JPS63109321U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63109321U JPS63109321U JP20267086U JP20267086U JPS63109321U JP S63109321 U JPS63109321 U JP S63109321U JP 20267086 U JP20267086 U JP 20267086U JP 20267086 U JP20267086 U JP 20267086U JP S63109321 U JPS63109321 U JP S63109321U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- magnetic recording
- generation mechanism
- producing
- sputtering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
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- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す正面図、第２図
はその側面図である。第３図は本考案の他の実施
例を示す正面図、第４図はその側面図である。 １１……スパツタ室、１３……基板、２１，２
３……ターゲツト、４１……フイラメント、４７
……電極、５１……イオン源。
はその側面図である。第３図は本考案の他の実施
例を示す正面図、第４図はその側面図である。 １１……スパツタ室、１３……基板、２１，２
３……ターゲツト、４１……フイラメント、４７
……電極、５１……イオン源。
Claims (1)
- スパツタによりマグネトプラムバイト型酸化物
磁性体からなる薄膜を形成する磁気記録媒体の作
成装置において、対向ターゲツトスパツタ装置に
イオン発生機構または電子発生機構を設け、ター
ゲツトからスパツタされて飛翔する粒子にイオン
または電子を照射して、基板に堆積させるように
したことを特徴とする磁気記録媒体作成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20267086U JPS63109321U (ja) | 1986-12-29 | 1986-12-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20267086U JPS63109321U (ja) | 1986-12-29 | 1986-12-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63109321U true JPS63109321U (ja) | 1988-07-14 |
Family
ID=31167274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20267086U Pending JPS63109321U (ja) | 1986-12-29 | 1986-12-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63109321U (ja) |
-
1986
- 1986-12-29 JP JP20267086U patent/JPS63109321U/ja active Pending
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