JPH11239956A - 研削盤における砥石ティルト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 砥石のティルト量の数値管理が可能で、傾き
の調整作業が容易な研削盤における電動式砥石ティルト
装置を提供する。 【解決手段】 電動式砥石ティルト装置５は、研削盤の
ベッド１に支持された砥石台３を傾動させて砥石の傾き
を調整するとともにベッド１に砥石台３を固定するもの
であり、ベッド１に加圧部10が、砥石台３に受圧部11が
設けられ、加圧部10に、２つの貫通状のねじ穴26、56
と、ねじ穴26、56にそれぞれねじはめられた２つの調整
ねじ部材27、57と、調整ねじ部材27、57にそれぞれ対応
する２つの加圧部材32、62と、加圧部材32、62をそれぞ
れ付勢して受圧部11に圧接させることにより受圧部11を
調整ねじ部材27、57に圧接させる２組の皿ばね34、64
と、２つの調整ねじ部材27、57をそれぞれ回転させる２
つの電動モータ45、75とが設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術の分野】この発明は、研削盤におけ
る砥石ティルト装置、さらに詳しくは、たとえば対向二
軸平面研削盤などにおいて、ベッドなどの固定部分に傾
動自在に支持された砥石台を傾動させて、固定部分に対
する砥石の傾きを調整するとともに、固定部分に対して
砥石台を所望の姿勢に固定するための装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】対向二軸平面研削盤として、ベッドの上
に左右１対の砥石台が支持され、各砥石台に左右方向に
のびて端部同志が互いに対向する砥石軸が設けられ、こ
れらの砥石軸の対向端部に砥石が固定され、これらの砥
石の対向端部に平坦な研削面が形成されたものが知られ
ている。

【０００３】このような研削盤は、ワークの両面を同時
に研削するために使用されるが、１対の砥石の研削面の
平行度を確保するために、ベッドに対する砥石台の傾き
を調整する必要がある。このため、従来は、各砥石台を
ベッドに傾動自在に支持し、手動操作によりベッドに対
する砥石台の傾きを調整して、砥石台をベッドに固定す
るようになっている。

【０００４】たとえば、砥石台の前後方向の傾きを調整
する場合には、ベッドの上に鉛直軸を中心に傾動しうる
ように砥石台が支持され、砥石台の前後両側のベッドの
部分に、砥石台の前後両面にそれぞれ当接する調整ねじ
が設けられる。この場合、手動操作で前後の調整ねじの
位置を調整することにより、砥石台の前後方向の傾きが
調整されるが、２つの調整ねじが砥石台の反対側に位置
しているため、作業性が悪く、調整も困難であった。ま
た、２つの調整ねじの位置を調整する必要があるため、
とくに微小角度の調整が困難であった。

【０００５】砥石台の上下方向の傾きを調整する場合に
ついても同様である。また、砥石台の前後方向の傾きと
上下方向の傾きを調整することによって砥石台の任意の
方向の傾きの調整ができるが、この場合にも、同様の問
題があった。

【０００６】さらに、従来は、上記のように砥石のティ
ルト操作を手動操作で行っているので、ティルト量の数
値管理ができず、傾きの調整作業が困難で、熟練を要す
るという問題もあった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、作
業性が良くて、調整も容易な研削盤における砥石ティル
ト装置を提供することにある。

【０００８】この発明の目的は、また、砥石のティルト
量の数値管理が可能で、傾きの調整作業が容易な研削盤
における砥石ティルト装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段および発明の効果】請求項
１の研削盤における砥石ティルト装置は、研削盤におい
て固定部分に傾動自在に支持された砥石台を傾動させて
固定部分に対する砥石の傾きを調整するとともに固定部
分に対して砥石台を所望の姿勢に固定するための装置で
あって、固定部分と砥石台のいずれか一方に、調整用部
材支持部が固定状に設けられ、同他方に、受圧部が、調
整用部材支持部との間に固定部分に対する砥石台の傾動
を妨げない程度の間隔をあけて、固定状に設けられ、調
整用部材支持部に、１つの貫通状のねじ穴と、このねじ
穴にねじはめられて先端部が受圧部に接触させられる調
整ねじ部材と、この調整ねじ部材に対応する加圧部材
と、この加圧部材を付勢して受圧部に圧接させることに
より受圧部を対応する調整ねじ部材の先端部に圧接させ
る弾性部材と、調整ねじ部材を回転させるための調整ね
じ部材回転手段とが設けられていることを特徴とするも
のである。

【００１０】好ましくは、調整用部材支持部は固定部分
に、受圧部は砥石台に設けられる。以下、このような場
合について、ティルト装置の動作を説明する。

【００１１】調整ねじ部材が停止しているときには、受
圧部は、弾性部材の弾性力により、調整ねじ部材とこれ
に対応する加圧部材とに挟まれて、調整用部材支持部に
対して固定されている。このため、砥石台は、固定部分
に対して、所定の姿勢に固定されている。そして、この
ように砥石台が固定部分に対して固定された状態で、ワ
ークの研削が行われる。このとき、弾性部材の弾性力は
加圧部材および受圧部を介して調整ねじ部材に伝えられ
るが、この力は調整ねじ部材とねじ穴のねじの部分で受
けられ、調整ねじ部材回転手段に伝わることはない。こ
のため、調整ねじ部材回転手段によって調整ねじ部材を
一定位置に保持しておく必要がなく、また、ばね定数の
大きい弾性部材を用い、受圧部を大きな力で調整ねじ部
材に押し付けて、剛性を高めることができる。なお、こ
のようなばね定数の大きい弾性部材として、たとえば、
皿ばねなどを用いることができる。

【００１２】調整ねじ部材回転手段により調整ねじ部材
を回転させると、調整ねじ部材はねじ穴に沿って移動す
る。このため、受圧部は、調整ねじ部材と対応する加圧
部材に挟まれた状態で、調整ねじ部材の軸方向に移動
し、その結果、砥石台が調整ねじ部材の軸方向に傾けら
れる。そして、調整ねじ部材の回転量を調整することに
より、調整ねじ部材の軸方向の移動量を調整して、固定
部分に対する砥石台の傾きを任意に調整することができ
る。このように、１つの調整ねじ部材の位置を調整する
だけで、砥石台の傾きの調整ができるので、作業性がき
わめて良く、調整とくに微小角度の調整も容易である。
また、弾性部材により、調整ねじ部材が一定方向に付勢
されているので、調整ねじ部材とねじ穴との間のバック
ラッシュの影響をなくすことができる。

【００１３】調整用部材支持部が砥石台に、受圧部が固
定部分に設けられている場合にも、上記と同じことが言
える。

【００１４】このように、請求項１の研削盤における砥
石ティルト装置によれば、高い剛性を確保することがで
き、作業性が良く、調整も容易である。

【００１５】請求項２の研削盤における砥石ティルト装
置は、研削盤において固定部分に傾動自在に支持された
砥石台を傾動させて固定部分に対する砥石の傾きを調整
するとともに固定部分に対して砥石台を所望の姿勢に固
定するための装置であって、固定部分と砥石台のいずれ
か一方に、調整用部材支持部が固定状に設けられ、同他
方に、受圧部が、調整用部材支持部との間に固定部分に
対する砥石台の傾動を妨げない程度の間隔をあけて、固
定状に設けられ、調整用部材支持部に、互いに異なる傾
き調整方向を向く２つの貫通状のねじ穴と、これらのね
じ穴にそれぞれねじはめられて先端部が受圧部に接触さ
せられる２つの調整ねじ部材と、これらの調整ねじ部材
にそれぞれ対応する２つの加圧部材と、これらの加圧部
材をそれぞれ付勢して受圧部に圧接させることにより受
圧部を対応する調整ねじ部材の先端部に圧接させる２組
の弾性部材と、２つの調整ねじ部材をそれぞれ回転させ
るための２組の調整ねじ部材回転手段とが設けられてい
ることを特徴とするものである。

【００１６】この場合、２つの調整ねじ部材の位置をそ
れぞれ調整することにより、砥石台の２つの調整ねじ部
材の軸方向の傾きを任意に調整することができ、その結
果、砥石台の任意の方向の傾きを任意に調整することが
できる。

【００１７】他は、請求項１の場合と同様である。

【００１８】請求項３の研削盤における砥石ティルト装
置は、請求項１または２の装置において、調整ねじ部材
回転手段が、調整ねじ部材を回転させる電動モータを備
えていることを特徴とするものである。

【００１９】この場合、電動モータで調整ねじ部材を回
転させることにより、調整ねじ部材の位置を調整して、
砥石台の傾きを調整することができる。そして、電動モ
ータの回転量を制御することにより、受圧部を調整ねじ
部材の軸方向に移動させて、固定部分に対する砥石台の
傾きを任意に調整することができる。このように、電動
モータの回転量を制御することにより、固定部分に対す
る砥石台の傾きが調整できるので、砥石台のティルト量
の数値管理が可能であり、傾きの調整作業が容易で、熟
練を要しない。なお、調整ねじ部材とモータとの間のバ
ックラッシュの影響をなくすために、調整ねじ部材をい
ずれの方向に移動させる場合も、必ず、モータを一定方
向に回転させることにより調整ねじ部材を一定方向に移
動させてから、モータを反対方向に回転させることによ
り調整ねじ部材を反対方向に移動させて位置決めするよ
うにするのが望ましい。好ましくは、ティルト装置にモ
ータ制御装置を設け、このモータ制御装置により電動モ
ータの回転方向および回転量を制御するようにする。そ
の場合、さらに好ましくは、モータ制御装置に操作パネ
ルを設け、この操作パネルから砥石台の傾き量あるいは
モータの回転量を入力し、この入力値に基づいて、制御
装置により電動モータを制御するようにする。さらに、
モータ制御装置をコンピュータに接続し、コンピュータ
から砥石台の傾き量に関するデータをモータ制御装置に
送信し、これに基づいて、モータ制御装置がモータを制
御するようにすることもできる。

【００２０】他は、請求項１および２の場合と同様であ
る。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
を対向二軸平面研削盤に適用した実施形態について説明
する。

【００２２】図１は、対向二軸平面研削盤の全体構成を
示している。なお、以下の説明において、図１の紙面表
側を前、同裏側を後とし、前から後を見たときの左右す
なわち図１の左右を左右とする。

【００２３】研削盤は、固定部分を構成する水平なベッ
ド(1)、およびベッド(1)の上面に傾動自在に支持された
左右の砥石台(2)(3)を備えている。詳細な図示は省略し
たが、左側砥石台(2)の右側部分および右側砥石台(3)の
左側部分は、互いに独立して鉛直軸および前後方向水平
軸を中心に傾動しうるようにベッド(1)に取付けられ、
左側砥石台(2)の左側部分および右側砥石台(3)の右側部
分が、それぞれ、電動式砥石ティルト装置(4)(5)を介し
てベッド(1)に固定されている。各砥石台(2)(3)に、左
右方向にのびて端部同志が互いに対向する砥石軸(6)(7)
が回転支持され、これらの砥石軸(6)(7)の対向端部にカ
ップ型の研削砥石(8)(9)が固定されている。各砥石(8)
(9)の鉛直な先端面は平坦な円形研削面(8a)(9a)となっ
ており、これらの研削面(8a)(9a)がほぼ平行な状態で対
向している。各砥石軸(6)(7)は、各砥石台(2)(3)に対し
て軸方向に移動しうるようになっている。

【００２４】ティルト装置(4)(5)は、砥石台(2)(3)の２
つの傾き調整方向の傾き、すなわち、前後方向水平軸を
中心とする上下方向の傾きおよび鉛直軸を中心とする水
平方向（前後方向）の傾きを調整することにより、砥石
台(2)(3)全体の傾きを調整し、かつベッド(1)に対して
砥石台(2)(3)を所望の姿勢に固定するものである。ティ
ルト装置(4)(5)で砥石台(2)(3)の傾きを調整することに
より、砥石(8)(9)および研削面(8a)(9a)の傾きが調整さ
れ、少なくともいずれか一方の砥石台(4)(5)の傾きを調
整することにより、１対の砥石(8)(9)の研削面(8a)(9a)
の相対的な傾きが調整される。

【００２５】たとえば、短円柱状の通常のワークの研削
を行う場合、砥石(8)(9)の近傍に、円周上に形成された
複数のポケットにワークを支持して回転する円板状のキ
ャリヤが設けられ、キャリヤのポケットに支持されたワ
ークが回転している１対の砥石の研削面の間に通される
ことにより、ワークの両面が同時に研削される。

【００２６】また、たとえば、半導体ウェハなどの薄板
円板状のワークの研削を行う場合、砥石(8)(9)の近傍
に、ワーク自転装置が設けられる。ワーク自転装置は、
ワークの両面が１対の砥石(8)(9)の研削面(8a)(9a)にそ
れぞれ対向するとともに、ワークの外周が研削面(8a)(9
a)の外周と交差し、かつワークの中心が研削面(8a)(9a)
内に位置するようにワークを研削面(8a)(9a)の間の研削
加工位置に支持して、その場で自転させるものであり、
このように自転しているワークの両面にそれより高速で
回転している１対の砥石(8)(9)の研削面(8a)(9a)が押し
付けられることにより、ワークの両面の全面が同時に研
削される。なお、ワーク自転装置としては、たとえば、
特願平９−２４０６８３号に記載されているようなもの
を使用することができる。

【００２７】右側のティルト装置(5)の詳細が図２〜図
６に示されている。左右のティルト装置(4)(5)は互いに
左右対称に構成されているので、以下、右側のティルト
装置(5)について説明する。なお、左右のティルト装置
(4)(5)について、対応する部分には同一の符号を付して
いる。

【００２８】ベッド(1)の右端面に調整用部材支持部を
構成する加圧部(10)が固定状に設けられ、右側砥石台
(3)の右端面に受圧部(11)が固定状に設けられている。

【００２９】加圧部(10)は、複数の部材を組合わせるこ
とにより略直方体のブロック状に形成され、その上部
が、ベッド(1)より上方に突出して砥石台(3)の下部右側
面に対向している。加圧部(10)のベッド(1)より上方に
突出した部分に、この部分を左右方向に貫通する空間(1
2)が形成されている。この空間(12)は、加圧部(10)の上
壁(13)、下壁(14)、前壁(15)および後壁(16)に囲まれ、
横断面長方形状をなす。

【００３０】砥石台(3)の下部右側面に受圧部材(17)が
固定されており、その下部右側面に、右側に突出した直
方体ブロック状の受圧部(11)が一体に形成されている。
受圧部(11)は、加圧部(10)の空間(12)内に入り込んでお
り、受圧部(11)と加圧部(10)の壁(13)(14)(15)(16)との
間には、ベッド(1)に対する砥石台(3)の傾動を妨げない
程度の間隔があけられている。

【００３１】図４および図５に詳細に示すように、加圧
部(10)の上壁(13)と下壁(14)に、上下方向の傾き調整機
構(20)が設けられている。

【００３２】下壁(14)は上壁(13)に比べて厚く、下壁(1
4)の下部は右側に突出している。下壁(14)の中央部に、
これを上下方向に貫通する上下貫通穴(21)が形成され、
下壁(14)下部の右側に突出した部分に、この部分を前後
方向に貫通する前後貫通穴(22)が形成されている。これ
らの穴(21)(22)は、上下貫通穴(21)の下部右側部分と前
後貫通穴(22)の前後方向中間部の左側部分で互いに連通
している。上下貫通穴(21)の下端部は、この部分に固定
された蓋(23)により塞がれている。前後貫通穴(22)の前
端部はこの部分に固定された蓋(24)により塞がれ、後端
部はこの部分に固定された歯車箱(25)により塞がれてい
る。

【００３３】上下貫通穴(21)は下にいくにつれて内径が
大きくなった段付き状に形成され、最上部の最も内径の
小さい部分が貫通状のねじ穴(26)となっている。そし
て、このねじ穴(26)に、上下方向にのびる調整ねじ部材
(27)の中間部に形成されたおねじ部(27a)がねじはめら
れている。ねじ部材(27)の上部は、おねじ部(27a)より
小径の押圧部(27b)となっている。押圧部(27b)は常に下
壁(14)の上面より少し上方に突出し、その上端の球面状
の部分が受圧部(11)の下面に接触させられる。ねじ部材
(27)の下部は、連結部(27c)となっている。連結部(27c)
は、おねじ部(27a)より小径の円柱の両側を互いに平行
な平面になるように切り取ることにより、横断面小判状
に形成されている。

【００３４】上壁(13)の中央部に、これを上下方向に貫
通する貫通穴(28)が形成され、その上端部が、この部分
に固定された蓋(29)により塞がれている。貫通穴(28)内
の上部に、ばね受け部材(30)が配置されている。ばね受
け部材(30)の中間部にフランジ(30a)が形成され、上部
がおねじ部(30b)、下部がガイド軸部(30c)となってい
る。そして、おねじ部(30b)が、蓋(29)の中央部を上下
に貫通するねじ穴に下からねじはめられて、ロックナッ
ト(31)により固定されており、これにより、ばね受け部
材(30)のフランジ(30a)より下側の部分が貫通穴(28)内
の上部に位置している。貫通穴(28)内の下部に、短円柱
状の加圧部材(32)が上下摺動自在に設けられている。加
圧部材(32)の上部は他の部分より大径であり、この部分
が貫通穴(28)にわずかな隙間をあけてはめられている。
加圧部材(32)の上端面に円形穴(33)が形成され、この穴
(33)にばね受け部材(30)のガイド軸部(30c)がわずかな
隙間をあけてはめられている。そして、加圧部材(32)
は、貫通穴(28)とガイド軸部(30c)を案内にして、上下
に移動する。なお、貫通穴(28)の下端部は、加圧部材(3
2)が下方に抜け落ちるのを防止するため、小径に形成さ
れている。加圧部材(32)の下部は常に上壁(13)の下面よ
り少し下方に突出し、その下端の球面状の部分が受圧部
(11)の上面に接触させられる。加圧部材(32)の上面とば
ね受け部材(30)のフランジ(30a)の下面との間のガイド
軸部(30c)の周囲に、弾性部材である複数の皿ばね(34)
が取付けられている。皿ばね(34)は、加圧部材(32)を下
向きに加圧して受圧部(11)の上面に圧接させ、これによ
り、受圧部(11)の下面をねじ部材(27)の押圧部(27b)に
圧接させる。このように、皿ばね(34)の弾性力により、
受圧部(11)がねじ部材(27)と加圧部材(32)との間に挟み
止められる。

【００３５】下壁(14)の上下貫通穴(21)内に、上下方向
にのびる歯車軸(35)が配置され、軸受(36)(37)により回
転支持されている。歯車軸(35)の中間部には、ウォーム
ホイール(38)が固定されている。歯車軸(35)の上端に
は、直径方向全長にわたるスリット(39)が形成されてい
る。スリット(39)の対向面の幅は、ねじ部材(27)の連結
部(27c)の二面幅（平行な２つの平坦面間の距離）と等
しいかこれよりわずかに大きく、連結部(27c)がスリッ
ト(39)にきつくはめられて、これらが連結されている。
下壁(14)の前後貫通穴(22)内に、前後方向にのびるウォ
ーム軸(40)が配置され、軸受(41)(42)により回転支持さ
れている。ウォーム軸(40)の中間部には、ウォームホイ
ール(38)とかみ合うウォーム(43)が形成されている。ウ
ォーム軸(40)の前部は蓋(24)を貫通して少し前方に突出
しており、その前端部に、スパナをかけるための角柱部
(40a)が形成されている。また、歯車箱(25)内に突出し
たウォーム軸(40)の後端部に、平歯車(44)が固定されて
いる。歯車箱(25)の左側後面に電動モータとしてのステ
ッピングモータ(45)が前向きに固定されており、歯車箱
(25)内に突出したモータ軸(46)の前端部に、ウォーム軸
(40)の平歯車(44)とかみ合う平歯車(47)が固定されてい
る。また、モータ軸(46)の後端部には、軸継手(48)を介
して絶対値型エンコーダ(49)が連結されている。

【００３６】モータ(45)のモータ軸(46)の回転は、平歯
車(47)(44)、ウォーム軸(40)、ウォーム(43)、ウォーム
ホイール(38)および歯車軸(35)を介して、ねじ部材(27)
に伝えられ、ねじ部材(27)は、回転により、ねじ穴(26)
に沿って上下方向に移動する。ねじ部材(27)が上下方向
に移動することにより、受圧部(11)がねじ部材(27)と加
圧部材(32)に挟まれた状態で上下方向に移動し、その結
果、砥石台(3)が前後方向の水平軸を中心に傾動して、
その上下方向の傾きが調整される。そして、モータ(45)
が停止すると、ねじ部材(27)が停止して、受圧部(11)が
ねじ部材(27)と加圧部材(32)に挟まれた状態で停止し、
砥石台(3)が上下方向に所定の姿勢に固定される。ま
た、エンコーダ(49)により、常に、モータ(45)の回転位
置の絶対値が検出される。

【００３７】図６に詳細に示すように、加圧部(10)の後
壁(15)と前壁(16)に、前後方向の傾き調整機構(50)が設
けられている。

【００３８】前後方向の傾き調整機構(50)は、上下方向
の傾き調整機構(20)と向きが異なるだけで、同様の構成
を有するので、詳細な説明は省略する。なお、前後方向
の傾き調整機構(50)の各部には、上下方向の傾き調整機
構(20)の対応する部分の図面参照符号に「30」を加算し
た図面参照符号を付している。

【００３９】前後方向の傾き調整機構(50)においても、
上下方向の傾き調整機構(20)の場合と同様、モータ(75)
のモータ軸(76)の回転は、平歯車(77)(74)、ウォーム軸
(70)、ウォーム(73)、ウォームホイール(68)および歯車
軸(65)を介して、ねじ部材(57)に伝えられ、ねじ部材(5
7)は、回転により、ねじ穴(56)に沿って前後方向に移動
する。ねじ部材(57)が前後方向に移動することにより、
受圧部(11)がねじ部材(57)と加圧部材(62)に挟まれた状
態で前後方向に移動し、その結果、砥石台(3)が鉛直軸
を中心に傾動して、その前後方向の傾きが調整される。
そして、モータ(75)が停止すると、ねじ部材(57)が停止
して、受圧部(11)がねじ部材(57)と加圧部材(62)に挟ま
れた状態で停止し、砥石台(3)が前後方向に所定の姿勢
に固定される。また、エンコーダ(79)により、常に、モ
ータ(75)の回転位置の絶対値が検出される。

【００４０】図７に示すように、ティルト装置(5)には
モータ制御装置(80)が設けられ、各傾き調整機構(20)(5
0)のモータ(45)(75)およびエンコーダ(49)(79)がモータ
制御装置(80)に接続されている。また、モータ制御装置
(80)には、操作パネル(81)が取付けられている。

【００４１】右側のティルト装置(5)において、砥石(9)
の傾きの調整を行わないときは、各傾き調整機構(20)(5
0)のモータ(45)(75)への通電を停止し、これらのモータ
軸(46)(76)をフリーな状態にしておく。このように各モ
ータ(45)(75)が停止しているときには、前記のように、
ねじ部材(27)(57)も停止しており、受圧部(11)がねじ部
材(27)(57)と加圧部材(32)(62)に挟まれて、加圧部(10)
に対して固定されている。このため、右側の砥石台(3)
がベッド(1)に対して所定の姿勢に固定されている。そ
して、このような状態で、前記のようなワークの研削が
行われる。このとき、ばね(34)(64)の弾性力は加圧部材
(32)(62)および受圧部(11)を介してねじ部材(27)(57)に
伝えられるが、この力は、ねじ部材(27)(57)とねじ穴(2
6)(56)のねじの部分で受けられ、モータ(45)(75)に伝わ
ることはない。このため、ばね定数の大きい皿ばね(34)
(64)を用い、受圧部(11)を大きな力でねじ部材(27)(57)
に押し付けて、剛性を高めることができ、モータ軸(46)
(76)をフリーな状態にしておいても差し支えがない。

【００４２】砥石(9)の傾きの調整を行うときには、操
作パネル(81)から傾きの調整方向と調整量を入力する。
そして、モータ制御装置(80)が、この入力値から、各傾
き調整機構(20)(50)について、モータ(45)(75)の回転方
向と回転量を決め、エンコーダ(49)(79)の出力をフィー
ドバックしながら、モータ(45)(75)を決められた方向に
決められた量だけ回転させる。これにより、前記のよう
に、砥石台(3)の上下方向および前後方向の傾きが調整
され、その結果、ベッド(1)に対する砥石台(3)全体の傾
きが調整される。

【００４３】このように、モータ(45)(75)の回転量を制
御することにより、砥石台(3)の傾きの調整ができるの
で、砥石台(3)のティルト量の数値管理が可能であり、
傾きの調整作業が容易で、熟練を要しない。

【００４４】なお、モータ制御装置(80)にパソコンなど
のコンピュータを接続し、コンピュータから砥石台(3)
の傾きの調整方向および調整量に関するデータをモータ
制御装置(80)に送信し、これに基づいて、モータ制御装
置(80)がモータ(45)(75)を制御するようにすることもで
きる。

【００４５】皿ばね(34)(64)によりねじ部材(27)(57)が
一定方向に付勢されているので、ねじ部材(27)(57)とね
じ穴(26)(56)との間のバックラッシュの影響をなくすこ
とができる。また、ねじ部材(27)(57)とモータ(45)(75)
との間のバックラッシュ、すなわち、ねじ部材(27)(57)
の連結部(27c)と歯車軸(35)(65)のスリット(39)との
間、ウォームホイール(38)(68)とウォーム(43)(73)との
間および２つの歯車(44)(47)(74)(77)の間のバックラッ
シュの影響をなくすために、ねじ部材(27)(57)をいずれ
の方向に移動させる場合も、必ず、モータ(45)(75)を一
定方向に回転させることによりねじ部材(27)(57)を一定
方向に移動させてから、モータ(45)(75)を反対方向に回
転させることによりねじ部材(27)(57)を反対方向に移動
させて位置決めするようになっている。さらに詳しく
は、上下方向の傾き調整機構(20)については、ねじ部材
(27)を上側に移動する場合も下側に移動させる場合も、
たとえば、ねじ部材(27)を一旦下側に移動させてから、
これを上側に移動させて位置決めする。また、前後方向
の傾き調整機構(50)については、ねじ部材(57)を前側に
移動する場合も後側に移動させる場合も、たとえば、ね
じ部材(57)を一旦後側に移動させてから、これを前側に
移動させて位置決めする。

【００４６】前記のようにモータ(45)(75)への通電を停
止して、モータ軸(46)(76)をフリーにしている状態にお
いて、角柱部(40a)(70a)にスパナをかけて、ウォーム軸
(40)(70)を回転させることにより、手動操作で、砥石台
(3)の傾きを調整することもできる。

【００４７】左側のティルト装置(4)についても、上記
と同じことが言える。

【００４８】たとえば、特願平１０−４３８４号に記載
されているように、研削加工後のワークの厚さ方向の断
面形状を測定し、この測定結果の基づいて、１対の砥石
(8)(9)の相対的な傾きの方向と傾きの量を演算し、この
演算結果に基づいて、少なくともいずれか一方のティル
ト装置(4)(5)で砥石台(2)(3)の傾きを調整することによ
り、１対の砥石(8)(9)の相対的な傾きを調整することも
できる。

【００４９】上記実施形態では、１対の砥石台(2)(3)が
いずれもティルト装置(4)(5)によってベッド(1)に固定
されているが、砥石台(2)(3)の一方だけをこの発明によ
るティルト装置によってベッド(1)に固定するようにし
てもよい。その場合、他方は、従来のように手動操作に
よって傾きの調整ができるようにしてもよいし、傾きの
調整ができないようにしてもよい。

【００５０】ティルト装置(4)(5)の各部の構成は、上記
実施形態のものに限らず、適宜変更可能である。

【００５１】上記実施形態では、ティルト装置(4)(5)
は、砥石台(2)(3)の２つの方向の傾きをそれぞれ調整す
ることにより、砥石台(2)(3)の任意の方向の傾きを調整
するようになっているが、用途によっては、ティルト装
置は、砥石台の１つの方向の傾きだけを調整するもので
ある場合もある。その場合、傾き調整機構(20)(50)は１
組だけ設けられる。

【００５２】また、上記実施形態では、モータ(45)(75)
と手動操作のいずれによってもねじ部材(27)(57)を回転
させられるようになっているが、電動モータなどの駆動
機器によってのみねじ部材を自動回転させるようにして
もよいし、手動操作によってのみねじ部材を回転させる
ようにしてもよい。

【００５３】また、この発明は、対向二軸平面研削盤以
外の研削盤にももちろん適用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、この発明の実施形態を示す対向二軸平
面研削盤の正面図である。

【図２】図２は、図１における右側の電動式砥石ティル
ト装置の部分を拡大して示す斜視図である。

【図３】図３は、右側の電動式砥石ティルト装置の部分
の右側面図である。

【図４】図４は、図３のIV−IV線の拡大断面図である。

【図５】図５は、図３のＶ−Ｖ線の拡大断面図である。

【図６】図６は、図３のVI−VI線の拡大断面図である。

【図７】図７は、右側の電動式砥石ティルト装置の主要
部の電気的構成の１例を示すブロック図である。

【符号の説明】

(1) ベッド (2)(3) 砥石台 (4)(5) 電動式砥石ティルト装置 (8)(9) 研削砥石 (10) 加圧部（調整用部材支持部） (11) 受圧部 (26)(56) ねじ穴 (27)(57) 調整ねじ部材 (32)(62) 加圧部材 (34)(64) 皿ばね（弾性部材） (45)(75) ステッピングモータ（電動モータ）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】研削盤において固定部分に傾動自在に支持
   された砥石台を傾動させて固定部分に対する砥石の傾き
   を調整するとともに固定部分に対して砥石台を所望の姿
   勢に固定するための装置であって、固定部分と砥石台の
   いずれか一方に、調整用部材支持部が固定状に設けら
   れ、同他方に、受圧部が、調整用部材支持部との間に固
   定部分に対する砥石台の傾動を妨げない程度の間隔をあ
   けて、固定状に設けられ、調整用部材支持部に、１つの
   貫通状のねじ穴と、このねじ穴にねじはめられて先端部
   が受圧部に接触させられる調整ねじ部材と、この調整ね
   じ部材に対応する加圧部材と、この加圧部材を付勢して
   受圧部に圧接させることにより受圧部を対応する調整ね
   じ部材の先端部に圧接させる弾性部材と、調整ねじ部材
   を回転させるための調整ねじ部材回転手段とが設けられ
   ていることを特徴とする研削盤における砥石ティルト装
   置。
2. 【請求項２】研削盤において固定部分に傾動自在に支持
   された砥石台を傾動させて固定部分に対する砥石の傾き
   を調整するとともに固定部分に対して砥石台を所望の姿
   勢に固定するための装置であって、固定部分と砥石台の
   いずれか一方に、調整用部材支持部が固定状に設けら
   れ、同他方に、受圧部が、調整用部材支持部との間に固
   定部分に対する砥石台の傾動を妨げない程度の間隔をあ
   けて、固定状に設けられ、調整用部材支持部に、互いに
   異なる傾き調整方向を向く２つの貫通状のねじ穴と、こ
   れらのねじ穴にそれぞれねじはめられて先端部が受圧部
   に接触させられる２つの調整ねじ部材と、これらの調整
   ねじ部材にそれぞれ対応する２つの加圧部材と、これら
   の加圧部材をそれぞれ付勢して受圧部に圧接させること
   により受圧部を対応する調整ねじ部材の先端部に圧接さ
   せる２組の弾性部材と、２つの調整ねじ部材をそれぞれ
   回転させるための２組の調整ねじ部材回転手段とが設け
   られていることを特徴とする研削盤における砥石ティル
   ト装置。
3. 【請求項３】調整ねじ部材回転手段が、調整ねじ部材を
   回転させる電動モータを備えていることを特徴とする請
   求項１または２の研削盤における砥石ティルト装置。