JPS63265625A - 反射防止能を有する透明導電性フイルム - Google Patents
反射防止能を有する透明導電性フイルムInfo
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- JPS63265625A JPS63265625A JP62101525A JP10152587A JPS63265625A JP S63265625 A JPS63265625 A JP S63265625A JP 62101525 A JP62101525 A JP 62101525A JP 10152587 A JP10152587 A JP 10152587A JP S63265625 A JPS63265625 A JP S63265625A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、透明導電性フィルムに関する。本発明の透明
導電性フィルムは、液晶用表示電極、面発熱式防曇膜、
液晶ディスプレーやＣＲＴディスプレーなどと組み合わ
せて使用する透明タッチパネル等のような光学特性及び
電気特性が特に重要な分野において使用される。
導電性フィルムは、液晶用表示電極、面発熱式防曇膜、
液晶ディスプレーやＣＲＴディスプレーなどと組み合わ
せて使用する透明タッチパネル等のような光学特性及び
電気特性が特に重要な分野において使用される。
〈従来技術及びその欠点〉
透明基板表面に透明導電性膜を成膜するとこの導電性膜
の高い屈折率に起因して表面反射が増大するという欠点
を有している。以下、この点を本発明の透明導電性フィ
ルムの最適応用分野である透明タッチパネルを例にして
詳述する。透明タッチパネルは透明導電性膜を導体とし
た透明な入力スイッチであり、例えば第２図に示すよう
にベースフィルム１上に透明導電性ＩＩＩ ５を設けた
透明導電性フィルムを２枚用い、透明導電性１！５を内
側にしてスペーサー６を介して対向させた構造となって
おり、これを指で押すと、対向している透明導電性膜５
が接触してスイッチがオン（ＯＮ＞の状態となって入力
される。ここで用いられる透明＋Ｉ？ｌ性フィルムは電
極グレードのもので、ポリエステル（特にポリエチレン
テレフタレート）、ポリエーテルサルフォン等の機械的
強度、耐熱性、耐薬品性に優れたベースフィルム表面に
インジウムｍ酸化物（以下、ＩＴＯという）、錫アンチ
モン酸化物等の半導体薄膜、金、パラジウム、アルミニ
ウムあるいはクロム系合金等の金属、薄膜を真空蒸着、
スパッタリング、イオンブレーティング、イオンビーム
蒸着等の方法により形成したものである。現在市販され
ている透明導電性フィルムの多くはポリエステルフィル
ム表面にＩＴＯ膜を形成したタイプのものである。
の高い屈折率に起因して表面反射が増大するという欠点
を有している。以下、この点を本発明の透明導電性フィ
ルムの最適応用分野である透明タッチパネルを例にして
詳述する。透明タッチパネルは透明導電性膜を導体とし
た透明な入力スイッチであり、例えば第２図に示すよう
にベースフィルム１上に透明導電性ＩＩＩ ５を設けた
透明導電性フィルムを２枚用い、透明導電性１！５を内
側にしてスペーサー６を介して対向させた構造となって
おり、これを指で押すと、対向している透明導電性膜５
が接触してスイッチがオン（ＯＮ＞の状態となって入力
される。ここで用いられる透明＋Ｉ？ｌ性フィルムは電
極グレードのもので、ポリエステル（特にポリエチレン
テレフタレート）、ポリエーテルサルフォン等の機械的
強度、耐熱性、耐薬品性に優れたベースフィルム表面に
インジウムｍ酸化物（以下、ＩＴＯという）、錫アンチ
モン酸化物等の半導体薄膜、金、パラジウム、アルミニ
ウムあるいはクロム系合金等の金属、薄膜を真空蒸着、
スパッタリング、イオンブレーティング、イオンビーム
蒸着等の方法により形成したものである。現在市販され
ている透明導電性フィルムの多くはポリエステルフィル
ム表面にＩＴＯ膜を形成したタイプのものである。
しかしながら、これらの透明導電性膜はベースフィルム
より屈折率が高く、これらの被膜を形成した透明導電性
フィルムは表面の反射が増大するという欠点を有してい
る。この点を第３図の分光反射率曲線図を用いて説明す
ると、図中、ａはポリエステルベースフィルム、ｂはＩ
ＴＯｉｌ膜（光学膜厚７２．３ｎｍ）を設けたポリエス
テルフィルムの片面分光反射率曲線であり、曲線ａとｂ
の対比より、ＩＴＯｉｌＪＩ！Ｉを設けたポリエステル
フィルムの反射率が、ポリエステルベースフィルムの反
射率よりも著しく増大している。
より屈折率が高く、これらの被膜を形成した透明導電性
フィルムは表面の反射が増大するという欠点を有してい
る。この点を第３図の分光反射率曲線図を用いて説明す
ると、図中、ａはポリエステルベースフィルム、ｂはＩ
ＴＯｉｌ膜（光学膜厚７２．３ｎｍ）を設けたポリエス
テルフィルムの片面分光反射率曲線であり、曲線ａとｂ
の対比より、ＩＴＯｉｌＪＩ！Ｉを設けたポリエステル
フィルムの反射率が、ポリエステルベースフィルムの反
射率よりも著しく増大している。
そしてＩＴＯ＠ＩＥＩを設けたポリエステルフィルムか
らなる透明導電性フィルムの上述の欠点は、該透明導電
性フィルムを用いて得られた従来の透明タッチパネルの
欠点ともなっており、タッチパネル画面のコントラスト
が悪い、表示がクリアーでない、反射が強くて見づらい
等の問題点があった。
らなる透明導電性フィルムの上述の欠点は、該透明導電
性フィルムを用いて得られた従来の透明タッチパネルの
欠点ともなっており、タッチパネル画面のコントラスト
が悪い、表示がクリアーでない、反射が強くて見づらい
等の問題点があった。
このような従来の透明タッチパネルの問題点を解消する
ために、ベースフィルムの透明導電性膜の設けられてい
ない面をあらし処理（ぼかし処理）することが行なわれ
ているが、その効果は十分でなく、上述の問題点を解消
するに至っていない。
ために、ベースフィルムの透明導電性膜の設けられてい
ない面をあらし処理（ぼかし処理）することが行なわれ
ているが、その効果は十分でなく、上述の問題点を解消
するに至っていない。
〈発明が解決しようとする問題点〉
従って本発明の目的は、透明タッチパネル等に用いられ
る透明導電性フィルムの本来の機能であるｓ？Ｉ性を完
全に維持しつつ、その欠点である反射性を著しく軽減さ
せた透明導電性フィルムを提供することにある。
る透明導電性フィルムの本来の機能であるｓ？Ｉ性を完
全に維持しつつ、その欠点である反射性を著しく軽減さ
せた透明導電性フィルムを提供することにある。
〈問題点を解消するための手段〉
上述の目的を達成するため、本発明者は、反射防止膜を
設けることに着目し、その成膜位置について検討した結
果、透明導電性フィルムの透明導電性ｍ層が形成されて
いない面に反射防止膜を設けても、その反射性は軽減す
るものの十分でないのに対し、透明基板上に透明Ｓ電性
ｌｌ１層を最外層とする多層反射防止膜を設けると１＃
電性を完全に維持し、かつその反射性が著しく軽減され
ることを見い出し、本発明を完成させた。
設けることに着目し、その成膜位置について検討した結
果、透明導電性フィルムの透明導電性ｍ層が形成されて
いない面に反射防止膜を設けても、その反射性は軽減す
るものの十分でないのに対し、透明基板上に透明Ｓ電性
ｌｌ１層を最外層とする多層反射防止膜を設けると１＃
電性を完全に維持し、かつその反射性が著しく軽減され
ることを見い出し、本発明を完成させた。
従って本発明は、透明基板上に透明導電性膜層を最外層
とする多層反射防止膜を設けたことを特徴とする透明導
電性フィルムである。
とする多層反射防止膜を設けたことを特徴とする透明導
電性フィルムである。
従来透明基板用多層反射防止膜の最外層としてＳｉＯ、
ＭｏＦ２等の低屈折率膜が使用されているが、本発明は
ＩＴＯ膜のような導電性高屈折率膜（屈折率ｎ＝２）を
導電性膜として機能させるだけでなく、反射防止膜の最
外層とても機能させでいることを特徴とするものである
。
ＭｏＦ２等の低屈折率膜が使用されているが、本発明は
ＩＴＯ膜のような導電性高屈折率膜（屈折率ｎ＝２）を
導電性膜として機能させるだけでなく、反射防止膜の最
外層とても機能させでいることを特徴とするものである
。
本発明の好ましい態様においては、上記多層反射防止膜
は、基板側から外方に向けて数えて第１層が第１低屈折
率膜層Ｌ１ （光学膜厚０≦［Ｌ１］≦λ／４、但しλ
は中心波長５００〜６００ｎｍ）であり、第２Ｎが高屈
折率膜層Ｈ（光学膜厚λ／８≦［Ｈ］≦λ／４）であり
、第３層が第２低屈折率！ＪＩＩＬ２ （光学膜厚０≦
［Ｌ２］ ≦λ／４）であり、第４層（最外層）が透明
導電性膜層ＴＣ（光学膜厚０＜ ［ＴＣ］≦λ／４）で
ある多ｍ膜により構成される。ここに第１低屈折率膜層
Ｌ１は光学膜厚［Ｌ１］がＯの場合も含むものであり、
この場合には第１屈折率膜層Ｌ１は設けられていない。
は、基板側から外方に向けて数えて第１層が第１低屈折
率膜層Ｌ１ （光学膜厚０≦［Ｌ１］≦λ／４、但しλ
は中心波長５００〜６００ｎｍ）であり、第２Ｎが高屈
折率膜層Ｈ（光学膜厚λ／８≦［Ｈ］≦λ／４）であり
、第３層が第２低屈折率！ＪＩＩＬ２ （光学膜厚０≦
［Ｌ２］ ≦λ／４）であり、第４層（最外層）が透明
導電性膜層ＴＣ（光学膜厚０＜ ［ＴＣ］≦λ／４）で
ある多ｍ膜により構成される。ここに第１低屈折率膜層
Ｌ１は光学膜厚［Ｌ１］がＯの場合も含むものであり、
この場合には第１屈折率膜層Ｌ１は設けられていない。
第２低屈折率膜層Ｌ２の場合も同様である。多層反射防
止膜全体の膜厚はλ／４以上３／４λ以下であるのが好
ましい。
止膜全体の膜厚はλ／４以上３／４λ以下であるのが好
ましい。
上記の反射防止膜を構成する金属酸化物としては、二酸
化ケイ素（Ｓｉ０２＞、−１ｍ化ケイ素（Ｓｉｎ）、酸
化アルミニウム（ＡＩ１２０３）、酸化ジルコニウム（
Ｚｒ０２）、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化セリウム（
ＣｅＯ２）、酸化イツトリウム（Ｙ２Ｏ２）、酸化イン
ジウム（Ｉｎ２０３）、酸化錫（ＳｎＯ２）、インジウ
ム錫酸化物（ＩＴＯ）、錫アンチモン酸化物（ＳｎＯ−
８ｂ２０３）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）等が挙げられ、また
金属弗化物としては弗化マグネシウム（ＭｏＦ、、）、
弗化セリウム（ＣｅＦ３）等が挙げられ、さらに金属硫
化物として硫化亜鉛（ＺｎＳ）が挙げられる。これらの
金属酸化物、金属弗化物及び金属硫化物はそれぞれが有
する屈折率に応じて高屈折率膜層、低屈折率膜層に使用
される。また酸化インジウム、酸化錫、ＩＴＯ。
化ケイ素（Ｓｉ０２＞、−１ｍ化ケイ素（Ｓｉｎ）、酸
化アルミニウム（ＡＩ１２０３）、酸化ジルコニウム（
Ｚｒ０２）、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化セリウム（
ＣｅＯ２）、酸化イツトリウム（Ｙ２Ｏ２）、酸化イン
ジウム（Ｉｎ２０３）、酸化錫（ＳｎＯ２）、インジウ
ム錫酸化物（ＩＴＯ）、錫アンチモン酸化物（ＳｎＯ−
８ｂ２０３）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）等が挙げられ、また
金属弗化物としては弗化マグネシウム（ＭｏＦ、、）、
弗化セリウム（ＣｅＦ３）等が挙げられ、さらに金属硫
化物として硫化亜鉛（ＺｎＳ）が挙げられる。これらの
金属酸化物、金属弗化物及び金属硫化物はそれぞれが有
する屈折率に応じて高屈折率膜層、低屈折率膜層に使用
される。また酸化インジウム、酸化錫、ＩＴＯ。
錫アンチモン酸化物、酸化亜鉛などの導電性酸化物が最
外層の導電性高屈折率膜層ＴＣとして用いられることは
もちろんである。
外層の導電性高屈折率膜層ＴＣとして用いられることは
もちろんである。
これらの反射防止膜は、真空蒸着法、スパッタリング法
、イオンブレーティング法、イオンビーム蒸着法等の物
理的方法や化学的気相成長法（ＣＶＤ＞、ゾルゲル法等
の化学的方法などの従来より慣用されている方法によっ
て形成される。
、イオンブレーティング法、イオンビーム蒸着法等の物
理的方法や化学的気相成長法（ＣＶＤ＞、ゾルゲル法等
の化学的方法などの従来より慣用されている方法によっ
て形成される。
以下、本発明の透明導電性フィルムを透明タッチパネル
に応用した場合について図面を参照しながら説明する。
に応用した場合について図面を参照しながら説明する。
第１図は本発明の透明導電性フィルムを２枚用いて得ら
れた透明タッチパネルの一例を示すものである。各透明
導電性フィルムは、ベースフィルム１上に、ベースフィ
ルム側から外方に向けて数えて第１層が第１低屈折率膜
１ｉ！（Ｌｌ）２であり、第２層が高屈折率膜層（Ｈ）
３であり、第３層が第２低屈折率膜層（Ｌ２）４であり
、第４層（最外層）が透明導電性ＩＩ！Ｉ層（ＴＣ）５
である多層反射防止膜を設けることにより形成されてい
る。即ち、上記透明導電性フィルムは、ベースフィルム
と透明１電性膜とからなる従来の透明導電性フィルムの
ベースフィルムと透明導電性膜の聞に更に多層反射防止
膜の構成要素として低屈折率１ｕｌｌ！ｌ。
れた透明タッチパネルの一例を示すものである。各透明
導電性フィルムは、ベースフィルム１上に、ベースフィ
ルム側から外方に向けて数えて第１層が第１低屈折率膜
１ｉ！（Ｌｌ）２であり、第２層が高屈折率膜層（Ｈ）
３であり、第３層が第２低屈折率膜層（Ｌ２）４であり
、第４層（最外層）が透明導電性ＩＩ！Ｉ層（ＴＣ）５
である多層反射防止膜を設けることにより形成されてい
る。即ち、上記透明導電性フィルムは、ベースフィルム
と透明１電性膜とからなる従来の透明導電性フィルムの
ベースフィルムと透明導電性膜の聞に更に多層反射防止
膜の構成要素として低屈折率１ｕｌｌ！ｌ。
高屈折率膜層を設けたものである。そしてこの多層反射
防止膜を有する２枚の透明導電性フィルムを導電面を内
側にしてスペーサー６を介して対向させることにより目
的とする透明タッチパネルが形成される。
防止膜を有する２枚の透明導電性フィルムを導電面を内
側にしてスペーサー６を介して対向させることにより目
的とする透明タッチパネルが形成される。
なお第１図に示された透明タッチパネルにおいては、一
対の透明導電性フィルムの両方の透明導電性フィルムに
多層反射防止膜が設けられているが、上側透明１１電性
フイルム又は下側透明ＩＰ電性フィルムのみに多層反射
防止膜を設けても良く、多層反射防止膜を片側のみに設
けた場合、両側に設けた場合よりも反射防止効果は劣る
が、本発明の目的を達成しつる。
対の透明導電性フィルムの両方の透明導電性フィルムに
多層反射防止膜が設けられているが、上側透明１１電性
フイルム又は下側透明ＩＰ電性フィルムのみに多層反射
防止膜を設けても良く、多層反射防止膜を片側のみに設
けた場合、両側に設けた場合よりも反射防止効果は劣る
が、本発明の目的を達成しつる。
また上記透明タッチパネルにおいて、透明導電性膜を最
外層とする多層反射防止膜とともに非導電面（すなわち
透明タッチパネルの外表面）にも反射防止膜（光学膜厚
λ／４以上３／４λ以下）が設けられていても良く、両
面に反射防止膜を有する透明２ｇ電性フィルムは透明導
電性膜を最外層とする多層反射防止層のみ有するものに
比べ反射率特性が更に改良される。この場合、非１ｍ面
の反射防止膜は一般に用いられている低屈折率膜単層膜
あるいは低屈折率膜層を最外層とする多層反射防止膜の
いずれでもよいが、広い波長域でより低反射が実現でき
る多層反射防止膜であるのが好ましい。一般に利用され
ている反射防止膜は絶縁層であるが、本発明の透明導電
性フィルムを用いた透明タッチパネルにおいて内側導電
面反射防止膜は透明導電性膜を最外層とする多層反射防
止膜であるため導電性は全く損われない。又スイッチン
グ時の接触抵抗、作動力も状来のタイプと比較して全く
変わらない。その一方で多層反射防止膜としたことによ
り、光学特性及び機械的耐久性が向上するという利点が
ある。
外層とする多層反射防止膜とともに非導電面（すなわち
透明タッチパネルの外表面）にも反射防止膜（光学膜厚
λ／４以上３／４λ以下）が設けられていても良く、両
面に反射防止膜を有する透明２ｇ電性フィルムは透明導
電性膜を最外層とする多層反射防止層のみ有するものに
比べ反射率特性が更に改良される。この場合、非１ｍ面
の反射防止膜は一般に用いられている低屈折率膜単層膜
あるいは低屈折率膜層を最外層とする多層反射防止膜の
いずれでもよいが、広い波長域でより低反射が実現でき
る多層反射防止膜であるのが好ましい。一般に利用され
ている反射防止膜は絶縁層であるが、本発明の透明導電
性フィルムを用いた透明タッチパネルにおいて内側導電
面反射防止膜は透明導電性膜を最外層とする多層反射防
止膜であるため導電性は全く損われない。又スイッチン
グ時の接触抵抗、作動力も状来のタイプと比較して全く
変わらない。その一方で多層反射防止膜としたことによ
り、光学特性及び機械的耐久性が向上するという利点が
ある。
一般に電極グレードで使用される透明導電性膜の表面抵
抗は１０〜１０３Ω／口ぐらいであり、成膜法、成膜温
度その他の条件により異なるものの、光学！！１Ｆ１０
＜［ＩＴＯ］≦λ／４のＩＴＯＩＩＩＪにより、上記表
面抵抗は十分実現可能である。ＩＴＯＷＡの膜厚により
、多層反射防止膜を構成する他のＨＭ体膜の反射防止効
果を最大とするための最適膜厚も変化する。第１低屈折
率膜１ＦｌｊＬ１又は高屈折率膜厚Ｈ（第１低屈折率膜
層Ｌ１が存在しない場合）は多層反射防止層の構成要素
として反射率調整機能をもつほか、密着性、耐熱性その
他の機械的耐久性を高める役割も有する。
抗は１０〜１０３Ω／口ぐらいであり、成膜法、成膜温
度その他の条件により異なるものの、光学！！１Ｆ１０
＜［ＩＴＯ］≦λ／４のＩＴＯＩＩＩＪにより、上記表
面抵抗は十分実現可能である。ＩＴＯＷＡの膜厚により
、多層反射防止膜を構成する他のＨＭ体膜の反射防止効
果を最大とするための最適膜厚も変化する。第１低屈折
率膜１ＦｌｊＬ１又は高屈折率膜厚Ｈ（第１低屈折率膜
層Ｌ１が存在しない場合）は多層反射防止層の構成要素
として反射率調整機能をもつほか、密着性、耐熱性その
他の機械的耐久性を高める役割も有する。
以上、本発明の透明導電性フィルムの応用例を透明タッ
チパネルを例にして説明してきたが、本発明の透明導電
性フィルムの応用分野はこれに限定されるものではなく
、液晶用表示電極、面発熱式防曇膜等の用途にも用いら
れる。
チパネルを例にして説明してきたが、本発明の透明導電
性フィルムの応用分野はこれに限定されるものではなく
、液晶用表示電極、面発熱式防曇膜等の用途にも用いら
れる。
〈実施例〉
以下、実施例を挙げて本発明を更に説明する。
実施例１
ポリエステルフィルム（３００Ｘ２１０ｍ＋＋、１２５
μ厚）の表面に真空蒸着法（真空ｒｌＬ１０−５ＴＯｒ
ｒ、温度１２０℃）により、高屈折率ｇ１層（Ｈ）とし
て酸化チタン（Ｔｉ０２）、第２低屈折率膜層（Ｌ２）
として二酸化ケイ素（Ｓｉ０２）を順次、それぞれの光
学膜厚が１３７．５ｎｓ、４２．６０１１となるように
形成した後、高周波イオ’：／７Ｌ／−ティン’ｊ’ｆ
ｋ （４００Ｗ、１５０Ｖ、Ｉｌｌ素分ＩＥ １０−’
Ｔｏｒｒ）により透明Ｓ電性１ｕｌｌとてＩＴＯＳを光
学膜厚が７２．３ｎ−となるように形成した。得られた
反射防止膜を有する透明導電性フィルムの片面分光反射
率曲線を第３図のＣに示す。
μ厚）の表面に真空蒸着法（真空ｒｌＬ１０−５ＴＯｒ
ｒ、温度１２０℃）により、高屈折率ｇ１層（Ｈ）とし
て酸化チタン（Ｔｉ０２）、第２低屈折率膜層（Ｌ２）
として二酸化ケイ素（Ｓｉ０２）を順次、それぞれの光
学膜厚が１３７．５ｎｓ、４２．６０１１となるように
形成した後、高周波イオ’：／７Ｌ／−ティン’ｊ’ｆ
ｋ （４００Ｗ、１５０Ｖ、Ｉｌｌ素分ＩＥ １０−’
Ｔｏｒｒ）により透明Ｓ電性１ｕｌｌとてＩＴＯＳを光
学膜厚が７２．３ｎ−となるように形成した。得られた
反射防止膜を有する透明導電性フィルムの片面分光反射
率曲線を第３図のＣに示す。
得られた分光反射率曲線に基づき計算することにより構
想反射率１．４％が算出され、良好な反射防止効果が得
られた。又、表面抵抗は２２０Ω／口であった（ポリエ
ステルフィルムの表面に同じ光学膜厚のＩＴＯ膜を直接
形成した透明導電性フィルムの片面分光反射率曲線は第
３図のｂに示す通りであり、構想反射率は１２．２％で
ある。また表面抵抗は２２０Ω／口であった）。
想反射率１．４％が算出され、良好な反射防止効果が得
られた。又、表面抵抗は２２０Ω／口であった（ポリエ
ステルフィルムの表面に同じ光学膜厚のＩＴＯ膜を直接
形成した透明導電性フィルムの片面分光反射率曲線は第
３図のｂに示す通りであり、構想反射率は１２．２％で
ある。また表面抵抗は２２０Ω／口であった）。
実施例２
ポリエステルフィルム（３００ｘ２１０ｍ、１２５μ厚
）の表面に真空蒸着法（真空１！ｔ１０’■０「「、温
度１２０℃）により、第１低屈折率膜層（シ）として二
酸化ケイ素（Ｓｉｎ２）、高屈折率１１１層（Ｈ）とし
て酸化チタン（ＴｉＯ２）、第２低屈折率膜層（Ｌ２）
として二酸化ケイ素（Ｓｉ０２）を順次、それぞれの光
学膜厚が２７．５ｎｓ、１３７．５ｎｍ、４９．５ｎｍ
となるように形成した後、高周波イオンブレーティング
法（４００Ｗ、１５０■、酸素分圧１０−４爾ｒｒ）
ニより透明ｌｉ！性膜層としてＩＴＯ膜を光学膜厚が７
２．３０−となるように形成した。得られた反射防止膜
を有する透明導電性フィルムの片面分光反射率曲線を第
３図ｄに示す。得られた分光反射率曲線に基づき計算す
ることにより構想反射率１゜４％が算出され、良好な反
射防止効果が得られた。
）の表面に真空蒸着法（真空１！ｔ１０’■０「「、温
度１２０℃）により、第１低屈折率膜層（シ）として二
酸化ケイ素（Ｓｉｎ２）、高屈折率１１１層（Ｈ）とし
て酸化チタン（ＴｉＯ２）、第２低屈折率膜層（Ｌ２）
として二酸化ケイ素（Ｓｉ０２）を順次、それぞれの光
学膜厚が２７．５ｎｓ、１３７．５ｎｍ、４９．５ｎｍ
となるように形成した後、高周波イオンブレーティング
法（４００Ｗ、１５０■、酸素分圧１０−４爾ｒｒ）
ニより透明ｌｉ！性膜層としてＩＴＯ膜を光学膜厚が７
２．３０−となるように形成した。得られた反射防止膜
を有する透明導電性フィルムの片面分光反射率曲線を第
３図ｄに示す。得られた分光反射率曲線に基づき計算す
ることにより構想反射率１゜４％が算出され、良好な反
射防止効果が得られた。
又、表面抵抗は２２０Ω／口であった。
実施例３
実施例１．２の成膜条件に従ってポリエステルフィルム
表面に■Ｓ ｉ Ｏ（Ｌ １） ／ Ｔ ｉ ０２（Ｈ
） ／Ｓ ｉ Ｏ（Ｌ２ ） ／ Ｉ Ｔｏ （ＴＯ）
、■ＴｉＯ２（Ｈ）／ＳｉＯ２（Ｌ２ ）／ＩＴＯ（Ｔ
Ｃ） 、■５ｉｎ２ （Ｌｌ ）／ＺｒＯ２（Ｈ）／
Ｓ ｉ Ｏ（Ｌ ２ ） ／ Ｉ Ｔ Ｏ（Ｔ Ｃ）
、■ＩＴＯ（ＴＣ）のみの４ＩＩ類の膜構成で合計２４
１１の多層反射防止膜を形成した。ＩＴＯ膜の光学膜厚
を１３７．５ｎｓ、 １１０ｒ１１、８２．６１１ｍ、
６８ 、８ｎｍ、５５ｎｍ、２７．６ｒｖと変化させ
た場合の各層の光学膜厚と、得られた片面分光反射率曲
線に塁づく構想反射率及び表面抵抗との関係を表１に示
す。
表面に■Ｓ ｉ Ｏ（Ｌ １） ／ Ｔ ｉ ０２（Ｈ
） ／Ｓ ｉ Ｏ（Ｌ２ ） ／ Ｉ Ｔｏ （ＴＯ）
、■ＴｉＯ２（Ｈ）／ＳｉＯ２（Ｌ２ ）／ＩＴＯ（Ｔ
Ｃ） 、■５ｉｎ２ （Ｌｌ ）／ＺｒＯ２（Ｈ）／
Ｓ ｉ Ｏ（Ｌ ２ ） ／ Ｉ Ｔ Ｏ（Ｔ Ｃ）
、■ＩＴＯ（ＴＣ）のみの４ＩＩ類の膜構成で合計２４
１１の多層反射防止膜を形成した。ＩＴＯ膜の光学膜厚
を１３７．５ｎｓ、 １１０ｒ１１、８２．６１１ｍ、
６８ 、８ｎｍ、５５ｎｍ、２７．６ｒｖと変化させ
た場合の各層の光学膜厚と、得られた片面分光反射率曲
線に塁づく構想反射率及び表面抵抗との関係を表１に示
す。
表−１より明らかなように、■、■及び■に示された本
発明の透明導電性フィルムはいずれも■に示された比較
例の透明導電性フィルムに比べ、構想反射率が著しく低
く良好な反射防止効果が得られている。
発明の透明導電性フィルムはいずれも■に示された比較
例の透明導電性フィルムに比べ、構想反射率が著しく低
く良好な反射防止効果が得られている。
実施例１及び実施例２の透明導電性フィルム並びに実施
例３の表−１■、■及び■に示された透明＋［性フィル
ムを用いて得られた透明タッチパネルは、その導電性を
完全に維持しつつタッチパネルの画面のコントラストが
良く、表示がクリアーで画面が見やすいという効果を有
していた。これに対して表−１の■に比較例として示さ
れた、ポリエステルフィルムにＩＴＯ膜のみを被覆して
なる透明Ｓ電性フィルムを用いて得られた透明タッチパ
ネルは、上記の効果を奏することができなかった。
例３の表−１■、■及び■に示された透明＋［性フィル
ムを用いて得られた透明タッチパネルは、その導電性を
完全に維持しつつタッチパネルの画面のコントラストが
良く、表示がクリアーで画面が見やすいという効果を有
していた。これに対して表−１の■に比較例として示さ
れた、ポリエステルフィルムにＩＴＯ膜のみを被覆して
なる透明Ｓ電性フィルムを用いて得られた透明タッチパ
ネルは、上記の効果を奏することができなかった。
〈発明の効果〉
以上詳述したように、本発明の透明導電性フィルムは、
その本来の機能である導電性等を完全に維持しつつ、そ
の欠点である反射性を著しく軽減させたので、例えば透
明タッチパネルに応用した場合タッチパネル画面のコン
トラストが良く、表示がクリアーであり、画面が見やす
い等の利点をもたらす。また本発明の透明導電性フィル
ムは同時に機械的耐久性が向上しているので、その応用
製品の機械的耐久性も向上するという利点がある。
その本来の機能である導電性等を完全に維持しつつ、そ
の欠点である反射性を著しく軽減させたので、例えば透
明タッチパネルに応用した場合タッチパネル画面のコン
トラストが良く、表示がクリアーであり、画面が見やす
い等の利点をもたらす。また本発明の透明導電性フィル
ムは同時に機械的耐久性が向上しているので、その応用
製品の機械的耐久性も向上するという利点がある。
第１図は本発明の透明導電性フィルムを用いて得られた
透明タッチパネルの一例を示す概略図、第２図は従来の
透明導電性フィルムを用いて得られた透明タッチパネル
を示す概略図、第３図は本発明の透明導電性フィルム等
の分光反射率曲線を示すグラフである。 １・・・ベースフィルム ２・・・第１低屈折率Ｉｌ！Ｊ層（Ｌｌ）３・・・高屈
折率１１１層（Ｈ） ４・・・第２低屈折率膜Ｅ！（Ｌ２） ５・・・透明導電性膜（ＴＣ） ６・・・スペーサ− 第１図 第２図 １・・・ベースフィルム ６・・・スペーサー 第３図 波長（ｎｍ）
透明タッチパネルの一例を示す概略図、第２図は従来の
透明導電性フィルムを用いて得られた透明タッチパネル
を示す概略図、第３図は本発明の透明導電性フィルム等
の分光反射率曲線を示すグラフである。 １・・・ベースフィルム ２・・・第１低屈折率Ｉｌ！Ｊ層（Ｌｌ）３・・・高屈
折率１１１層（Ｈ） ４・・・第２低屈折率膜Ｅ！（Ｌ２） ５・・・透明導電性膜（ＴＣ） ６・・・スペーサ− 第１図 第２図 １・・・ベースフィルム ６・・・スペーサー 第３図 波長（ｎｍ）
Claims (2)
- （１）透明基板上に透明導電性膜層を最外層とする多層
反射防止膜を設けたことを特徴とする透明導電性フィル
ム。 - （２）基板側から外方に向けて数えて第１層が第１低屈
折率膜層Ｌ＿１（光学膜厚０≦［Ｌ＿１］≦λ／４、但
しλは中心波長５００〜６００ｎｍ）であり、第２層が
高屈折率膜層Ｈ（光学膜厚λ／８≦［Ｈ］≦λ／４）で
あり、第３層が第２低屈折率膜層Ｌ＿２（光学膜厚０≦
［Ｌ＿２］≦λ／４）であり、第４層（最外層）が透明
導電性膜層ＴＣ（光学膜厚０＜［ＴＣ］≦λ／４）であ
る多層膜により、前記の多層反射膜が構成されている、
特許請求の範囲第１項記載の透明導電性フィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10152587A JP2509215B2 (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 | 反射防止能を有する透明導電性フイルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10152587A JP2509215B2 (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 | 反射防止能を有する透明導電性フイルム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63265625A true JPS63265625A (ja) | 1988-11-02 |
| JP2509215B2 JP2509215B2 (ja) | 1996-06-19 |
Family
ID=14302898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10152587A Expired - Lifetime JP2509215B2 (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 | 反射防止能を有する透明導電性フイルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2509215B2 (ja) |
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-
1987
- 1987-04-24 JP JP10152587A patent/JP2509215B2/ja not_active Expired - Lifetime
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