JPH0281310A

JPH0281310A - 薄膜磁気ヘッド

Info

Publication number: JPH0281310A
Application number: JP23244388A
Authority: JP
Inventors: Yukiko Ogura; 小倉　由紀子; Masaaki Kurebayashi; 槫林　正明; Masakatsu Saito; 斉藤　正勝; Toshiyuki Miura; 三浦　敏之
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1988-09-19
Filing date: 1988-09-19
Publication date: 1990-03-22

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、薄膜磁気ヘッドに係り、特にＶＴＲ等に好的
な薄膜磁気ヘッドに関する。

〔従来の技術〕

従来の薄膜磁気ヘッドの例としては特開昭５５−８４０
１９号公報記載のものがあげられる。

上記従来の薄膜磁気ヘッドは、コイル引き出し部と信号
線の接続は、信号線をコイル引き出し部に形成されたス
ルーホール部にハンダ付けすることにより行なっていた
。しかし、ハンダ付けの際、コイル引き出し部がはがれ
やすい点については、配慮されていなかった。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、コイル引き出し部と信号線をハンダで
接続する際、ハンダ付けの熱によってコイル引き出し部
がはがれるという問題があった。

このことを図面を用いて説明する。

第１１図は、上記従来技術における簿膜磁気ヘッドの部
分断面図であって、６は絶縁材、８ａは第１層目信号コ
イル、９ａは第２層目信号コイル。

８ｂ、９ｂはコイル引き出し部、７Ｃはスルーホールで
ある。

同図において、コイル引き出し部８ｂ、９ｂは、信号コ
イルＢａｒ　９ａを形成する時、同時に形成されるため
、信号コイルと同じ膜厚しか得られず。

その後、スルーホール７Ｃの形成によって、さらにこの
膜厚より薄くなってしまうためである。

本発明は、信号コイルの他層にコイル引き出し部を形成
し、膜厚を厚くすることを目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

コイル引き出し部と信号線の接続の際ハンダ付けの熱で
コイル引き出し部がはがれるのは、コイル引き出し部が
薄いため、また、絶縁材で囲まれた構造になっており接
着力が弱いためである。

従って、ハンダ付けの熱ではがれないためには、コイル
引き出し部を厚く、かつ絶縁層部外に形成すればよい。

第２図は本発明の詳細な説明するための部分断面図であ
って、前記第１１図と同符号は同一部分を示し、１は非
磁性基板、２ｂは該基板に形成した溝、５は導体層であ
る。

同図において、非磁性基板内の溝２ｂに導体層５を成膜
し、信号コイル及び絶縁層形成後、導体層５まで達する
ようにスルーホール７ｃを形成する。ここに信号線接続
時のハンダを埋め込むことによって、厚い膜のコイル引
き出し部が得られ、また、非磁性基板内に形成されるた
め付着力も良くなる。。

即ち、本発明の上記目的は、コイル引き出し部を非磁性
基板内に形成することにより、達成される。

〔作　用〕

コイル引き出し部を非磁性基板内に形成するので、膜厚
が厚くでき、また周囲との付着力が良くなるため、ハン
ダ付けの熱でコイル引き出し部がはがれることはない。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。

第１図は本発明による薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す
断面構造図であって、１は非磁性基板、２ａ、２ｂは該
基板に形成した溝、３は下部磁気コア、４は上部磁気コ
ア、５はコイル引き出し部となる導体層、６は絶縁材、
７ａ〜７ｃはスルーホール、８ａ、９ａは信号コイル、
８ｂ、９ｂは信号コイル端、１０はギャップスペーサと
なる非磁性層である。

同図において、磁気コアは、非磁性基板１に形成された
溝２ａに埋め込まれた下部磁気コア３と、絶縁層信号コ
イルを介して形成された上部磁気コア４から成る。上下
の磁気コア３，４は、絶縁材６に開けられたスルーホー
ル’ｉａ、７ｂ、及びフロント部スルーホール７ａに形
成された非磁性層１０を介して接続しており、非磁性層
１０はギャップスペーサ材であり作動ギャップを形成し
ている。

コイル引き出し部は、非磁性基板１に形成された溝２ｂ
に導体層を埋め込むことによって形成されている。

信号コイルは２ＪｅＩスパイラル構造であり、第１層目
３ターン、第２層目２ターンである。第１層目と第２層
目のコイルは、第１層目コイル上の絶縁膜に開けられた
スルーホールを介して接続されている。非磁性基板内及
び信号コイル形成時に形成されるコイル引き出し部５．
８ｂ、９ｂは絶縁膜及び信号コイル端内に開けられたス
ルーホール７ｃに、信号線接続のためのハンダを埋め込
むことによって接続される。なお、スルーホール７Ｃは
、少なくとも非磁性基板内のコイル引き出し部５に達し
ていれば良い。

上記実施例では、磁気コア材にはＧｏ−Ｎｂ−Ｚｒから
成るアモルファス合金をスパッタリングにより形成した
ものを用いている。コア材としては、これに限らず、他
の軟磁性材料で構成できる。

具体的には、センダスト合金、パーマロイ合金等が使用
可能である。

非磁性基板内のコイル引き出し部５には、Ｃｕを蒸着に
より形成したものを用いたが、導電性がありハンダとの
接着の容易な材料であれば、コア材と同一のものやその
他の材料でも良い。

信号コイルには、接着層のＣｒと主導体部のＣＵから成
るＣ　ｒ　−Ｃｕ　−Ｃｒ膜を蒸着により形成したもの
を用いている。コイル導体の膜厚は３μ−である、導体
としてはこの他のＡ＄、ＡＱ等。

あるいはそれらの合金の使用が考えられる。

絶縁材としては、Ｓｉｎ、膜をスパッタリングにより形
成したものを用いており、この他の材料としてはフォル
ステライト等のセラミックス系、ＰＩＱ等の材料でも良
い。

本実施例によれば、膜厚の厚い、周囲との接着作用の良
いコイル引き出し部を得ることができる。

第３図は、本発明の他の実施例によるコイル引き出し部
の断面図である。

この実施例では、信号線接続用スルーホール７Ｃは、従
来の信号コイル形成時に形成されていたコイル引き出し
部８ｂ、９ｂを貫通しており、ここにハンダを埋め込む
際、非磁性基板内及び信号コイル端のコイル引き出し部
５，８ｂ、９ｂが全て同時に接続されるため、信号コイ
ル端のコイル引き出し部同志８ｂ、９ｂをあらかじめ接
続する必要がない。

また、同様な方法を用いることにより、第１図のコイル
同志の接続（８ａ、９ａ）部のスルーホール形成も必要
なく、工程短縮の効果がある。

また、第４図では第３図に加えて、絶縁層がハンダと接
着しにくい点をカバーするために、スルーホール７Ｃに
導体層１１を成膜した。導体層にはＣｕを蒸着により形
成したものを用いたが、これに限らずコア材やその他の
材料でも良い。

これら第３図、第４図の実施例によれば、信号コイル端
の接続工程が減り、また、信号線接続用スルーホール部
でのハンダの接続作用を良くすることができる。

以下、本発明の他の実施例を図面を用いて説明する。

第５図、第７図、第９図は本発明による磁気ヘッドの平
面図であり、第６図、第８図、第１０図はそれぞれ上記
図のＡ−Ａ′断面図である。前記第１図と同符号は同一
部分を示す。

第５図実施例は、非磁性基板内のコイル引き出し部用の
溝をイオンエツチングにより形成した例である。本実施
例において、磁気ヘッドをチップに加工する際第５図Ａ
−Ａ゛部のようなコイル引き出し部５上で切断すること
により、第５図Ｂ方向から見た磁気ベツドチップ測面に
第６図に示すようにコイル引き出し部５が露出する。

第７図実施例は、非磁性基板内のコイル引き出し部用の
溝を機械加工により形成した例である。

第５図実施例と同様に、第７図Ａ−Ａ′部で切断するこ
とにより、第７図Ｂ方向から見た磁気へラドチップ測面
に第８図に示すようにコイル引き出し部５が露出する。

第９図実施例では、信号コイルを１層スパイラル構造と
し、第７図同様コイル引き出し部用の溝を機械加工によ
り形成し、この時溝の１つを信号コイルの下部に形成し
た例である。第５図実施例と同様に、第９図Ａ−Ａ’部
で切断することにより、第９図Ｂ方向から見た磁気ヘッ
ドチップ測面に第１０図に示すようにコイル引き出し部
５が露出する。

上記第５図〜第１０図の実施例によれば、従来、磁気ヘ
ッドの上側で行なっていたコイル引き出し部と信号線の
接続を、磁気ヘッド測面で接続することができる。また
、第７図〜第１０図実施例によれば、コイル引き出し部
用の溝を機械加工により形成するため、より深い溝を形
成でき、厚いコイル引き出し部が得られる。さらに第９
図、第１０図実施例によれば、コイル引き出し部を信号
コイルの下部に形成するため、磁気ヘッドの面積を小さ
くすることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、膜厚の厚い、周
囲との接着作用の良いコイル引き出し部が得られ、ハン
ダ付けによる不良を減少できるので、歩留まりの増加に
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す薄膜磁気ヘッドの断面
図、第２図は第１図のコイル引き出し部の部拡大図、第
３図〜第１０図は本発明による他の実施例を示し、第３
図、第４図はコイル引き出し部の拡大図、第５図、第７
図、第９図は薄膜磁気ヘッドの平面図、第６図は第５図
のＡ−Ａ′部断面図、第８図は第７図のＡ−Ａ′部断面
図、第１０図は第９図のＡ−Ａ”部所面図、第１１図は
従来技術による薄膜磁気ヘッドの部分断面図である。１・・・非磁性基板、３・・・下部磁気コア、４・・・
上部磁気コア、５・・・コイル引き出し部、６・・・絶
縁材、７ａ〜７ｃ・・・スルーホール、８ａｖ　９ａ・
・・信号コイル、１０・・・ギャップスペーサ。

Claims

【特許請求の範囲】

１、非磁性基板上に形成された下部磁気コアと、下部磁
気コア上に形成された信号コイル、及びその周囲の絶縁
材と、作動ギャップ形成のためのギャップスペーサ材を
介して形成される上部磁気コアと、信号コイル両端に設
けられた信号線接続用の信号コイル引き出し部とから成
る薄膜磁気ヘッドにおいて、前記信号線接続用のコイル
引き出し部を非磁性基板内に埋め込むことを特徴とする
薄膜磁気ヘッド。