JPH02147878U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02147878U JPH02147878U JP1543989U JP1543989U JPH02147878U JP H02147878 U JPH02147878 U JP H02147878U JP 1543989 U JP1543989 U JP 1543989U JP 1543989 U JP1543989 U JP 1543989U JP H02147878 U JPH02147878 U JP H02147878U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- active metal
- getter pump
- shield plate
- vacuum chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
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- 229910001285 shape-memory alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
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- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
第１，２図は、運動導入機等とシールド板を連
通させて使用する、本考案の実施例のゲツターポ
ンプ用チヤンバーの概略の正面断面図。第３図は
、シールド板の支持体に２方向型形状記憶合金を
使用した本考案の実施例の同様の図。第４図は従
来のゲツターポンプ用チヤンバーの同様の図。 １……運動導入機、２……ゲツターポンプ用チ
ヤンバー、３……ゲツターポンプ、４……冷却水
管、５……シールド板、１２……シユラウド、１
４……冷却用液体窒素、１５，１６……支持体。
通させて使用する、本考案の実施例のゲツターポ
ンプ用チヤンバーの概略の正面断面図。第３図は
、シールド板の支持体に２方向型形状記憶合金を
使用した本考案の実施例の同様の図。第４図は従
来のゲツターポンプ用チヤンバーの同様の図。 １……運動導入機、２……ゲツターポンプ用チ
ヤンバー、３……ゲツターポンプ、４……冷却水
管、５……シールド板、１２……シユラウド、１
４……冷却用液体窒素、１５，１６……支持体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 活性金属を蒸発させて冷却面へ付着せしめ
ることにより該活性金属の表面に真空槽内の気体
をトラツプせしめるゲツターポンプのチヤンバー
において、該蒸発した活性金属が不必要な場所へ
飛散するのを防ぐために設けられるシールド板を
、蒸発終了後は、真空槽外からの操作で、そのシ
ールド状態を縮小できるように構成したことを特
徴とするゲツターポンプ用チヤンバー。 (2) 活性金属を蒸発させて冷却面へ付着せしめ
ることにより該活性金属の表面に真空槽内の気体
をトラツプせしめるゲツターポンプのチヤンバー
において、該シールド板の支持体に形状記憶合金
を用い、これにより前記蒸発の終了後に自動的に
該シールド板のシールド状態の縮小が行なわれる
ようにしたことを特徴とするゲツターポンプ用チ
ヤンバー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1543989U JPH0455268Y2 (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1543989U JPH0455268Y2 (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02147878U true JPH02147878U (ja) | 1990-12-14 |
| JPH0455268Y2 JPH0455268Y2 (ja) | 1992-12-25 |
Family
ID=31518744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1543989U Expired JPH0455268Y2 (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0455268Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-02-13 JP JP1543989U patent/JPH0455268Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0455268Y2 (ja) | 1992-12-25 |