JPS6387760U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6387760U JPS6387760U JP18181086U JP18181086U JPS6387760U JP S6387760 U JPS6387760 U JP S6387760U JP 18181086 U JP18181086 U JP 18181086U JP 18181086 U JP18181086 U JP 18181086U JP S6387760 U JPS6387760 U JP S6387760U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evacuation
- vacuum
- ion pump
- sputter ion
- evacuation device
- Prior art date
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- Pending
Links
- 108010083687 Ion Pumps Proteins 0.000 claims description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
Description
第１図は本案の一実施例の電子顕微鏡の排気系
の構成図、第２図は従来装置の電子顕微鏡の排気
系の構成図を示す。 １…電子鏡照射系、２…真空バルブ、３…イオ
ンポンプ、４…真空バルブ、５…ターボ分子ポン
プ、６…真空バルブ、７…ロータリーポンプ、８
…試料室、９…励磁コイル、１０…対物レンズ、
１１…真空バルブ、１２…真空バルブ。
の構成図、第２図は従来装置の電子顕微鏡の排気
系の構成図を示す。 １…電子鏡照射系、２…真空バルブ、３…イオ
ンポンプ、４…真空バルブ、５…ターボ分子ポン
プ、６…真空バルブ、７…ロータリーポンプ、８
…試料室、９…励磁コイル、１０…対物レンズ、
１１…真空バルブ、１２…真空バルブ。
Claims (1)
- スパツターイオンポンプと予備排気用真空ポン
プを備えた荷電粒子線装置用真空排気装置におい
て、スパツターイオンポンプの高真空側引口部と
低真空側予備排気口引口部を前記スパツターイオ
ンポンプ容器を介して２ケ所設け排気装置に装着
したことを特徴とする荷電粒子線装置等の真空排
気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18181086U JPS6387760U (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18181086U JPS6387760U (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6387760U true JPS6387760U (ja) | 1988-06-08 |
Family
ID=31127022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18181086U Pending JPS6387760U (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6387760U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017016818A (ja) * | 2015-06-30 | 2017-01-19 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡 |
-
1986
- 1986-11-28 JP JP18181086U patent/JPS6387760U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017016818A (ja) * | 2015-06-30 | 2017-01-19 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡 |