JPH033438U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH033438U JPH033438U JP6312889U JP6312889U JPH033438U JP H033438 U JPH033438 U JP H033438U JP 6312889 U JP6312889 U JP 6312889U JP 6312889 U JP6312889 U JP 6312889U JP H033438 U JPH033438 U JP H033438U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- clean bench
- air intake
- performance filter
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例を示す略図、第2図
は従来のクリーンベンチ用真空庫とその付属設備
の構成を示す略図である。 1,20……真空庫、2,23……真空ポンプ
、3,24……排気管路、4,6,25,26…
…電磁弁、5,27……吸気管路、8,28……
空気取り入れ口、16……高性能フイルター。
は従来のクリーンベンチ用真空庫とその付属設備
の構成を示す略図である。 1,20……真空庫、2,23……真空ポンプ
、3,24……排気管路、4,6,25,26…
…電磁弁、5,27……吸気管路、8,28……
空気取り入れ口、16……高性能フイルター。
Claims (1)
- 真空庫付きクリーンベンチにおいて、真空庫へ
の空気取り入れ口をクリーンベンチの高性能フイ
ルターの直下に開口させたことを特徴とする真空
庫を有するクリーンベンチ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6312889U JPH0515945Y2 (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6312889U JPH0515945Y2 (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH033438U true JPH033438U (ja) | 1991-01-14 |
JPH0515945Y2 JPH0515945Y2 (ja) | 1993-04-27 |
Family
ID=31592901
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6312889U Expired - Lifetime JPH0515945Y2 (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0515945Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-05-30 JP JP6312889U patent/JPH0515945Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0515945Y2 (ja) | 1993-04-27 |