JPS643334B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、インダクタンス素子に関し、その目
的とするところは小形、軽量化が容易で且つ高信
頼性及び高量産性をインダクタンス素子の提供に
ある。

近年、ラジオ受信機、テレビジヨン受像機ある
いはビデオテープレコーダ（VTR）等の民生用
電子機器の分野でチツプ部品と呼ばれるリード線
のない部品の小型化が進んでいる。しかしながら
インダクタンス素子に於いては、製法そのものが
従来と変らない為、小形、軽量化、量産性向上等
が困難であつた。なぜならば、インダクタンス素
子は少さな磁性コアに細線を巻回して構成すると
いうものであり、巻線作業が困難になるし、一段
と細い導線を用いる為取扱いが大変で断線等が発
生し易い。いずれにしても、従来法では小さな磁
性コアの製造面と、細い導線の太さと、作業性の
面とから限界があつた。

本発明は、上記欠点を改善しチツプ部品として
好適なインダクタンス素子を提供するものであ
る。

以下、図面を用いて本発明の実施例についてそ
の製法と共に説明しよう。

第１図及び第２図は本発明のインダクタンス素
子の一実施例を示す平面図及びその断面図、第３
図はその製法例を示す。

本発明においては、同図に示す如くフエライト
例えば抵抗率の高いNi−Zn系フエライトからな
る第１の磁性ブロツク１を設け、このブロツク１
の一主面１Ａ上に、一端２ａがブロツク主面１Ａ
の一方の周縁に延在し、他端２がブロツク主面１
Ａの中央に存するように所定の巻数のスパイラル
状溝２を形成する。このスパイラル状溝２の形成
は第３図Ａ及びＢに示すようにブロツク主面１Ａ
上にスパイラル状溝２のパターンを除いてエツチ
ングレジスト３を形成し、フエライトの電解エツ
チングにて形成する。次で第３図Ｃに示す如くエ
ツチングレジスト３を有した状態で、例えば銅の
如き導体４を全面蒸着し、スパイラル状溝２内の
底部全域に亘つて導体４を被着形成して復、第３
図Ｄに示す如く溝２内を残してリフトオフ法によ
りブロツク主面１Ａ上の導体４をエツチングレジ
スト３と共に除去する。しかる後、第３図Ｅに示
す如く蒸着された導体４を種として電気メツキ等
によつてスパイラル状溝２内に選択的に厚い導体
４′を形成する。この場合、導体４′の厚さd₁はス
パイラル状溝２の深さd₂の1/2〜2/3程度に選ぶ。
又、スパイラル状溝２の両端２ａ及び２ｂに対応
する部分には第２図に示すように選択的にクリー
ム半田又はAu−Snの電気メツキ等によりブロツ
ク主面１Ａより突出するような接続導体５を形成
する。

一方、同様のNi−Zn系フエライトからなる第
２の磁性ブロツク６を設け、このブロツク６の一
主面６Ａに、一端７ａがブロツク主面１ａの他方
の周縁に延在し、他端７ｂが前記スパイラル状溝
２の他端２ｂに対応する如きブロツク主面６Ａの
中央に位置する溝７を形成する。そして、この溝
７内に主面６Ａより突出するような接続導体８を
形成する。この溝７及び接続導体８の形成はブロ
ツク１に対する場合と同様の製法を用い得る。し
かる後に、両ブロツク１及び６をその両主面１Ａ
及び６Ａが対向するように、即ち中央の接続導体
５及び８が対接するように配し、両主面１Ａ及び
６Ａ間に例えばエポキシ接着剤又は低融点ガラス
を介して加圧、加熱で接合する。このときブロツ
ク６側の接続導体８はブロツク１側のスパイラル
状溝２を横切るも、その溝内の導体４′とは接触
されない。そして、接合されたブロツク体の両側
面に、その側面に臨む夫々の接続導体５及び８に
接続する如く導電ペースト（高温焼成）等による
外部電極９及び１０を夫々形成し、第１図及び第
２図に示すようにコイル導体４′の形成されたイ
ンダクタンス素子１１を得る。

第４図及び第５図は本発明の他の実施例で、特
に第１及び第２の磁性材料ブロツクの夫々にスパ
イラル状溝を形成してコイル導体の巻数の増大を
図つた場合である。即ち、本例は同図示の如く、
例えば高抵抗率のNi−Zn系フエライトからなる
第１の磁性材料ブロツク１の一主面１Ａ上に、一
端２ａがブロツク主面１Ａの一方の周縁に延在
し、他端２ｂがブロツク主面１Ａの中央に存する
スパイラル状溝２を形成し、このスパイラル状溝
２内に第３図の製法をもつてコイル導体４′を形
成し、且つ両端２ａ及び２ｂにおいて主面１Ａ上
に突出する如き接続導体５を形成する。一方、同
様に第２の磁性材料ブロツク６の一主面６Ａに、
その一端１２ａが主面６Ａの一方の周縁に延在
し、他端１２ｂが主面６Ａの中央に存するよう
に、上記溝２と同方向のスパイラルをなすスパイ
ラル状溝１２を形成し、このスパイラル状溝１２
内に第３図の製法をもつてコイイル導体４′を形
成し、且つ両端１２ａ及び１２ｂにおいて主面６
Ａに突出する如く接続導体８を形成する。次で、
両ブロツク１及び６を互の中央の接続導体５及び
８が互に接続されるように対向し、エポキシ接着
剤又は低融点ガラス等を介して合体する。しかる
後、接合されたブロツク体の両側面に接続導体５
及び８を接続する如く例えば導電ペーストによる
外部電極９及び１０を形成し目的のインダクタン
ス素子１３を構成する。

尚、上例では磁性材料ブロツクとして抵抗率の
高いNi−Zn系フエライトを用いたが、その他例
えばMn−Zn系フエライトなども用いることがで
きる。このMn−Zn系フエライトを用いるときは
第３図のスパイラル状溝２（及び溝７，１２も同
様）をエツチングで形成して後、全面にSiO又は
SiO₂等の絶縁膜を蒸着、スパツタ等にて形成し
てから、全面に導体４の蒸着を行うようになす。
その後の工程は同じである。

又、製造に際しては、夫々１枚のフエライト基
板において多数個のブロツク１及び６が多量連続
処理で形成され、エツチングした溝内に導体を形
成して後、両基板を接合合体し、所定のスクライ
プ線に沿つて切断することにより、多数個のイン
ダクタンスチツプが同時に得られる。ここで、両
基板の位置合せを容易にするために、両基板の大
きさ（面積）を変えて各基板パターンが見えるよ
うにして行う。又、スクライブの時も同様にその
パターンのスクライブ線に沿つて切断する。

両磁性材料ブロツク１及び６としては、夫々材
質を任意に変えることが可能である。例えば一方
のブロツクにはNi−Zn系フエライトを用い、他
方のブロツクにはMn−Zn系フエライトを用いる
ことができ、之によつて温度によるインダクタン
スの変化が抑制できる。

エツチングによるスパイラル状溝２，１２のパ
ターンは、ピツチ50μｍ、溝巾30μｍ、溝深さ30
〜50μｍが得られ、微細で多巻化が容易である。
チツプサイズは、巾3.0mm、長さ5.0mm、厚さ1.5mm
の中に34ターンのコイル導体が形成され得る。

又、第４図のインダクタンス素子の製造に際し
ては、第６図に示すように１枚のフエライト基板
１４上に多数の同一のスパイラル状溝２を形成
し、このスパイラル状溝２内に上述した如き方法
で導体を形成して後、スクライブ線１５に沿つて
切断し、そのうちの２個を互に重ね合せる如く接
合することによつても容易に得られる。

上述せる本発明構成によれば、磁性材料チツプ
内に微小パターンのコイル導体が形成できるの
で、小形、軽量のインダクタンス素子が得られ、
所謂インダクタンス素子のチツプ部品として好適
ならしめるものである。しかも、準閉磁路構造で
あるため磁束漏れも少なく外部に与える影響が少
なく、又コイル導体４′が露出されないので信頼
性が高い。又コイル導体４′が前述のように形成
されるので特性のバラツキが少なく、又コイル導
体４′が帯状なので高周波損失の少ない構造とな
る。

さらに、両ブロツク１及び６を互に異なる材質
で構成できるので温度特性のよい複合型のインダ
クタンス素子が容易に得られる。又、スパイラル
状溝がエツチング加工で形成されるので、加工歪
が生ぜず、透磁率μの劣化がない。さらに又、多
数連続処理により１枚の磁性基板よりインダクタ
ンス素子が多数個同時に作れるので、コストが低
くなり且つ量産性が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるインダクタンス素子の一
実施例を示す平面図、第２図はそのＡ−Ａ線上の
断面図、第３図はその製法例を示す工程順の断面
図、第４図は本発明の他の実施例を示す平面図、
第５図はそのＢ−Ｂ線上の断面図、第６図は本発
明の他の製法例の説明に供する平面図である。 １は第１の磁性材料ブロツク、２はスパイラル
状溝、４′はコイル導体、６は第２の磁性材料ブ
ロツク、７は溝、８は導体である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ２つの磁性材料ブロツクからなり、第１の磁
   性材料ブロツクの主面に該主面の周縁に延在する
   スパイラル状溝が形成され、該スパイラル状溝内
   に第１の導体が設けられてなり、第２の磁性材料
   ブロツクの主面には前記スパイラル状溝の終点に
   対応する位置から主面の周縁に到る溝が形成さ
   れ、該溝内に第２の導体が設けられてなり、前記
   両主面が対向合体して前記第１及び第２の導体が
   コイルを構成する様になされたインダクタンス素
   子。