JPH02102460U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02102460U JPH02102460U JP971189U JP971189U JPH02102460U JP H02102460 U JPH02102460 U JP H02102460U JP 971189 U JP971189 U JP 971189U JP 971189 U JP971189 U JP 971189U JP H02102460 U JPH02102460 U JP H02102460U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film forming
- forming chamber
- exhaust
- vacuum
- exhaust structure
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
図面は本考案の一実施例による真空排気構造を
備えた成膜装置の構成図である。 ２……成膜室、２１，３１……排気路、２２…
…真空ポンプ、３２……コールドトラツプ。
備えた成膜装置の構成図である。 ２……成膜室、２１，３１……排気路、２２…
…真空ポンプ、３２……コールドトラツプ。
Claims (1)
- 成膜室を真空排気するための排気構造であつて
、排気路及び真空ポンプを含み前記成膜室に接続
された定常排気系と、前記成膜室に連結されたコ
ールドトラツプとを備えた成膜装置の真空排気構
造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP971189U JPH02102460U (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP971189U JPH02102460U (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02102460U true JPH02102460U (ja) | 1990-08-15 |
Family
ID=31216695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP971189U Pending JPH02102460U (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02102460U (ja) |
-
1989
- 1989-01-30 JP JP971189U patent/JPH02102460U/ja active Pending