JPS6386496U - - Google Patents
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- JPS6386496U JPS6386496U JP18145786U JP18145786U JPS6386496U JP S6386496 U JPS6386496 U JP S6386496U JP 18145786 U JP18145786 U JP 18145786U JP 18145786 U JP18145786 U JP 18145786U JP S6386496 U JPS6386496 U JP S6386496U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal pipe
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- model registration
- pipe according
- exhaust
- Prior art date
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- Pending
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Description
第1図は本考案の金属パイプを使用した半導体
製造装置の概要図である。 1…半導体製造装置、10…真空排気ポンプ、
20…吸気管、30…排気管、40…テフロン被
膜。
製造装置の概要図である。 1…半導体製造装置、10…真空排気ポンプ、
20…吸気管、30…排気管、40…テフロン被
膜。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 内面に〓テフロン〓樹脂の被膜がコーテイ
ングまたはライニングされている金属パイプ。 (2) 半導体製造装置の排気ポンプの吸気および
排気管として使用される実用新案登録請求の範囲
第1項に記載の金属パイプ。 (3) ステンレス製である実用新案登録請求の範
囲第1項または第2項に記載の金属パイプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18145786U JPS6386496U (ja) | 1986-11-26 | 1986-11-26 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18145786U JPS6386496U (ja) | 1986-11-26 | 1986-11-26 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6386496U true JPS6386496U (ja) | 1988-06-06 |
Family
ID=31126342
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18145786U Pending JPS6386496U (ja) | 1986-11-26 | 1986-11-26 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6386496U (ja) |
-
1986
- 1986-11-26 JP JP18145786U patent/JPS6386496U/ja active Pending