JPS6444629U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6444629U JPS6444629U JP13867887U JP13867887U JPS6444629U JP S6444629 U JPS6444629 U JP S6444629U JP 13867887 U JP13867887 U JP 13867887U JP 13867887 U JP13867887 U JP 13867887U JP S6444629 U JPS6444629 U JP S6444629U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- exhaust
- drawing chamber
- bottom plate
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 238000002039 particle-beam lithography Methods 0.000 claims 1
- 108010083687 Ion Pumps Proteins 0.000 description 1
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図は従来例を説明するための図である。 １：描画室、１ａ：底板、２：防振手段、３：
架台、５：コラム、６：ベース、７：移動ステー
ジ、９：材料、１４：イオンポンプ、１５：排気
管、１７：排気室、１８：円筒、１９：連通穴、
２０：排気口、２１：熱遮蔽板、２２：支持棒、
２３，２４，２６：水冷パイプ、２５：冷却板。
図は従来例を説明するための図である。 １：描画室、１ａ：底板、２：防振手段、３：
架台、５：コラム、６：ベース、７：移動ステー
ジ、９：材料、１４：イオンポンプ、１５：排気
管、１７：排気室、１８：円筒、１９：連通穴、
２０：排気口、２１：熱遮蔽板、２２：支持棒、
２３，２４，２６：水冷パイプ、２５：冷却板。
Claims (1)
- 高真空に保たれた描画室と、該描画室の底板上
面に固定されたベースと、該ベース上に移動可能
に載置され且つ材料を保持した移動ステージと、
該移動ステージを互いに直交する２方向に移動さ
せる駆動手段と、前記描画室の底板下面をその内
壁の一部とするように形成された排気室と、該排
気室と前記描画室とを連通させるための通路と、
前記排気室に接続された真空ポンプと、該真空ポ
ンプ排気口と対向するように前記排気室内に配置
された遮蔽板と、該熱遮蔽板を冷却するための手
段とからなる荷電粒子線描画装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13867887U JPS6444629U (ja) | 1987-09-10 | 1987-09-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13867887U JPS6444629U (ja) | 1987-09-10 | 1987-09-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6444629U true JPS6444629U (ja) | 1989-03-16 |
Family
ID=31401239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13867887U Pending JPS6444629U (ja) | 1987-09-10 | 1987-09-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6444629U (ja) |
-
1987
- 1987-09-10 JP JP13867887U patent/JPS6444629U/ja active Pending