JPS6330351U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6330351U JPS6330351U JP12251386U JP12251386U JPS6330351U JP S6330351 U JPS6330351 U JP S6330351U JP 12251386 U JP12251386 U JP 12251386U JP 12251386 U JP12251386 U JP 12251386U JP S6330351 U JPS6330351 U JP S6330351U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion beam
- target
- beam sputtering
- substrate
- sputtered
- Prior art date
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- Granted
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- 238000001659 ion-beam spectroscopy Methods 0.000 claims description 5
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るイオンビ
ームスパツタリング装置を示す概略図である。第
２図は、従来のイオンビームスパツタリング装置
の一例を示す概略図である。 ２……真空容器、６……イオン源、８，８ａ〜
８ｄ……イオンビーム、１０……ターゲツト、１
４……基板、１８〜２０……遮蔽板。
ームスパツタリング装置を示す概略図である。第
２図は、従来のイオンビームスパツタリング装置
の一例を示す概略図である。 ２……真空容器、６……イオン源、８，８ａ〜
８ｄ……イオンビーム、１０……ターゲツト、１
４……基板、１８〜２０……遮蔽板。
Claims (1)
- 真空容器内でターゲツトにイオンビームを照射
してターゲツトからスパツタされる粒子を基板上
に堆積されるイオンビームスパツタリング装置に
おいて、ターゲツトの周辺部に、ターゲツトに当
たらないイオンビームを受け止める遮蔽板を、そ
れからスパツタされる粒子が基板の方に直接向か
わないような角度で設けていることを特徴とする
イオンビームスパツタリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12251386U JPH0734925Y2 (ja) | 1986-08-09 | 1986-08-09 | イオンビ−ムスパツタリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12251386U JPH0734925Y2 (ja) | 1986-08-09 | 1986-08-09 | イオンビ−ムスパツタリング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6330351U true JPS6330351U (ja) | 1988-02-27 |
| JPH0734925Y2 JPH0734925Y2 (ja) | 1995-08-09 |
Family
ID=31012769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12251386U Expired - Lifetime JPH0734925Y2 (ja) | 1986-08-09 | 1986-08-09 | イオンビ−ムスパツタリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0734925Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-08-09 JP JP12251386U patent/JPH0734925Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0734925Y2 (ja) | 1995-08-09 |
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