ラジアル軸受59を介して上下方向へ移動可能に支持された第2ハウジング58と、その第2ハウジング58内に回転可能に軸支された第2スピンドル60と、ワーク15に対応して第2スピンドル60の端部に保持された第2砥石19と、回転運動を直線運動に変換する機構を具備し、第2ハウジング58を上下方向に移動させて第2砥石19をワーク15に接離させる第2送り機構70とが設けられている。
【0047】
このため、対向配置された一対の砥石駆動装置16,18において、スピンドル25,60を収容支持した各ハウジング23,58に作用する摺動抵抗をそれぞれ軽減することができる。よって、両砥石駆動装置16,18における砥石17,29をそれぞれ微小に送り移動させることができて、ワーク15を表裏両面から精密に研削仕上げすることができる。
【0048】
・この実施形態においては、第2送り機構70がモータ77とボールネジ72とナット部76とから構成され、ボールネジ72が第2ハウジング58と同一軸線上に配設されている。このため、第2送り機構70の構成が簡単であるにも拘らず、第2ハウジング58に作用する摺動抵抗をいっそう軽減することができて、第2砥石19を安定して微小送りすることができる。
【0049】
・この実施形態においては、第2スピンドル60が第2ハウジング58内に、静圧ラジアル軸受61及び静圧スラスト軸受62を介して軸支されている。このため、第2スピンドル60の軸受構成が簡単であるにも拘らず、第2スピンドル60を第2ハウジング58内に安定状態で軸支することができて、ワーク15の加工精度を高めることができる。
【0050】
・この実施形態においては、第2ハウジング58と下部フレーム12上の保持筒57との間に、第2ハウジング58を回り止めするための第2回り止め機構81が設けられている。このため、下部フレーム12上の保持筒57に静圧ラジアル軸受59を介して支持された状態にある第2ハウジング58が回動されるおそれを、第2回り止め機構81によって確実に防止することができ、第2砥石19をワーク15と対応する位置まで正確に微小送りすることができる。
【0051】
・この実施形態においては、第2回り止め機構81が、第2ハウジング58と保持筒57とのいずれか一方に設けられたガイド筒82と、第2ハウジング58と保持筒57との他方に設けられ、ガイド筒82内に静圧ラジアル軸受84を介して摺動可能に嵌合されたガイドロッド83とから構成されている。このため、第2回り止め機構81の構造が簡単であるにも拘らず、第2ハウジング58の不要な回動を、摺動抵抗等の余分な力が作用することなく確実に防止することができる。
【0052】
・この実施形態においては、第2スピンドル60上のフランジ部68に、静圧スラスト軸受62の上下空間62a,62bを連通するための連通孔69が形成されている。このため、静圧スラスト軸受62の上下空間62a,62bに圧力差が生じることにより、第2スピンドル60に振動が発生するおそれを防止することかできて、ワーク15の加工精度を高めることができる。
【0053】
なお、この実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
・ 第1砥石駆動装置16の第1回り止め機構43において、ガイド筒44を保持筒22側に取り付けるとともに、ガイドロッド45を第1ハウジング23側に取り付けること。
【0054】
・ 第2砥石駆動装置18を省略して、第1砥石駆動装置16のみにより、ワーク15の片面のみを研削するように構成すること。
・ 各静圧ラジアル軸受24,26,47,59及び静圧スラスト軸受27,62に対して、圧力エアに代えて圧油を供給すること。
【0055】
【発明の効果】
この発明は、以上のように構成されているため、次のような効果を奏する。
請求項1に記載の発明によれば、スピンドルを収容支持したハウジングに作用する摺動抵抗を軽減することができ、砥石を微小に送り移動させることができて、ワークを精密に研削仕上げすることができる。
【0056】
また、請求項1に記載の発明によれば、送り手段の構成が簡単であるにも拘らず、ハウジングに作用する摺動抵抗をいっそう軽減することができて、砥石を安定して微小送りすることができる。また、フレーム上の保持筒に静圧軸受を介して支持された状態にあるハウジングが不要に回動されるおそれを、回り止め手段によって確実に防止することができ、砥石をワークと対応する位置まで正確に微小送りすることができる。また、回り止め手段の構造が簡単であるにも拘らず、ハウジングの不要な回動を、摺動抵抗等の余分な力が作用することなく確実に防止することができる。
【0057】
請求項2に記載の発明によれば、スピンドルの軸受構成が簡単であるにも拘らず、スピンドルをハウジング内に安定状態で軸支することができて、ワークの加工精度を高めることができる。
【0058】
請求項3に記載の発明によれば、対向配置された一対の砥石駆動装置において、スピンドルを収容支持した各ハウジングに作用する摺動抵抗をそれぞれ軽減することができ、両砥石をそれぞれ微小に送り移動させることができて、ワークを表裏両面から精密に研削仕上げすることができる。
【0059】
また、請求項3に記載の発明によれば、第2送り手段の構成が簡単であるにも拘らず、第2ハウジングに作用する摺動抵抗をいっそう軽減することができて、第2砥石を安定して微小送りすることができる。
【0060】
請求項4に記載の発明によれば、第2スピンドルの軸受構成が簡単であるにも拘らず、第2スピンドルを第2ハウジング内に安定状態で軸支することができて、ワークの加工精度を高めることができる。
【0063】
請求項5に記載の発明によれば、バランス機構によりハウジング及びその関連部材の重量を支承した状態で、ハウジングを軸線方向へバランスを保って移動させることができ、砥石をワークと対応する位置までいっそう正確に微小送りすることができる。
【0064】
請求項6に記載の発明によれば、ハウジングを微調節送り機構により微調節移動させることができて、砥石をワークと対応する位置までいっそう正確に微調節送りすることができる。
【0065】
請求項7に記載の発明によれば、静圧軸受の上下空間に圧力差が生じることにより、スピンドルに振動が発生するおそれを防止することかできて、ワークの加工精度を高めることができる。
【0066】
請求項8に記載の発明によれば、フレーム上の保持筒に静圧軸受を介して支持された状態にある第2ハウジングが不要に回動されるおそれを、第2回り止め手段によって確実に防止することができ、第2砥石をワークと対応する位置まで正確に微小送りすることができる。
【0067】
請求項9に記載の発明によれば、第2回り止め手段の構造が簡単であるにも拘らず、第2ハウジングの回動を、摺動抵抗等の余分な力が作用することなく確実に防止することができる。
【0068】
請求項10に記載の発明によれば、静圧軸受の上下空間に圧力差が生じることにより、第2スピンドルに振動が発生するおそれを防止することかできて、ワークの加工精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の研削盤の一実施形態を示す正面図。
【図2】同じく研削盤の側面図。
【図3】第1砥石駆動装置を拡大して示す要部断面図。
【図4】図3の4−4線における拡大断面図。
【図5】第2砥石駆動装置及びワーク保持装置を示す要部拡大断面図。
【符号の説明】
11…フレーム、12…下部フレーム、13…上部フレーム、14…ワーク保持装置、15…ワーク、16…第1砥石駆動装置、17…第1砥石、18…第2砥石駆動装置、19…第2砥石、22…保持筒、23…第1ハウジング、24…静圧ラジアル軸受、25…第1スピンドル、26…静圧ラジアル軸受、27…静圧スラスト軸受、27a…上部空間、27b…下部空間、29…第1回転用モータ、30…フランジ部、31…連通孔、32…第1送り手段としての第1送り機構、36…ボールネジ、39…ナット部、40…第1送り用モータ、43…第1回り止め手段としての第1回り止め機構、44…ガイド筒、45…ガイドロッド、47…静圧ラジアル軸受、48…バランス機構、49…シリンダ、51…微調節送り機構、52…エア供給口、57…保持筒、58…第2ハウジング、59…静圧ラジアル軸受、60…第2スピンドル、61…静圧ラジアル軸受、62…静圧スラスト軸受、62a…上部空間、62b…下部空間、67…第2回転用モータ、68…フランジ部、69…連通孔、70…第2送り手段としての第2送り機構、72…ボールネジ、76…ナット部、77…第2送り用モータ、81…第2回り止め手段としての第2回り止め機構、82…ガイド筒、83…ガイドロッド、84…静圧ラジアル軸受、86…エア供給口。
Claims (10)
- ワークを保持するワーク保持装置と、そのワーク保持装置に対応して上下方向へ起立状態で配設された砥石駆動装置とを備え、
前記砥石駆動装置には、
フレーム上の保持筒に静圧軸受を介して上下方向へ移動可能に支持されたハウジングと、
そのハウジング内に回転可能に軸支されたスピンドルと、
ワークに対応してスピンドルの端部に保持された砥石と、
回転運動を直線運動に変換する機構を具備し、ハウジングを上下方向に移動させて砥石をワークに接離させる送り手段と、
を設け、
前記送り手段はモータとボールネジとナット部とから構成し、ボールネジをハウジングと同一軸線上に配設し、
前記ハウジングとフレーム上の保持筒との間には、ハウジングを回り止めするための回り止め手段を設け、
前記回り止め手段は、ハウジングと保持筒とのいずれか一方に設けられたガイド筒と、ハウジングと保持筒との他方に設けられ、ガイド筒内に静圧軸受を介して摺動可能に嵌合されたガイドロッドとからなる研削盤。 - 前記スピンドルはハウジング内に、静圧軸受を介して軸支した請求項1に記載の研削盤。
- 前記ワーク保持装置に対応して、砥石駆動装置と反対側に上下方向へ起立状態で配設された第2砥石駆動装置をさらに備え、
その第2砥石駆動装置には、
フレーム上の保持筒に静圧軸受を介して上下方向へ移動可能に支持された第2ハウジングと、
その第2ハウジング内に回転可能に軸支された第2スピンドルと、
ワークに対応して第2スピンドルの端部に保持された第2砥石と、
回転運動を直線運動に変換する機構を具備し、第2ハウジングを上下方向に移動させて第2砥石をワークに接離させる第2送り手段と、
を設け、
前記第2送り手段はモータとボールネジとナット部とから構成し、ボールネジを第2ハウジングと同一軸線上に配設した請求項1または請求項2に記載の研削盤。 - 前記第2スピンドルを第2ハウジング内に、静圧軸受を介して軸支した請求項3に記載の研削盤。
- 前記回り止め手段は、ハウジング及びその関連部材の重量を支承して、送り手段によるハウジングの移動時のバランスを保つためのバランス機構を具備する請求項1〜請求項4のうちいずれか1項に記載の研削盤。
- 前記回り止め手段は、ハウジングを上下方向へ微調節移動させるための微調節送り機構を具備し、前記微調節送り機構は、前記ガイド筒に複数形成されるエア供給口を介した圧力エアが前記ガイドロッドの外周面に作用することで、該ガイドロッドが前記ボールネジの軸線周りに押圧されて前記ハウジングが微小回動し、この回動に伴って、前記ナット部とボールネジとを介して前記ハウジングを上下方向へ微調節移動させるものである請求項1〜請求項5のうちいずれか1項に記載の研削盤。
- 前記スピンドル上のフランジ部には、静圧軸受の上下空間を連通するための連通孔を形成した請求項2に記載の研削盤。
- 前記第2ハウジングとフレーム上の保持筒との間には、第2ハウジングを回り止めするための第2回り止め手段を設けた請求項3または請求項4に記載の研削盤。
- 前記第2回り止め手段は、第2ハウジングと保持筒とのいずれか一方に設けられたガイド筒と、第2ハウジングと保持筒との他方に設けられ、ガイド筒内に静 圧軸受を介して摺動可能に嵌合されたガイドロッドとからなる請求項8に記載の研削盤。
- 前記第2スピンドル上のフランジ部には、静圧軸受の上下空間を連通するための連通孔を形成した請求項4に記載の研削盤。
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