JPH03112863U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03112863U JPH03112863U JP2164890U JP2164890U JPH03112863U JP H03112863 U JPH03112863 U JP H03112863U JP 2164890 U JP2164890 U JP 2164890U JP 2164890 U JP2164890 U JP 2164890U JP H03112863 U JPH03112863 U JP H03112863U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- source chamber
- exhaust passage
- evacuation device
- vacuum evacuation
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す図、第２図は
従来装置を示す図である。 １……イオン源室、２，３，１０……遮断弁、
４……冷却トラツプ、５……油拡散ポンプ、６，
７，１２……ロータリーポンプ。
従来装置を示す図である。 １……イオン源室、２，３，１０……遮断弁、
４……冷却トラツプ、５……油拡散ポンプ、６，
７，１２……ロータリーポンプ。
Claims (1)
- イオン源室と、該イオン源室に接続される真空
排気装置と、冷却トラツプと、該冷却トラツプを
前記真空排気装置とは別個にイオン源室に接続す
るための排気通路と、該排気通路の途中に設けら
れる遮断弁とから構成される質量分析装置用イオ
ン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2164890U JPH03112863U (ja) | 1990-03-04 | 1990-03-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2164890U JPH03112863U (ja) | 1990-03-04 | 1990-03-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03112863U true JPH03112863U (ja) | 1991-11-19 |
Family
ID=31524685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2164890U Pending JPH03112863U (ja) | 1990-03-04 | 1990-03-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03112863U (ja) |
-
1990
- 1990-03-04 JP JP2164890U patent/JPH03112863U/ja active Pending