JPS6318325B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6318325B2 JPS6318325B2 JP54137815A JP13781579A JPS6318325B2 JP S6318325 B2 JPS6318325 B2 JP S6318325B2 JP 54137815 A JP54137815 A JP 54137815A JP 13781579 A JP13781579 A JP 13781579A JP S6318325 B2 JPS6318325 B2 JP S6318325B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- section
- belt
- transport
- conveyance
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- Expired
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 29
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 26
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体ウエハ搬送装置における半導
体ウエハの搬送方向転換装置に関する。
体ウエハの搬送方向転換装置に関する。
従来より、半導体ウエハ搬送装置として、エア
ーベアリング方式による装置、搬送ベルトによる
装置等が知られている。
ーベアリング方式による装置、搬送ベルトによる
装置等が知られている。
かかる装置において、半導体ウエハの搬送方向
を転換させて各工程に搬送するには、次のような
装置により行なわれていた。すなわちその一つの
装置は第１図に示すように、搬送路１の交差点２
に、ヒンジ結合させたストツパー３を設け、この
ストツパーにより搬送方向以外の搬送路を遮断
し、半導体ウエハ４をストツパー３の側面に衝突
させて搬送方向を転換していた。また、他の装置
は第２図に示すように搬送路１の交差点２に回転
盤５を設け、半導体ウエハ４が回転盤５上に搬送
されて来たときこれを検知し、回転盤５を搬送方
向に回転させて搬送方向を転換していた。
を転換させて各工程に搬送するには、次のような
装置により行なわれていた。すなわちその一つの
装置は第１図に示すように、搬送路１の交差点２
に、ヒンジ結合させたストツパー３を設け、この
ストツパーにより搬送方向以外の搬送路を遮断
し、半導体ウエハ４をストツパー３の側面に衝突
させて搬送方向を転換していた。また、他の装置
は第２図に示すように搬送路１の交差点２に回転
盤５を設け、半導体ウエハ４が回転盤５上に搬送
されて来たときこれを検知し、回転盤５を搬送方
向に回転させて搬送方向を転換していた。
しかしながらかかる装置においては、半導体ウ
エハをストツパーに衝突させたときウエハエツジ
のチツピングが生ずると共に、ストツパー駆動装
置、ウエハ検知装置および回転盤駆動装置等が必
要であり、このために機構が複雑となり装置全体
が大型化するという難点があつた。
エハをストツパーに衝突させたときウエハエツジ
のチツピングが生ずると共に、ストツパー駆動装
置、ウエハ検知装置および回転盤駆動装置等が必
要であり、このために機構が複雑となり装置全体
が大型化するという難点があつた。
本発明は以上の難点を解消すべくなされたもの
で、ストツパーおよび回転盤を用いることなく、
搬送ベルトのみによつて搬送方向を転換する半導
体ウエハの搬送方向転換装置を提供することを目
的とする。
で、ストツパーおよび回転盤を用いることなく、
搬送ベルトのみによつて搬送方向を転換する半導
体ウエハの搬送方向転換装置を提供することを目
的とする。
以下、図面に基いて本発明の一実施例を詳述す
る。
る。
第３図に示すように、半導体ウエハ６を搬送す
る交差する搬送路７，８の交差点に、中心を交差
点と一致させたブロツク９が設置されている。こ
のブロツク９には搬送路７，８に沿つて４個の間
隙１０…が穿設され、この間隙１０の長手方向に
平行になるようにベルト車１１，１２が跨設され
ている。また、ブロツク９の中心には、側面にプ
ーリー１３…を設けたプーリー台１４が設置され
ている。
る交差する搬送路７，８の交差点に、中心を交差
点と一致させたブロツク９が設置されている。こ
のブロツク９には搬送路７，８に沿つて４個の間
隙１０…が穿設され、この間隙１０の長手方向に
平行になるようにベルト車１１，１２が跨設され
ている。また、ブロツク９の中心には、側面にプ
ーリー１３…を設けたプーリー台１４が設置され
ている。
而して、ベルト車１１，１２には、短ベルト１
５が巻き掛けられて張設され、この短ベルト１５
と平行に長ベルト１６が、ベルト車１１とプーリ
ー１３に巻き掛けられて張設されて搬送部１７が
構成されている。１８は駆動ベルトで、モータ１
９と連動するプーリー２０の回転をベルト車１１
に伝達するためのものである。他の間隙１０…に
ついても同様の構成で、平行に配置されたベルト
車とこれらに張設せられた長短ベルトにより搬送
部が構成され、モータ、駆動ベルト等から成る駆
動装置（図示せず）により各々独立に動作され
る。そして、各搬送部１７…は、その一端をブロ
ツク９の中心に集中されて、井型に組合され、交
差する搬送路の一部を構成する。２１はガイドで
半導体ウエハを案内するためのものである。
５が巻き掛けられて張設され、この短ベルト１５
と平行に長ベルト１６が、ベルト車１１とプーリ
ー１３に巻き掛けられて張設されて搬送部１７が
構成されている。１８は駆動ベルトで、モータ１
９と連動するプーリー２０の回転をベルト車１１
に伝達するためのものである。他の間隙１０…に
ついても同様の構成で、平行に配置されたベルト
車とこれらに張設せられた長短ベルトにより搬送
部が構成され、モータ、駆動ベルト等から成る駆
動装置（図示せず）により各々独立に動作され
る。そして、各搬送部１７…は、その一端をブロ
ツク９の中心に集中されて、井型に組合され、交
差する搬送路の一部を構成する。２１はガイドで
半導体ウエハを案内するためのものである。
また、搬送部は、第４図に示すように、同一長
さのベルト２２，２３をベルト車１１，１２に張
設して構成してもよい。この場合はプーリー台は
不用であり、ベルト２２，２３は、一本の帯状ベ
ルトとすることもできる。
さのベルト２２，２３をベルト車１１，１２に張
設して構成してもよい。この場合はプーリー台は
不用であり、ベルト２２，２３は、一本の帯状ベ
ルトとすることもできる。
なお、第３，４図のベルトの間隔は、半導体ウ
エハの大きさに応じて一定に保持され、ベルトの
断面形状は、半導体ウエハとベルトとの接触面積
が小さい方が好ましいことから、丸型とするのが
好ましい。
エハの大きさに応じて一定に保持され、ベルトの
断面形状は、半導体ウエハとベルトとの接触面積
が小さい方が好ましいことから、丸型とするのが
好ましい。
次に本発明により搬送方向を転換する場合を長
短ベルトを用いた搬送方向転換装置について説明
する。第５図において、半導体ウエハをＡ部から
Ｄ部の方向へ方向転換させるものとすると、Ａ部
の長短搬送ベルト１５，１６をＡ部→Ｃ部の方向
へ回転させ、Ｄ部の長短搬送ベルトをＢ部→Ｄ部
の方向へ回転させる。このとき、Ｂ部およびＣ部
の搬送ベルトは停止させておく。そうすると、Ａ
部の搬送ベルトによりＡ部→Ｃ部方向へ搬送され
て来た半導体ウエハはプーリー台１４の上部に到
達し、そこでＤ部の搬送ベルトによりＢ部→Ｄ部
の方向へ方向転換されて搬送される。なお、この
場合Ｂ部の搬送ベルトをＢ部→Ｄ部の方向へ回転
させておいてもよい。半導体ウエハをＡ部からＢ
部の方向へ方向転換させる場合も前述と同様にす
ればよく、Ａ部からＣ部の方向へ直進させる場合
は、ＡおよびＣ部の搬送ベルトをＡ部→Ｃ部の方
向へ回転させ、ＢおよびＤ部の搬送ベルトを停止
させればよい。なお、第４図のようにベルトを張
設した装置についても上述と同様であるのでその
設明は省略する。
短ベルトを用いた搬送方向転換装置について説明
する。第５図において、半導体ウエハをＡ部から
Ｄ部の方向へ方向転換させるものとすると、Ａ部
の長短搬送ベルト１５，１６をＡ部→Ｃ部の方向
へ回転させ、Ｄ部の長短搬送ベルトをＢ部→Ｄ部
の方向へ回転させる。このとき、Ｂ部およびＣ部
の搬送ベルトは停止させておく。そうすると、Ａ
部の搬送ベルトによりＡ部→Ｃ部方向へ搬送され
て来た半導体ウエハはプーリー台１４の上部に到
達し、そこでＤ部の搬送ベルトによりＢ部→Ｄ部
の方向へ方向転換されて搬送される。なお、この
場合Ｂ部の搬送ベルトをＢ部→Ｄ部の方向へ回転
させておいてもよい。半導体ウエハをＡ部からＢ
部の方向へ方向転換させる場合も前述と同様にす
ればよく、Ａ部からＣ部の方向へ直進させる場合
は、ＡおよびＣ部の搬送ベルトをＡ部→Ｃ部の方
向へ回転させ、ＢおよびＤ部の搬送ベルトを停止
させればよい。なお、第４図のようにベルトを張
設した装置についても上述と同様であるのでその
設明は省略する。
以上は、搬送路を十文字に交差させた場合につ
いて説明したが、本発明は搬送路を筋かい、Ｔ字
状等に交差させた場合についても同様に適用でき
るものである。
いて説明したが、本発明は搬送路を筋かい、Ｔ字
状等に交差させた場合についても同様に適用でき
るものである。
以上説明したように、本発明によれば、ガイド
レール、ストツパー等を使用しないで搬送ベルト
を組合せてその回転により半導体ウエハの搬送方
向を転換するようにしたから、装置がコンパクト
になると共に、ストツパー等に衝突して生じてい
るウエハエツジのチツピングの発生が減少され、
更にストツパーの運動をさせる機構等を省略でき
るので構造が単純で信頼性の向上が図れる。ま
た、本装置のＡ〜Ｄ部（第５図）に半導体ウエハ
を処理する各装置を接続すれば、本装置と各装置
の駆動源を兼用することができ省力化が図れる。
レール、ストツパー等を使用しないで搬送ベルト
を組合せてその回転により半導体ウエハの搬送方
向を転換するようにしたから、装置がコンパクト
になると共に、ストツパー等に衝突して生じてい
るウエハエツジのチツピングの発生が減少され、
更にストツパーの運動をさせる機構等を省略でき
るので構造が単純で信頼性の向上が図れる。ま
た、本装置のＡ〜Ｄ部（第５図）に半導体ウエハ
を処理する各装置を接続すれば、本装置と各装置
の駆動源を兼用することができ省力化が図れる。
第１図、第２図は、従来の搬送方向転換装置の
説明図、第３図は、本発明の一実施例を示す説明
図、第４図は、本発明の他の実施例を示す説明
図、第５図は、本装置の動作を説明するための説
明図である。 ４，６……半導体ウエハ、９……ブロツク、１
１，１２……ベルト車、１４……プーリー台、１
５，１６，２２，２３……ベルト、１７……搬送
部。
説明図、第３図は、本発明の一実施例を示す説明
図、第４図は、本発明の他の実施例を示す説明
図、第５図は、本装置の動作を説明するための説
明図である。 ４，６……半導体ウエハ、９……ブロツク、１
１，１２……ベルト車、１４……プーリー台、１
５，１６，２２，２３……ベルト、１７……搬送
部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 互いに平行に配置された少なくとも３本の軸
に夫々に設けられたベルト車間に少なくとも２本
の長短の搬送ベルトを張架した複数の搬送部と、
この搬送部のベルト車を回転させる駆動装置と、
前記複数の搬送部の一端の長い搬送ベルトを一個
所に入り組ませた交差部とを具備し、この交差部
に半導体ウエハを供給する搬送部と、前記交差部
より半導体ウエハを受け取る搬送部とを動作させ
て半導体ウエハの搬送方向を決めることを特徴と
する半導体ウエハの搬送方向転換装置。 ２ 前記交差部より半導体ウエハを受け取る搬送
部と対向する搬送部を、前記半導体ウエハを受け
取る搬送部と同一方向に動作させたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項の半導体ウエハの搬送
方向転換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13781579A JPS5662329A (en) | 1979-10-26 | 1979-10-26 | Conveying direction turning device for semiconductor wafer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13781579A JPS5662329A (en) | 1979-10-26 | 1979-10-26 | Conveying direction turning device for semiconductor wafer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5662329A JPS5662329A (en) | 1981-05-28 |
| JPS6318325B2 true JPS6318325B2 (ja) | 1988-04-18 |
Family
ID=15207496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13781579A Granted JPS5662329A (en) | 1979-10-26 | 1979-10-26 | Conveying direction turning device for semiconductor wafer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5662329A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0527373Y2 (ja) * | 1986-11-04 | 1993-07-13 | ||
| JP4906491B2 (ja) * | 2006-12-14 | 2012-03-28 | 西研グラフィックス株式会社 | 刷版加工装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50126175A (ja) * | 1974-03-22 | 1975-10-03 |
-
1979
- 1979-10-26 JP JP13781579A patent/JPS5662329A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50126175A (ja) * | 1974-03-22 | 1975-10-03 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5662329A (en) | 1981-05-28 |
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| JPS6318325B2 (ja) | ||
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