JPS61138240U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61138240U JPS61138240U JP2245085U JP2245085U JPS61138240U JP S61138240 U JPS61138240 U JP S61138240U JP 2245085 U JP2245085 U JP 2245085U JP 2245085 U JP2245085 U JP 2245085U JP S61138240 U JPS61138240 U JP S61138240U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- leak valve
- electron beam
- beam lithography
- vacuum evacuation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Details Of Valves (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す一部を断面し
た機構図、第２図は従来例の一部を断面した機構
図である。 １１……真空室（予備室）、１２……リークバ
ルブ、３１……チー、３４……微量調整バルブ、
３６……ストツプバルブ。
た機構図、第２図は従来例の一部を断面した機構
図である。 １１……真空室（予備室）、１２……リークバ
ルブ、３１……チー、３４……微量調整バルブ、
３６……ストツプバルブ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 真空室に取付けられその入口をガス源に接続
したリークバルブと、互いに直列に接続されると
共に前記リークバルブに対し並列関係を持つて前
記真空室とガス源との間に接続された微量調整バ
ルブおよびストツプバルブとからなる電子ビーム
描画装置等の真空排気装置。 ２ リークバルブを開くタイミングをストツプバ
ルブの開により作動を開始するタイマにより制御
するようにした実用新案登録請求の範囲第１項記
載の電子ビーム描画装置等の真空排気装置。 ３ リークバルブを開くタイミングを真空室内の
圧力により制御するようにした実用新案登録請求
の範囲第１項記載の電子ビーム描画装置等の真空
排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2245085U JPS61138240U (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2245085U JPS61138240U (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61138240U true JPS61138240U (ja) | 1986-08-27 |
Family
ID=30514753
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2245085U Pending JPS61138240U (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61138240U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001108130A (ja) * | 1999-05-25 | 2001-04-20 | Applied Materials Inc | 半導体ウェーハ処理装置用クラスタバルブ |
-
1985
- 1985-02-19 JP JP2245085U patent/JPS61138240U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001108130A (ja) * | 1999-05-25 | 2001-04-20 | Applied Materials Inc | 半導体ウェーハ処理装置用クラスタバルブ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH01139237U (ja) | ||
| JPS53131319A (en) | Exhaust brake arrangement | |
| JPS61138240U (ja) | ||
| JPH0273995U (ja) | ||
| JPH048703U (ja) | ||
| JPS58144105U (ja) | ダイヤフラム式バキユ−ムアクチユエ−タ | |
| JPS62178686U (ja) | ||
| JPH0410159U (ja) | ||
| JPS63160408U (ja) | ||
| JPS63102420U (ja) | ||
| JPS61106024U (ja) | ||
| JPH03112863U (ja) | ||
| JPH0220901U (ja) | ||
| JPS61184171U (ja) | ||
| JPS62144540U (ja) | ||
| JPS5987841U (ja) | 人工蘇生器 | |
| JPH01174918U (ja) | ||
| JPH0357396U (ja) | ||
| JPH0457681U (ja) | ||
| JPS63147813U (ja) | ||
| JPH01141379U (ja) | ||
| JPS5281415A (en) | Altitude-insensitive negative pressure control valve | |
| JPH01164759U (ja) | ||
| JPS59177873U (ja) | ガス用切替調整器 | |
| JPS53139023A (en) | Carburetor |