JPS6364769U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6364769U JPS6364769U JP15577886U JP15577886U JPS6364769U JP S6364769 U JPS6364769 U JP S6364769U JP 15577886 U JP15577886 U JP 15577886U JP 15577886 U JP15577886 U JP 15577886U JP S6364769 U JPS6364769 U JP S6364769U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- permanent magnet
- target
- magnetic field
- back side
- generating means
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 3
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図、第３図、第４図は第１図主要部の部分平面図
、第５図は異なる実施例を説明する断面図、第６
図、第７図、第８図は異なる実施例を説明する部
分平面図、第９図は異なる実施例を説明する断面
図である。 １…真空容器、２…ターゲツト、６…基板、４
…第１の永久磁石、７…第２の永久磁石、８…第
３の永久磁石。
図、第３図、第４図は第１図主要部の部分平面図
、第５図は異なる実施例を説明する断面図、第６
図、第７図、第８図は異なる実施例を説明する部
分平面図、第９図は異なる実施例を説明する断面
図である。 １…真空容器、２…ターゲツト、６…基板、４
…第１の永久磁石、７…第２の永久磁石、８…第
３の永久磁石。
Claims (1)
- 気密保持された真空容器内部に、磁性材等の成
膜材料から成るターゲツトと、単数あるいは複数
の基板を対向配置し、ターゲツト背面に永久磁石
から成る第１の磁場発生手段を設け、これによつ
てターゲツト前面にマグネトロン磁場領域を形成
する方式であり、前記基板面に一方向磁場を印加
する第２の磁場印加手段を設けたスパツタ装置に
おいて、基板からみてターゲツトと反対側に永久
磁石から成る第３の磁場発生手段を配置し、その
形状はターゲツト背面の第１の永久磁石とほぼ相
似で、基板からみた極性がターゲツト背面の第１
の永久磁石のそれとは反転していることを特徴と
するスパツタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15577886U JPS6364769U (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15577886U JPS6364769U (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6364769U true JPS6364769U (ja) | 1988-04-28 |
Family
ID=31076787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15577886U Pending JPS6364769U (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6364769U (ja) |
-
1986
- 1986-10-13 JP JP15577886U patent/JPS6364769U/ja active Pending