JPS62248123A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は薄膜型の磁気記録媒体及びその製造方法に関す
る。

（従来の技術） 磁気テープ等の磁気記録媒体として、高分子フィルム等
の絶縁性基体にＦｅやｃｏ、Ｎｉ等の強磁性金属を斜め
方向から真空蒸着等し、強磁性金属１ｌｉＩ躾を形成し
たｉｌ躾型が開発され、従来の塗布型に代わり一部用い
られている。

ところで、従来の薄膜型の磁気テープ等は、強磁性金属
薄膜の磁化容易軸が、通常、基体の表面に対し斜めにか
つ基体の走行方向を含む垂直な而に対して平行になって
いる。

（発明が解決しようとする問題点） しかし、磁気テープ等から情報を再生等する磁気ヘッド
は、ｕ体の走行方向に対して斜めの軌跡をＩｔｓき、磁
化容易軸の基体表面上の成分の方向とずれており、その
ために、雑音が発生し易い欠点があった。

本発明は、以上の欠点を改良し、再生の際等の雑音を防
止し、忠実に信号を再生等し・〕る磁気記録媒体とその
製造方法の提供を目的とする。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、上記の目的を達成するために、絶縁性基体に
強磁性金属薄膜を形成した磁気記録媒体に４３いて、磁
化容易軸が絶縁性基体の垂直面に対して所定の角度で傾
斜している強磁性金属ＷＩ躾を有することを特徴とりる
磁気記録媒体を提供するものである。

本発明は、また、絶縁性基体を走行さＶながら、蒸発源
から蒸発した強磁性金属を該絶縁性基体に付着して強磁
性金属薄膜を形成する磁気記録媒体の製造方法において
、絶縁性基体の垂直面に対して所定の角度で傾斜した方
向から、素粒子を蒸着中の強磁性金属に照射することを
特徴とする磁気記録媒体の製造方法を提供するものであ
る。

本発明は、さらに、絶縁性基体を走行さＶながら、蒸発
源に電子ビームを照射し強磁性金属を蒸発さびて該絶縁
性基体に強磁性金属薄膜を形成する磁気記録媒体の製造
方法において、絶縁性基体の垂直面に対して所定の角度
で傾斜した方向から、電子ビームを蒸着源に非連続的に
照射することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法を提
供するものである。

、（作用） 本発明によれば、磁化容易軸の基体表面上の成分が絶縁
性基体の走行方向を含む垂直面に対して所定の角度で傾
斜しており、磁気ヘッドの移動方向と平行あるいはそれ
に近くなり、従って、雑音が減少し信号を忠実に再生等
できる。

（実施例） 以下、本発明を実施例に基づいて説明する。

第１図に示す通り、帯状のポリエステルフィルム等の高
分子フィルムを絶縁性基体１を円筒状の冷却キャン２の
周側面に沿りて走行さ才る。冷却キャン２の下方でその
中心線からズした位置には蒸着ｗＡ３が配置されている
。蒸着源３には、ＦｅやＧｏ、Ｎｉあるいはそれらの合
金等からなる強磁性金属４が収納されている。５は、照
射源であり、電子やイオン、中性粒子、ラジカル粒子等
の粒子を蒸着中の強磁性金属４に照射するものである。

ｔなりら、蒸着源３から強磁性金属４を蒸発し、その蒸
発中の強磁性金属４に照射′Ｒ５から電子等を照射し、
走行中の基体１にその走行方向を含む垂直面に対して斜
めに強磁性金１ｉｉ４を付着し、強磁性金属薄膜を基体
１表面に形成する。この強磁性金属薄膜は磁化容易軸が
基体１の走行方向を含む垂直面に対して任意の角度で傾
斜している。従って、磁気ヘッドの移動方向と強磁性金
属ＦＩＪ膜のＩＨし容易軸の基体表面上の成分が平行あ
るいはそれに近くなるために、従来に比べて雑音が低下
し信号の再生等の精瓜が向上する。

また、第２図は、もう一つの本発明の製造方法を説明す
るための図である。円筒状の冷却キャン６の周側面に沿
って高分子フィルム等の帯状の絶縁性基体７を走行し、
冷却キャン６の真下に配置され、ＦｅＪｃ′ｋＣｏ、Ｎ
ｉ等の強磁性金属が収納された蒸発源７に、基体７の走
行方向を含む垂直面に対して任意の角度で照射源８から
電子ビームを断続的に照射する。蒸発１１ｉ７に、この
方向から電子ビームを照射すると、第３図に示す通り、
強磁性金属９の一部が盛り上がり、それが壁となって強
磁性金属９は基体７の走行方向を含む垂直面に対して斜
めに蒸発し、基体１に蒸着する。すなわち、基体７に形
成された強磁性金属ａＢｔｊ！の磁化容易軸は、基体７
の走行方法を含む垂直面に対して任意の角度で傾斜する
。

なお、第２図の方法により、Ｎ＋　−Ｇｏ合金をポリエ
ステルフィルムに、このフィルムの走行方向を含む垂直
面に対して色々な角度で蒸着して強磁性金属薄膜を形成
し、角度Ｏ°を出力Ｏとした場合の相対出力を求めたと
ころ第４図に示ず通りのグラフが得られた。ビデオトラ
ック角度は４゜５４′とする。このグラフから明らかな
通り、ビデオトラック角度と蒸着角度が一致する場合、
すなわら、磁化容易軸の基体表面上の成分が磁気ヘッド
の移動方向と平行となる場合が最も出力が高く、精瓜が
向上している。

（発明の効果） 以上の通り、本発明によれば、強磁性金属１ｔｌ膜の磁
化容易軸の基体表面上の成分を、磁気ヘッドの移動方向
と１１行にあるいはそれに近い方向にできるため、雑音
が少なく再生の信号等の１！度の高い磁気記録媒体及び
その製造方法が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の機構図、第２図は他の本発明
の実施例の機構図、第３図は第２図の蒸発源の断面図、
第４図は第１図の方法により製造した磁気記録媒体の蒸
着角度を変えた場合の相対出力のグラフを示す。 １．７・・・絶縁性基体、　４．９・・・強磁性金属、
５．８・・・照射源。 第１図 か 仲 Ｓ　　　第２図 句 弗 第３図 第４図 ０　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１（
Ｊ内　度（ｄｅｇ） 手続補正出（方式） １、事件の表示 昭和６０年特許願第２５５（３２５号 ２、発明の名称 磁気記録媒体及びその製造方法 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 住所　東京部品用区西五反田−丁目３１番１ｆ′３４、
補正命令の日付 図面の第１図及び第２図を別紙の通りに補正する。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）絶縁性基体に強磁性金属薄膜を形成した磁気記録
   媒体において、磁化容易軸が絶縁性基体の走行方向を含
   む垂直面に対して所定の角度で傾斜している強磁性金属
   薄膜を有することを特徴とする磁気記録媒体。
2. （２）絶縁性基体を走行させながら、蒸発源に電子ビー
   ムを照射し強磁性金属を蒸発させて該絶縁性基体に強磁
   性金属薄膜を形成する磁気記録媒体の製造方法において
   、絶縁性基体の走行方向を含む垂直面に対して所定の角
   度で傾斜した方向から、電子ビームを蒸発源に非連続的
   に照射することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
3. （３）絶縁性基体を走行させながら、蒸発源から蒸発し
   た強磁性金属を該絶縁性基体に付着して強磁性金属薄膜
   を形成する磁気記録媒体の製造方法において、絶縁性基
   体の走行方向を含む垂直面に対して所定の角度に傾斜し
   た方向から、粒子を蒸着中の強磁性金属に照射すること
   を特徴とする磁気記録媒体の製造方法。