JPS63191426U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63191426U JPS63191426U JP8004387U JP8004387U JPS63191426U JP S63191426 U JPS63191426 U JP S63191426U JP 8004387 U JP8004387 U JP 8004387U JP 8004387 U JP8004387 U JP 8004387U JP S63191426 U JPS63191426 U JP S63191426U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magneto
- optical recording
- plasma
- recording medium
- manufacturing apparatus
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
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- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims 1
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- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
第１図はこの考案の実施例を示す断面図、第２
図は光磁気記録媒体の拡大断面図である。 １……スパツタ生成室、２……真空室、３……
プラズマ発生容器、６……アノード、７……フイ
ラメント、８……引出用の電極類、９……ターゲ
ツト、２１……基板、２４……光磁気記録膜。
図は光磁気記録媒体の拡大断面図である。 １……スパツタ生成室、２……真空室、３……
プラズマ発生容器、６……アノード、７……フイ
ラメント、８……引出用の電極類、９……ターゲ
ツト、２１……基板、２４……光磁気記録膜。
Claims (1)
- イオンビームを発生するためのプラズマを生成
するプラズマ生成室と、前記イオンビームが照射
される、光磁気記録膜を基板の表面に成膜するた
めのターゲツトを備えた真空室とを備えた、イオ
ンビームスパツタ装置からなる光磁気記録媒体製
造装置において、前記プラズマ生成室の、プラズ
マに曝される金属個所の少なくともその表面を、
Ｔｉ，Ｃｒ，Ｗ，Ｍｏ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｐｔから選
ばれた金属または半金属もしくはそれらの合金に
よつて構成してなる光磁気記録媒体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8004387U JPS63191426U (ja) | 1987-05-26 | 1987-05-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8004387U JPS63191426U (ja) | 1987-05-26 | 1987-05-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63191426U true JPS63191426U (ja) | 1988-12-09 |
Family
ID=30930486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8004387U Pending JPS63191426U (ja) | 1987-05-26 | 1987-05-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63191426U (ja) |
-
1987
- 1987-05-26 JP JP8004387U patent/JPS63191426U/ja active Pending