JPH02132940U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02132940U JPH02132940U JP4113089U JP4113089U JPH02132940U JP H02132940 U JPH02132940 U JP H02132940U JP 4113089 U JP4113089 U JP 4113089U JP 4113089 U JP4113089 U JP 4113089U JP H02132940 U JPH02132940 U JP H02132940U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base plate
- chamber
- chamber structure
- small
- semiconductor devices
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す立断面図、第
２図は従来例を示す立断面図である。 １……真空容器、２……小容器、３……チヤン
バ、２８……Ｏリング、３１……電極保持板、３
９……ベローズ支持体、４２……ベローズを示す
。
２図は従来例を示す立断面図である。 １……真空容器、２……小容器、３……チヤン
バ、２８……Ｏリング、３１……電極保持板、３
９……ベローズ支持体、４２……ベローズを示す
。
Claims (1)
- 真空容器に独立気密の小室を形成する半導体デ
バイス等処理装置のチヤンバ構造に於いて、前記
小室を真空容器のベースプレート側に対して近接
離反可能に設けた小容器と該小容器に対峙して配
設した保持板とで形成し、該保持板をベースプレ
ートに屈撓可能な部材を介して気密に取付けたこ
とを特徴とする半導体デバイス等処理装置のチヤ
ンバ構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4113089U JPH02132940U (ja) | 1989-04-07 | 1989-04-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4113089U JPH02132940U (ja) | 1989-04-07 | 1989-04-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02132940U true JPH02132940U (ja) | 1990-11-05 |
Family
ID=31551530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4113089U Pending JPH02132940U (ja) | 1989-04-07 | 1989-04-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02132940U (ja) |
-
1989
- 1989-04-07 JP JP4113089U patent/JPH02132940U/ja active Pending