JPS6285925U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6285925U JPS6285925U JP17730985U JP17730985U JPS6285925U JP S6285925 U JPS6285925 U JP S6285925U JP 17730985 U JP17730985 U JP 17730985U JP 17730985 U JP17730985 U JP 17730985U JP S6285925 U JPS6285925 U JP S6285925U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- film
- target
- forming substance
- baffle plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims 1
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- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
第１図は本考案の原理を説明する図、第２図イ
，ロは本考案の実施例を説明する図、第３図イ，
ロは本考案の別の実施例を説明する図、第４図は
従来のマスクによる成膜説明する図、第５図イ，
ロはプラズマ入射角を説明する図、第６図はトラ
ツク１周の出力状態を示す図である。 図において、１，８はマスク、２は支持部材、
３はターゲツト、４は被成膜物質、５は溶解粒子
、６は邪魔板、８はマスク、９は板を示す。
，ロは本考案の実施例を説明する図、第３図イ，
ロは本考案の別の実施例を説明する図、第４図は
従来のマスクによる成膜説明する図、第５図イ，
ロはプラズマ入射角を説明する図、第６図はトラ
ツク１周の出力状態を示す図である。 図において、１，８はマスク、２は支持部材、
３はターゲツト、４は被成膜物質、５は溶解粒子
、６は邪魔板、８はマスク、９は板を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 被成膜物質４が放電源又は蒸発源のターゲツト
３前を通過し、記録薄膜を真空成膜する際に用い
るマスクであつて、 該マスクを前記ターゲツト３上に配置し、前記
被成膜物質４への斜めからの入射成分を除き、垂
直成分のみを得るような邪魔板６を有する形状と
したことを特徴とする記録媒体作成用マスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17730985U JPS6285925U (ja) | 1985-11-18 | 1985-11-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17730985U JPS6285925U (ja) | 1985-11-18 | 1985-11-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6285925U true JPS6285925U (ja) | 1987-06-01 |
Family
ID=31118392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17730985U Pending JPS6285925U (ja) | 1985-11-18 | 1985-11-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6285925U (ja) |
-
1985
- 1985-11-18 JP JP17730985U patent/JPS6285925U/ja active Pending
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