JPS63127974U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63127974U JPS63127974U JP1959287U JP1959287U JPS63127974U JP S63127974 U JPS63127974 U JP S63127974U JP 1959287 U JP1959287 U JP 1959287U JP 1959287 U JP1959287 U JP 1959287U JP S63127974 U JPS63127974 U JP S63127974U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- semiconductor wafer
- metal plate
- shaped jig
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案にかかる成膜装置の一実施例を
図示する断面図である。第２図は従来の真空蒸着
装置の正面断面図、第３図は半導体ウエーハが保
持されたプラネタの保持穴部分の断面図、第４図
は同部分の拡大図、第５図、第６図は第４図Ａ―
Ａ線断面縮小図である。 １６……金属板状治具（プラネタ）、１７……
半導体ウエーハ、２３……成膜（蒸着）源、２３
ａ……微粒子（金属蒸気）、２８……薄膜（金属
膜）、２９……金属箔。
図示する断面図である。第２図は従来の真空蒸着
装置の正面断面図、第３図は半導体ウエーハが保
持されたプラネタの保持穴部分の断面図、第４図
は同部分の拡大図、第５図、第６図は第４図Ａ―
Ａ線断面縮小図である。 １６……金属板状治具（プラネタ）、１７……
半導体ウエーハ、２３……成膜（蒸着）源、２３
ａ……微粒子（金属蒸気）、２８……薄膜（金属
膜）、２９……金属箔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエーハを保持する金属板状治具と、前
記金属板状治具に対向配置した成膜源とを具備し
、前記成膜源から半導体ウエーハに微粒子を照射
し、半導体ウエーハに薄膜を形成する成膜装置に
おいて、 上記金属板状治具を剥離容易な金属箔で被覆し
たことを特徴とする成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1959287U JPS63127974U (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1959287U JPS63127974U (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63127974U true JPS63127974U (ja) | 1988-08-22 |
Family
ID=30814326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1959287U Pending JPS63127974U (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63127974U (ja) |
-
1987
- 1987-02-12 JP JP1959287U patent/JPS63127974U/ja active Pending