JPS63278914A - 溶液中におけるスチレン系熱可塑性樹脂の連続製法 - Google Patents

溶液中におけるスチレン系熱可塑性樹脂の連続製法

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JPS63278914A JP63086212A JP8621288A JPS63278914A JP S63278914 A JPS63278914 A JP S63278914A JP 63086212 A JP63086212 A JP 63086212A JP 8621288 A JP8621288 A JP 8621288A JP S63278914 A JPS63278914 A JP S63278914A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 この発明は、スチレン系熱可塑性樹脂を製造するための
連続大量製法に関する。ことに、この発明は、アクリロ
ニトリル−スチレンと高及び低不飽和エラストマーから
スチレン系熱可塑性樹脂の溶液中における連続製法に関
する。
(ロ)従来の技術及び課題 スチレン系熱可塑性樹脂としては、スチレン又はその誘
導体とアクリロニトリル又は一般にアルケニルシアナイ
ドモノマー、(ここで該スチレン含有量は5から95重
量%の範囲、好ましくは40力)ら75重船%の範囲)
の混合物92−30重量%と;そしてこれに対応して、
エチレン/プロピレン/非共役ジエンゴム(一般にEP
DMとして知られている)の低不飽和オレフィン系エス
トラマー、又はポリブタジェンのような不飽和エラスト
マ、−の8−10重員%とからなるものが文献で知られ
ている。このような熱可塑性樹脂において、エラストマ
ー成分がキャリヤーで、これにアクリロニトリルとスチ
レンが部分的にグラフトされかつ部分的にアクリロニト
リル−スチレン共重合体の形に機械的付着が起っている
ことが知られている。
上記熱可塑性樹脂において、前記オレフィン系エラスト
マーが低不飽和のものはAES樹脂として呼ばれ、一方
前記オレフインエラストマーが不飽和タイプのものは一
般にABS樹脂と呼ばれている。
さらに、AES樹脂はABS樹脂と比べて、物理−機械
特性が同様で耐老化性に優れた利点があることも知られ
ている。
前記スチレン系樹脂の製造に関しては種々の製法が文献
上で知られている。今日において、エマルジョン重合が
、一般にABS樹脂の製造に適用されているが、このよ
うな技術は、逆に、ラテックスの形で存在するEPDM
エラストマーを得るのが困難であるのと製造コストが高
いためにAES樹脂を製造するために利用することがで
きない。
イタリア特許第792,269号によれば、AESの水
系懸濁中での重合法が記載されており、ここでは、この
エラストマーは0.1−2mmの粒径を有する粒体の形
で少量の懸濁剤を含む水中に懸濁され、この懸濁液を撹
拌している間、これらのモノマーとラジカル開始剤が加
えられる。かつこの反応の終りには、当初の顆粒から構
成されたばらばらのビーズが得られるが、このビーズは
、モノマー混合物の重合によって生じかつ一部顆粒表面
に機械的に付着し、一部化学的に結合したコポリマーの
ために大きなものとなっている。この製法は収率に関し
ては満足が得られるが、非常に外観の劣る粒子ができる
モノマー混合物(スチレン+アクリロニトリル)とゴム
(EPDM)とを溶媒に溶解した混合物を水中に懸濁さ
せ、そして過酸化物重合開始剤の存在の下で85%の転
化率が得られるまで重合を行うことからなるAESの製
法も知られている。この方法では、さらに、この溶媒と
未反応モノマーは留去されAES樹脂が水中からビーズ
の形で分離される。しかしながら、この製法もまた、前
記と同様の欠点を解消するものではない。
英国特許第2,059,427号には、AES樹脂の連
続溶液重合の製法が記載されている。この特許の教示に
よれば、衝撃強度、硬度、透明性、光沢等に対して、優
れた特性をもつAES樹脂が、連続溶液重合を2以上の
反応器中で行い、ただし、第1の反応器中における重合
率を転相に対当するよりもいっそう高くなるようにした
ときのみに得ることができる。
この英国特許に記載されている製法によれば、AES樹
脂はビニル−芳香族化合物とビニルシアナイドからなる
モノマーの混合物を、エチレン/プロピレン/非共役ジ
エンゴムと溶媒として芳香族炭化水素の存在下で連続溶
液グラフト重合によって製造され、ここで: a)前記重合は連続に配置した2以上の反応器中で行わ
れ、 b)前記ゴムは前記モノマーの全部又は一部中及び/又
は前記溶媒中に均一な溶液の形で第1の反応器へ供給さ
れ、 C)任意に、この残りのモノマーの全部又は一部及び/
又は溶媒は第1の反応器へ供給され、d)前記ゴムは第
1の反応器へ分散させそしてこのモノマーは、撹拌下、
このモノマーに対して40−80重M%の重合率が得ら
れるまで重合され、そして、 e)この残りのモノマーは次の反応器中で完全重合がな
されるまで撹拌下で重合される。
前記製法の好ましい態様によれば、この反応器は“C8
TR”タイプ(連続撹拌タンク反応器)の3又は4基が
連続に配置され、それら各々には撹拌装置、好ましくは
十分に小さく、均一なゴム粒子(0,3〜0.74)を
得ることができるように塊の全部に十分に強い撹拌と混
合作用を秦する羽根車を具備している。ラジカル重合開
始剤としては、例えば有機過酸化物のようなものが利用
されている。
この製法の主な欠点は、ことに、反応熱の除去を制御す
るのが困難なことであり、反応器の上部での著しい汚れ
、そしてもう1つはその粒径の制御の困難さであり、そ
して、とにかく、その滞留時間の広い分布のために、そ
れらのグラフト鎖やそれら分子堡の分布が広いことであ
る。
(ハ)課題を解決するための手段 この発明によれば、大気試剤に対する高耐性、高いレジ
リエンス及び表面光沢とを有する耐衝撃性熱可塑性スチ
レン系樹脂が、下記の方法で得られることを見出した。
すなわち、ビニル−芳香族化合物とビニルシアナイドか
らなるモノマーの混合物の、エラストマーと重合開始剤
の存在下、不活性溶媒中連続溶液重合で、 a)前記重合を連続に配置された1以上の反応段階で行
い、 b)各段階において、この反応塊(lass)を、完全
な熱交換を得るためにゆるやかに均一に撹拌し: C)前記エラストマー成分と前記重合開始剤は前記モノ
マーと溶媒中に均一に溶解され、そしてその溶液は第1
段階へ供給され: d)前記重合は、次の段階において、10℃から150
℃のR8の濃度で、かつ供給さ−れたモノマー成分と溶
媒の蒸発が起る圧力より高い圧力で行なわれ、 e)この反応塊は150℃から300℃の範囲の温度に
加熱され、所望の形態学上の粒子構造を付与するために
十分な剪断力をこのポリマーに働かせることのできる回
転刃を装備した薄フィルム蒸発器に貫流され、 r)未反応のモノマーとWIIjXは前記蒸発器から回
収された後、第1段階へ供給されることからなる。
この発明による製法の特徴は、公知の製法とは異なって
、これらモノマーの重合がゆるやかな撹拌条件で行なわ
れ、かつそれにもかかわらず、粒子は最終製品に所定の
表面光沢性を与えるのには十分に微細である必要が知ら
れているが、粒子のサイズや構造に関係なく、反応に優
れた熱I制御を許すようなやり方で行われることである
上述の形態の構造が、未反応モノマーと溶剤が除去され
る薄フィルム蒸発器での仕上げ工程で得られ、同時に粒
径が、エラストマー相構造の修正をもたらす動的な作用
によって、1−未満、好ましくは0.1から0.4.a
の範囲の値に減少する。
この重合段階においては、ゴム相の分離を伴う相逆転が
起り、数μmの直径をもつ細胞状の丸い粒子から不規則
な形態の非常に大きな粒子に至るまでの範囲の非常に不
規則な構造を誘起すると考えられる。このような変化は
反応媒体中に存在する溶媒量に強く依存する。さらに、
細砕刃を装備したこの薄フィルム蒸発器の中″で粒子の
形態学上の構造が、均一になり、粒径的0.1から0.
4sに減少する。
上記製造条件を用いることによって、製造条件の制御が
容易に行えて、高収率で優れた耐衝撃性、耐薬品性、耐
候性、及び高いレジリエンスと表面光沢を有する樹脂を
得ることができる。
この発明の製法において、使用に適するエラストマーに
は高不飽和エラストマー及び低不飽和エラストマーが含
まれる。この低不飽和エラストマーの中には、主なもの
としてエチレン/プロピレン重量比が好ましくは90:
10から20:8GであるEPMゴムとEPDMゴムを
あげるーことができる。
この非共役ジエンの含有量は好ましくはヨウ素価で表わ
すと4から50の範囲である。この非共役ジエンとして
は、例えばアルキレン−ノルボルネン又はアルキリデン
−ノルボルネンのようなノルボルネン;例えばジシクロ
ペンタジェン、シフ0オクタジエン−1,5のような環
状ジエン;又は例えばペンタジェン−1,4、ヘキサジ
エン−1,4、ヘキサジエン−1,5のような脂肪族ジ
エン等を用いることができる。
好ましいEPDMゴムとしては次に示す三元共重合体:
エチレン/プロピレン15−メチル−テトラヒドロイン
デン、エチレン/プロピレン/6−エチリデン−2−ノ
ルボルネン、エチレン/プロピレン/6−メチレン−2
−ノルボルネン、エチレン/プロピレン15−エチリデ
ン−2−ノルボルネン等がある。
この発明の製法で用いられる高不飽和エラストマーとし
ては、ポリブタジェン、ポリイソプレン、ブタジェン及
び/又はインプレンとスチレン又は他のモノマーとの共
重合体、ポリクロロプレン等がある。
この発明の製法で用いられるエラストマーの量は最終生
成樹脂中に含まれるゴムが5から50重量%、好ましく
は10から35重量%の範囲であるような量である。
このエラストマーは一部の量又は全量のモノマー及び/
又は溶媒中で均一な溶液の形として反応混合物に供給さ
れる。実施にあたっては、このエラストマーを溶媒の全
量中に予め溶解し、そしてモノマー全量中に溶解するの
が好ましい。
この発明の製法において、コモノマーとして用いられる
ビニル−芳香族化合物は、一般式:%式% : Xは水素又は炭素数1〜4のアルキル基:Yは水素、ハ
ロゲン又は炭素数1〜4のアルキル基; そしてnは0又は1から5までの整数である。
上記一般式を有するビニル芳香族モノマーの例としでは
:スチレン、メチルスチレン;モノ−、ジー、トリー、
テトラ−及びペンタ−クロロ−スチレン及び対応するア
ルファーメチルスチレン類;ベンゼン核−アルキル化ス
チレン類及びオルソ−及びバラ−メチルスチレンのよう
な対応するアルファーメチルスチレン誘導体:オルソ−
及びバラ−エチル−スチレン類;オルソ−及びバラ−メ
チル−アルファーメチルスチレン類;3.5−ジメチル
スチレン及び【−ブチルスチレン、等がある。
これらのモノマーは単独でも、互いに混合して用いても
よい。
この発明の製法で用いられるもう1つのモノマーである
ビニルシアナイドは、そのビニル基がニトリル基(−C
N)に結合されている化合物である。アクリロニトリル
は好ましい化合物であるが、他のアクリル系モノマーも
用いることができ、例えばアクリル酸、メタクリル酸、
アクリル酸又はメタクリル酸のアルキルエステル、メタ
クリロニトリル、アクリルアミド等がある。これらのコ
モノマーは、無水マレイン酸、ビニルハロゲン化物、ビ
ニルエーテル類等のような他のビニルモノマーによって
、全モノマー最に対して20重量%を超えない範囲で部
分的に置換えることができる。好ましいモノマー混合物
はスチレンと7クリロニトリルかなり、スチレンと7ク
リロニトリルの重量比が90:10から60:40の範
囲のものである。
上述のように、この発明の重合方法は不活性溶媒、たと
えば芳香族炭化水素の存在下で行われる。
適切な芳香族炭化水素としては、ベンゼン、トルエン、
エチル−ベンゼン、キシレン、イソプロピルベンゼン等
がある。好ましい溶媒の量は用いるエラストマーとモノ
マーの総量100重量部当り50から300重量部、特
に好ましくは60から 150重量部である。
この重合反応は、一般に溶液中で行なわれる多くのグラ
フト重合反応のように、ラジカル重合開始剤の存在下で
開始される。何れの公知のラジカル開始剤も利用できる
が、グラフト重合反応に一般に用いられる公知の有機過
酸化物が好ましい。
適切な有機過酸化物としては、芳香族ジアシルパーオキ
サイド(例えばジ−ベンゾイルパーオキサイド)、パー
オキシエステル(例えば【−ブチルパーオキシイソブチ
レート、1−ブチル−パーオキシ−ラウレート、t−ブ
チル−パーオキシ−ベンゾエート等)、バーケタール(
例えば1.1−ジ−t−ブチル−パーオキシ−3,3,
5−トリメチル−シクロヘキサン、2.2−ジーむ一7
チルーパーオキシーブタン等)、パーオキシ−カーボネ
ート(例えばt−ブチル−パーオキシ−イソプロビル−
カーボネート)及びパーオキシ−ケトン(例えば1,1
−ビス−t−ブチル−パーオキシ−3,3,5−トリメ
チル−シクロヘキサン)がある。
上記過酸化物は2以上混合して用いてもよい。ここで使
用される過酸化物の傷は、Mlの重合反応器中でこの重
合転換が40から80重量%の範囲になるような値であ
り;一般にモノマーとエラストマーの総量に対して0.
1から2.0重量%の範囲の儲が用いられる。
この発明の製法の特徴は、エラストマー鎖の上にビニル
−芳香族とビニルニトリルモノマーがらなる樹脂相を高
度にグラフト化するところにある。
このようなグラフト化は、特に第1の重合段階において
進められ、定温的に、好ましくは用いる過酸化物開始剤
の約1時間の反転化期間に相当する温度で行う必要があ
る。実施に際しては、この温度は70°〜150℃が用
いられる。
重合は特に高粘度溶液法に適し、高い発熱反応の&IJ
tlllに適した反応器の中で進められる。
実施に際しては、内部管と高い伝熱係数を達成するため
に熱調節流体が流れる外部ジャケットとを装備した長さ
/直径比が3より大きい“プラグ70−(p+t+o 
 flow)”型の撹拌管型反応器が好ましい。この反
応器は、2以上の区割に分けられ各区割を同じ温度又は
異なる濃度に加熱される。
この“プラグフロー″′反応器は重合条件を不連続工程
のものに類似させることができ、それによってすべての
このエラストマー鋼上への均一なグラフト度を得ること
ができ、さらにこの2つの相の高い相溶性が得られる。
少くとも2つの重合反応器が用いられ、それらは連続に
配置される。このようにして、例えば90%の総転換を
得るのに要する時間は著しく短縮される。一般に、第1
の反応器において、重合転換がモノマーに対して40〜
80重量%好ましくは50〜15重量%とするのがよい
これらの反応器は10〜150℃で、供給成分の蒸発が
起る圧力よりも高い圧力例えば0.5〜5バールに維持
される。一般に第1段階に続く段階中へ、開始剤及び/
又はモノマーの追加は行なわれない。
最後段階から出る反応塊は本質的にこの重合開始剤を含
まないのが好ましい。所望の粒子の形態を得、仕上げす
るのにこの発明の製法で用いられる薄フィルム蒸発器(
【旧n  fil’s  evaporator)は、
何れの従来の形式のものを利用することができる。
特に好ましいものは、加熱ジャケットによって囲まれた
処理室を有し、そして回転体がこの処理室の内側に共軸
に配置され、この回転体が回転軸に対して10〜156
の傾きをもち、その接続線を通る軸平面に対して5〜9
0″の傾きをもつらせん刃の形をした延出部を有するも
のを装備した薄フィルム蒸発器である。
この刃型延出部は、少くとも2、好ましくは3つが軸の
まわりに、等間隔に互いちがいの並びでそして同じピッ
チで配置されており、各刃型延出部の各々の並びは軸方
向から見ると、隣接して並ぶ相当する延出部に関しては
延出部のピッチの半分に等しい距離だけジグザグになっ
ている。
この蒸発器はこの出願者の名前で出願されたヨーロッパ
特許出願第87.1309.442号に記載されている
樹脂、未反応モノマー、溶媒の回収は公知の方法によっ
て行うことができる。未反応モノマーと溶媒は冷却され
、予備混合されそして新しい溶液といっしょに第1段階
へ供給される。
(ニ)実施例 この発明をよりよく理解するために、次に2〜3の具体
例を開示するが、これらは主に例証するものであり、こ
の発明を限定するものではない。
実施例1 次の成分から成る混合物: スチレン25.5重量部: アクリ口ニトリル8重量部; スチレン含有量61%、プロピレン含有量30%及びエ
チリデンノルボルネン含有量9%を有するEPDMゴム
11重量部: トルエン55.5重量部: 安定剤イルガノクス(I rganox) 1076 
(チバガイギー社製)0.1重量部; 重合開始剤用過酸化物1.1−ビス(t−ブチルパーオ
キシ) −3,3,5−トリメチル−シクロヘキサン[
トリボノックス(T rioonox ) 29850
30.20重量部;が連続に配置された2つの管型反応
器へ、80℃の濃度で及び流速0.87ON /時で連
続に供給された。各反応器は総容It 2.5ρ及び長
さ/直径比5を有するピストン流動タイプである。
各管型反応器は3つの等しい反応区割に分割されており
、各区割はその中に存在する反応塊を次に記した温度設
定に従った温度に維持するために温度調節される: 第1反応器:105℃;105℃:105℃第2反応器
:111℃;112℃;112℃各反応器の圧力は2バ
ールであった。各反応器は48の水平の腕からなる羽根
車が装備され、50rp量で回転されている。この反応
器から取出された塊は固型分含量38%(転換80%)
であった。これは内表面積、0.04n+’を有する薄
フィルム蒸発装置へ供給され、この装装置には刃型延出
部の4つの並びを備えた1つの回転体が装備され、この
刃−型延出部は回転体の軸に対して30°の角度であり
それらの接合線を通る回転軸方向の平面に対して56の
角度をもって傾いている。この回転体は850rpiで
操作した。この留去装置は外部ジャケットによって温度
調節され、このジャケットには透熱性オイルが195℃
の温度で流れている。このような装置の中で、残圧20
fflllH(lの真空状態が発生される。残留揮発成
分0.11%を有するこの排出物がバンデラ7 R45
型−軸一スクリユー押出機で押出され、そしてその排出
物は第1表に示す特性を示した。
実施例2 実施例1と同様の組成を有する混合物が、流速55ρ/
時で、それぞれ容量ioog及び長さ/直径比が5を有
する2つの管状体が連続に結合された反応器に連続的に
供給される。各反応器は実施例1で設定したものと同様
の型式のものであった。
各反応器はそれぞれ3つ区割に分けられ、この反応塊を
次に記した温度設定に従った温度に内部を維持するよう
に温度調節される: 第1反応器:108℃;103℃;103℃第2反応器
:118℃:119℃;112℃各反応器は48の水平
腕を有する羽根車が装備され、40rpo+で回転され
る。各反応器から排出された塊は固形分がそれぞれ28
%及び38%を示した。
第2の反応器から排出されたこの製品は、次に2つの薄
フィルム蒸発器へ供給した。この薄フィルム蒸発器はそ
れぞれ連続に配置され、内表面積はそれぞれ0.5m 
2を有している。各蒸発器は粘度の高い流体用に刃型延
出部を有する回転体を装備しており、この刃型延出部は
、回転体軸に対して25″の傾きをもち、それらの接合
線を通る回転軸方向の平面に対して306の傾きをもっ
て回転軸上に並んで配置されている。各蒸発器は熱調節
ジャケットを装備し、このジャケットの中の透熱性の油
は、第1の蒸発器においては220℃の温度で、第2の
蒸発器においては250℃の温度で循環された。第1の
蒸発器における圧力は1.25 kg/ agI2であ
り、一方第2の蒸発器における残圧は20mmH9であ
った。
第2段階から排出されたポリマー中の全揮発物倉口は0
.05%であった。この製品の特性は第1表に示される
(以下余白) (ホ)発明の効果 この発明によれば、高収率で制御容易なスチレン系熱可
塑性樹脂の連続溶液重合法が提供される。
さらに、この発明の重合法によって、優れた耐衝撃性、
優れた耐薬品性及び耐候性及び高いレジリエンス及び高
表面光沢を有するスチレン系熱可塑性樹脂が提供される

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、ビニル芳香族化合物とビニルシアナイドからなるモ
    ノマー混合物をエラストマーと重合開始剤の存在下でか
    つ不活性溶媒中で連続溶液重合によるスチレン系熱可塑
    性樹脂の製法であって、a)重合が連続に配置された1
    以上の反応段階で行われ; b)各反応段階において、反応塊は完全な熱交換を確実
    に行うためにゆるやかにかつ均一に撹拌され; c)該エラストマー成分と該重合開始剤はモノマーと溶
    媒中に均一に溶解され、その溶液は第1段階へ供給され
    ; d)重合は、その次の段階において70〜150℃の温
    度範囲かつ供給されたモノマー成分と供給された溶媒の
    蒸発が起る圧力よりも高い圧力の下で行われ; e)この反応塊は薄フィルム蒸発器に貫流され、150
    〜300℃の温度範囲に加熱され、そしてポリマーに所
    望の形態学上の構造を付与するために十分な切断力を与
    える回転刃を装備した; f)この蒸発器によって回収された未反応モノマーと溶
    媒は第1段階へ供給されることを特徴とする溶液中にお
    けるスチレン系熱可塑性樹脂の連続製法。 2、前記エラストマーが低不飽和エラストマーである請
    求項1による製法。 3、前記エラストマーが、エチレン:プロピレン重量比
    が90:10から20:80までの範囲内であり、非共
    役ジエンを含む場合はヨウ素価で4から50の範囲内の
    EPMゴム又はEPDMゴムである請求項2による製法
    。 4、前記エラストマーが、高不飽和エラストマーである
    請求項1による製法。 5、前記エラストマー供給量が最終生成樹脂層に対して
    5から50重量%、好ましくは10から35重量%であ
    る請求項1〜4のいずれかによる製法。 6、前記ビニルシアナイドが、スチレン/アクリロニト
    リル重量比が90:10から60:40の範囲にあるア
    クリロニトリルである請求項1〜5のいずれかによる製
    法。 7、前記不活性溶媒が、エラストマー及びモノマーの1
    00重量部に対して50から300重量部までの範囲、
    好ましくは60から150重量部までの範囲の量で使用
    される芳香族炭化水素である請求項1〜6のいずれかに
    よる製法。 8、前記重合開始剤がラジカルタイプ、好ましくは有機
    過酸化物である請求項1〜7のいずれかによる製法。 9、前記重合開始剤の供給1がモノマー及びエラストマ
    ーの総量に対して、0.1から2重量%の範囲である請
    求項8による製法。 10、前記第1重合段階が、用いられる重合開始剤の約
    1時間の半転化期間になるような温度で、定温で行われ
    る請求項1〜9のいずれかによる製法。 11、前記温度が70°から150℃の範囲である請求
    項10による製法。 12、重合が、内部管と温度調節流体が循環する外部ジ
    ャケットが装備された長さ/直径比が3より大きい“プ
    ラグフロー”型の撹拌可能な管状反応器中で行われる請
    求項1〜11のいずれかによる製法。 13、上記反応器が2以上の区割に分れており、各区割
    が異なる温度に加熱される請求項12による製法。 14、重合が、連続に配置された少くとも2つの反応器
    中で行われ、ここで第1の反応器において40−80重
    量%の重合転換、好ましくは50−75重量%の重合転
    換が得られる請求項12又は13による製法。 15、上記重合が0.5から5バールの範囲の圧力下で
    行われる請求項1〜14のいずれかによる製法。 16、上記薄フィルム蒸発器は、加熱用ジャケットによ
    って囲まれた処理室と、この処理室の内側に配置された
    回転体と、それと同軸に、らせん刃の形をした延出部が
    装備され、そのらせん刃はモーター軸に対して10−7
    5°の傾きを有し、それららせん刃の接合線を通る回転
    軸方向の平面に対して5−90°の傾きを有し;該刃型
    延出部は少くとも2個、好ましくは3個、軸のまわりに
    、等間隔に同じピッチを有するジグザグの並びに配置さ
    れ、各並びの各々の刃型延出部は、軸方向に見ると、隣
    接する並びの対応する延出部に関してはその延出部の半
    ピッチに等しい距離だけジグザグになっている請求項1
    〜15のいずれかによる製法。 17、前記重合によって生ずる粒子は直径数μmの不規
    則な粒径を有し、そして薄フィルム蒸発器の出口におい
    ては、寸法範囲は0.1から0.4μmである請求項1
    〜16のいずれかによる製法。
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