JPH0527373Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0527373Y2 JPH0527373Y2 JP1986170012U JP17001286U JPH0527373Y2 JP H0527373 Y2 JPH0527373 Y2 JP H0527373Y2 JP 1986170012 U JP1986170012 U JP 1986170012U JP 17001286 U JP17001286 U JP 17001286U JP H0527373 Y2 JPH0527373 Y2 JP H0527373Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conveyor
- substrate
- transmission roller
- conveyance
- pulley
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 74
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 32
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Separation, Sorting, Adjustment, Or Bending Of Sheets To Be Conveyed (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Relays Between Conveyors (AREA)
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
《産業上の利用分野》
この考案は半導体ウエハ、ガラス基板等の薄板
状の基板を一方より受け取り、方向を転換して他
方へ引き渡すのに用いられる基板の搬送方向転換
装置に関するものである。
状の基板を一方より受け取り、方向を転換して他
方へ引き渡すのに用いられる基板の搬送方向転換
装置に関するものである。
《従来の技術》
前記半導体ウエハやガラス基板等の薄板状の基
板の搬送方向を転換する装置としては、第1従来
例として紹介する例えば第2図及び第3図に示す
ものが知られている(特開昭58−48934号公報。) これは、基板101を搬送する一対の供給側搬
送ベルト102と、この供給側搬送ベルト102
の下側にあつて、供給側搬送ベルト102と交差
する方向にプーリ取付台103に取付けられた複
数のプーリ104…を介して略W字状に張設され
た一対の受入側搬送ベルト105と、プーリ取付
台103を所定ストロークだけ上下動させる偏心
カム106とを備えて成り供給側搬送ベルト10
2で基板101を矢印A方向から交差部へ供給し
た後に、偏心カム106を回動させてプーリ取付
台103を所定ストロークだけ上昇させることに
より受入側搬送ベルト105を供給側搬送ベルト
102よりもわずかに高く位置させて基板101
を受入側搬送ベルト105上に受け取り、次いで
受入側搬送ベルト105を作動させて交差部より
基板101を矢印B方向へ搬送するように構成さ
れている。
板の搬送方向を転換する装置としては、第1従来
例として紹介する例えば第2図及び第3図に示す
ものが知られている(特開昭58−48934号公報。) これは、基板101を搬送する一対の供給側搬
送ベルト102と、この供給側搬送ベルト102
の下側にあつて、供給側搬送ベルト102と交差
する方向にプーリ取付台103に取付けられた複
数のプーリ104…を介して略W字状に張設され
た一対の受入側搬送ベルト105と、プーリ取付
台103を所定ストロークだけ上下動させる偏心
カム106とを備えて成り供給側搬送ベルト10
2で基板101を矢印A方向から交差部へ供給し
た後に、偏心カム106を回動させてプーリ取付
台103を所定ストロークだけ上昇させることに
より受入側搬送ベルト105を供給側搬送ベルト
102よりもわずかに高く位置させて基板101
を受入側搬送ベルト105上に受け取り、次いで
受入側搬送ベルト105を作動させて交差部より
基板101を矢印B方向へ搬送するように構成さ
れている。
また、前記第1従来例のように薄板状の基板の
搬送方向を転換する装置とは搬送対象物が異なる
装置(プリント基板を搬送)であるが、基板の搬
送方向を転換する装置として、第2従来例として
紹介する特開昭59−215800号公報に開示されたも
のが知られている。
搬送方向を転換する装置とは搬送対象物が異なる
装置(プリント基板を搬送)であるが、基板の搬
送方向を転換する装置として、第2従来例として
紹介する特開昭59−215800号公報に開示されたも
のが知られている。
これは、水平回動自在に設けられたプリント基
板受け渡し用コンベアと、コンベア搬送駆動手段
と、コンベアで搬入されてきたプリント基板を検
知するセンサとをそれぞれ回動可能に設けられた
回動ユニツト上に搭載し、方向切換手段で回動ユ
ニツトを回動して当該コンベアを基板受け取り位
置とプリント基板引き渡し位置との間で回動さ
せ、一方より送られてきたプリント基板を当該コ
ンベアで受け取り、方向を転換して他方へ引き渡
すように構成されている。
板受け渡し用コンベアと、コンベア搬送駆動手段
と、コンベアで搬入されてきたプリント基板を検
知するセンサとをそれぞれ回動可能に設けられた
回動ユニツト上に搭載し、方向切換手段で回動ユ
ニツトを回動して当該コンベアを基板受け取り位
置とプリント基板引き渡し位置との間で回動さ
せ、一方より送られてきたプリント基板を当該コ
ンベアで受け取り、方向を転換して他方へ引き渡
すように構成されている。
《考案が解決しようとする問題点》
しかしながら上記第1従来例のものは、交差部
での基板の受け渡し位置を規制する手段を有しな
いため、基板がオーバーランした場合等のように
供給側搬送ベルトにおける停止位置の前後にズレ
量が、そのまま受入側搬送ベルトにおける基板載
置位置の搬送方向側方へのズレ量となつて搬送さ
れることになるので、このズレ量を修正するため
の規制手段が必要となる。
での基板の受け渡し位置を規制する手段を有しな
いため、基板がオーバーランした場合等のように
供給側搬送ベルトにおける停止位置の前後にズレ
量が、そのまま受入側搬送ベルトにおける基板載
置位置の搬送方向側方へのズレ量となつて搬送さ
れることになるので、このズレ量を修正するため
の規制手段が必要となる。
このような難点を解消するには、例えば第2図
の仮想線で示すように一対の当接ピン107,1
07を昇降可能に設けるとともに、供給側搬送ベ
ルト102で基板101を交差部へ供給するに際
し、基板101の周縁をこの当接ピン107,1
07に当接させて位置決めし、次いで偏心カム1
06を回動させて受入側搬送ベルト105上へ基
板を受け取り、次いで当接ピン107,107を
基板101の搬送に邪魔にならない高さに下降さ
せ、受入側搬送ベルト105を作動させて基板1
01を矢印B方向へ搬送するように構成すること
も考えられる。
の仮想線で示すように一対の当接ピン107,1
07を昇降可能に設けるとともに、供給側搬送ベ
ルト102で基板101を交差部へ供給するに際
し、基板101の周縁をこの当接ピン107,1
07に当接させて位置決めし、次いで偏心カム1
06を回動させて受入側搬送ベルト105上へ基
板を受け取り、次いで当接ピン107,107を
基板101の搬送に邪魔にならない高さに下降さ
せ、受入側搬送ベルト105を作動させて基板1
01を矢印B方向へ搬送するように構成すること
も考えられる。
しかしながら、この改良案では方向転換した基
板の中心位置のズレは解消できるが、基板101
が極めて薄く割れ易いことから、当接ピン107
に当接した際に無理な力が作用して欠損したり、
基板101の下面とベルトとの摩擦により塵埃を
生じる等の難点が残る。
板の中心位置のズレは解消できるが、基板101
が極めて薄く割れ易いことから、当接ピン107
に当接した際に無理な力が作用して欠損したり、
基板101の下面とベルトとの摩擦により塵埃を
生じる等の難点が残る。
上記第2従来例のものは、コンベア搬送駆動用
の駆動モータやセンサが回動ユニツト上に搭載さ
れているため、この装置が作動するたびに電気配
線等が捩れて断線し、故障の原因になる。
の駆動モータやセンサが回動ユニツト上に搭載さ
れているため、この装置が作動するたびに電気配
線等が捩れて断線し、故障の原因になる。
また、ストツパにプリント基板を当接すること
によりコンベア上にて停止位置決めするため、半
導体ウエハやガラス基板のような薄板状の基板で
は、基板が欠損したり、基板下面とコンベアとの
摩擦により塵埃を生じる虞がある。
によりコンベア上にて停止位置決めするため、半
導体ウエハやガラス基板のような薄板状の基板で
は、基板が欠損したり、基板下面とコンベアとの
摩擦により塵埃を生じる虞がある。
本考案はこのような事情を考慮してなされたも
ので、電気配線等の断線を回避して装置の信頼性
を高め、かつ、当接ピンやストツパを用いずとも
方向転換後の基板の中心位置のズレを生じないよ
うにすることによつて薄板状の基板の欠損や下面
での発塵を解消した基板の搬送方向転換装置を提
供することを技術課題とする。
ので、電気配線等の断線を回避して装置の信頼性
を高め、かつ、当接ピンやストツパを用いずとも
方向転換後の基板の中心位置のズレを生じないよ
うにすることによつて薄板状の基板の欠損や下面
での発塵を解消した基板の搬送方向転換装置を提
供することを技術課題とする。
《課題を解決するための手段》
本考案は上記課題を解決するものとして以下の
ように構成される。
ように構成される。
即ち、水平回動自在に設けられた基板受け渡し
用コンベアと、当該コンベアを基板受け取り位置
と基板引き渡し位置との間で回動させる方向切換
手段と、コンベア搬送駆動手段と、コンベアにお
ける基板の有無を検知するセンサとを備えて成
り、一方より送られてきた基板を当該コンベア上
に受け取り、方向を転換して他方へ引き渡すよう
に構成した基板の搬送方向転換位置において、 コンベア搬送駆動手段が、コンベアの伝動ロー
ラと、コンベアの下方に位置しコンベアと一体的
に回動するように設けられた中間伝動ローラと、
搬送駆動モータとともに中間伝動ローラの下方に
回動不能に定置された駆動プーリとを備え、駆動
プーリと中間伝動ローラの第一プーリとをコンベ
アの回動中心線上に配置して無端ベルトを巻き掛
け、中間伝動ローラの第2プーリとコンベアの伝
動ローラとの無端ベルトを巻き掛けて成り、 上記センサはコンベアの回動中心線上で、コン
ベア搬送路の下側位置に、回動不能に固定配置し
たことを特徴とするものである。
用コンベアと、当該コンベアを基板受け取り位置
と基板引き渡し位置との間で回動させる方向切換
手段と、コンベア搬送駆動手段と、コンベアにお
ける基板の有無を検知するセンサとを備えて成
り、一方より送られてきた基板を当該コンベア上
に受け取り、方向を転換して他方へ引き渡すよう
に構成した基板の搬送方向転換位置において、 コンベア搬送駆動手段が、コンベアの伝動ロー
ラと、コンベアの下方に位置しコンベアと一体的
に回動するように設けられた中間伝動ローラと、
搬送駆動モータとともに中間伝動ローラの下方に
回動不能に定置された駆動プーリとを備え、駆動
プーリと中間伝動ローラの第一プーリとをコンベ
アの回動中心線上に配置して無端ベルトを巻き掛
け、中間伝動ローラの第2プーリとコンベアの伝
動ローラとの無端ベルトを巻き掛けて成り、 上記センサはコンベアの回動中心線上で、コン
ベア搬送路の下側位置に、回動不能に固定配置し
たことを特徴とするものである。
《作用》
本考案では、基板受け渡し用コンベア上に基板
を受け取るには、方向切換手段で当該コンベアを
基板受け取り位置に位置させ、コンベアをコンベ
ア搬送駆動手段で作動させ、一方より送られてき
た基板をコンベア上に受け取り、コンベアの回動
中心線上で、コンベア搬送路の下側位置に、回動
不能に固定配置したセンサが「基板有り」を検知
することにより、コンベア搬送駆動手段が作動停
止し、基板をコンベア上に受け取つた状態で停止
する。
を受け取るには、方向切換手段で当該コンベアを
基板受け取り位置に位置させ、コンベアをコンベ
ア搬送駆動手段で作動させ、一方より送られてき
た基板をコンベア上に受け取り、コンベアの回動
中心線上で、コンベア搬送路の下側位置に、回動
不能に固定配置したセンサが「基板有り」を検知
することにより、コンベア搬送駆動手段が作動停
止し、基板をコンベア上に受け取つた状態で停止
する。
このとき、コンベア搬送駆動手段の中間伝動ロ
ーラは、コンベアの下方に位置しコンベアと一体
的に回動するが、駆動プーリとともに中間伝動ロ
ーラの下方に回動不能に定置された搬送駆動モー
タは回動しない。つまり、駆動モータの駆動プー
リと中間伝動ローラとはコンベアの回動中心線上
に配置され、基板受け取り位置にある状態では両
者の軸心は交差しながら回転伝動する。また、セ
ンサも同様にコンベアの回動中心線上で、コンベ
ア搬送路の下側位置に、回動不能に固定配置した
状態で基板の有無を検知する。
ーラは、コンベアの下方に位置しコンベアと一体
的に回動するが、駆動プーリとともに中間伝動ロ
ーラの下方に回動不能に定置された搬送駆動モー
タは回動しない。つまり、駆動モータの駆動プー
リと中間伝動ローラとはコンベアの回動中心線上
に配置され、基板受け取り位置にある状態では両
者の軸心は交差しながら回転伝動する。また、セ
ンサも同様にコンベアの回動中心線上で、コンベ
ア搬送路の下側位置に、回動不能に固定配置した
状態で基板の有無を検知する。
なお、上記中間伝動ローラ介在させて、この中
間伝動ローラの第2プーリとコンベアの伝動ロー
ラとに無端ベルトを巻き掛ける構成を採ることに
より、センサをコンベアの回動中心線上で、コン
ベア搬送路の下側位置に、回動不能に固定配置す
ることが可能になる。
間伝動ローラの第2プーリとコンベアの伝動ロー
ラとに無端ベルトを巻き掛ける構成を採ることに
より、センサをコンベアの回動中心線上で、コン
ベア搬送路の下側位置に、回動不能に固定配置す
ることが可能になる。
これにより、コンベアが回動してもセンサの検
出位置には変動が無く、基板の有無を確実に検出
することができる。
出位置には変動が無く、基板の有無を確実に検出
することができる。
方向を転換して基板を他方へ引き渡すには、当
該コンベアを方向転換手段で基板引き渡し位置に
位置させ、コンベアをコンベア搬送駆動手段で作
動させ、基板を送り出すことにより引き渡す。
該コンベアを方向転換手段で基板引き渡し位置に
位置させ、コンベアをコンベア搬送駆動手段で作
動させ、基板を送り出すことにより引き渡す。
これにより、コンベアが回動してもセンサや搬
送駆動モータに接続した電線が捩れて断線するの
を回避することができる。
送駆動モータに接続した電線が捩れて断線するの
を回避することができる。
コンベアは基板の受け取り、引き渡しに際し、
その搬送速度が供給側及び排出側搬送装置の搬送
速度と同期しており、基板とベルト間でスリツプ
を生じることはない。また、基板を受け取つた後
の停止位置は、コンベアの惰性でオーバーランの
過不足を生ずることもあり得るが、コンベアが基
板を載置したまま回動して基板引き渡し位置へ方
向転換することから、オーバーランの過不足が基
板の載置位置のズレを生じさせることにはならな
い。
その搬送速度が供給側及び排出側搬送装置の搬送
速度と同期しており、基板とベルト間でスリツプ
を生じることはない。また、基板を受け取つた後
の停止位置は、コンベアの惰性でオーバーランの
過不足を生ずることもあり得るが、コンベアが基
板を載置したまま回動して基板引き渡し位置へ方
向転換することから、オーバーランの過不足が基
板の載置位置のズレを生じさせることにはならな
い。
《実施例》
以下本考案に係る搬送方向転換装置の一実施例
について、第1図に基づいて説明する。
について、第1図に基づいて説明する。
この搬送方向転換装置は水平回動自在に設けら
れた基板受け渡し用コンベア2と、このコンベア
2を基板受け取り位置Cと基板引き渡し位置Dと
の間で回動させる方向切換手段13と、コンベア
2を回転駆動するコンベア搬送駆動手段25と、
略回動中心位置に配設され基板1の有無を検知す
るセンサ10とを備えて成る。
れた基板受け渡し用コンベア2と、このコンベア
2を基板受け取り位置Cと基板引き渡し位置Dと
の間で回動させる方向切換手段13と、コンベア
2を回転駆動するコンベア搬送駆動手段25と、
略回動中心位置に配設され基板1の有無を検知す
るセンサ10とを備えて成る。
基板受け渡し用コンベア2は、後述する方向切
換手段13の支持アーム20の上端にねじ止め固
定され、基板受け取り位置Cと基板引き渡し位置
との間で水平回動自在に支持されたコンベアアー
ム3と、このコンベアアーム3の両側に設けら
れ、それぞれ2対の搬送用無端ベルト4,4及び
5,5を連設させて巻き掛けた伝動ローラ6,
6,7,7,8,8とを備えて成り、後述するコ
ンベア搬送駆動手段25で伝動ローラ7を回転駆
動することにより、無端ベルト4,4,5,5上
に基板1を受け取り、あるいは、受け取つた基板
1を搬送して引き渡すように構成されている。
換手段13の支持アーム20の上端にねじ止め固
定され、基板受け取り位置Cと基板引き渡し位置
との間で水平回動自在に支持されたコンベアアー
ム3と、このコンベアアーム3の両側に設けら
れ、それぞれ2対の搬送用無端ベルト4,4及び
5,5を連設させて巻き掛けた伝動ローラ6,
6,7,7,8,8とを備えて成り、後述するコ
ンベア搬送駆動手段25で伝動ローラ7を回転駆
動することにより、無端ベルト4,4,5,5上
に基板1を受け取り、あるいは、受け取つた基板
1を搬送して引き渡すように構成されている。
センサ10は、上記コンベアアーム3の回動中
心部をくり抜いて孔9をあけ、この孔9内に遊嵌
せしめ、図示しない本体基枠に取付金具11を介
して固設されており、コンベア2上の基板1の有
無を検知することにより、その検知信号に基づい
てコンベア搬送駆動手段25を停止するように構
成されている。なおセンサ10としては、光セン
サ等が用いられ、断線防止の見地より回動するコ
ンベア3に固設せず、現実に実施する場合、無端
ベルト5,35の着脱の容易性を考慮して、コン
ベア2の伝動ローラ7をコンベアアーム3の横側
面に片持ち状に設け、また、センサ10をコンベ
ア搬送路(無端ベルト5,5上の基板載置面)の
下側位置で、本体基枠に回動不能に固定配置する
のが良い。
心部をくり抜いて孔9をあけ、この孔9内に遊嵌
せしめ、図示しない本体基枠に取付金具11を介
して固設されており、コンベア2上の基板1の有
無を検知することにより、その検知信号に基づい
てコンベア搬送駆動手段25を停止するように構
成されている。なおセンサ10としては、光セン
サ等が用いられ、断線防止の見地より回動するコ
ンベア3に固設せず、現実に実施する場合、無端
ベルト5,35の着脱の容易性を考慮して、コン
ベア2の伝動ローラ7をコンベアアーム3の横側
面に片持ち状に設け、また、センサ10をコンベ
ア搬送路(無端ベルト5,5上の基板載置面)の
下側位置で、本体基枠に回動不能に固定配置する
のが良い。
方向切換手段13は図示しない本体基枠に取付
金具14及び軸受金具15を介して設けられた正
逆転する方向切換用駆動モータ16と、減速器1
7を介して回転駆動軸18に回動可能に連結され
た略L字状の支持アーム20と、支持アーム20
の回動位置C,Dを位置制御するため回転駆動軸
18に固設された位置決め用デイスク21及び当
該デイスク21の位置決めマークを検知する2個
の検知器23,24を備えて成り、支持アーム2
0の位置Cと位置Dとの間でその方向を切換え得
るように構成されている。
金具14及び軸受金具15を介して設けられた正
逆転する方向切換用駆動モータ16と、減速器1
7を介して回転駆動軸18に回動可能に連結され
た略L字状の支持アーム20と、支持アーム20
の回動位置C,Dを位置制御するため回転駆動軸
18に固設された位置決め用デイスク21及び当
該デイスク21の位置決めマークを検知する2個
の検知器23,24を備えて成り、支持アーム2
0の位置Cと位置Dとの間でその方向を切換え得
るように構成されている。
なお、上記方向切換手段13の駆動モータ16
に代えてエアシリンダやソレノイド等のアクチユ
エータを用いることもできる。
に代えてエアシリンダやソレノイド等のアクチユ
エータを用いることもできる。
コンベア搬送駆動手段25は、コンベア2の伝
動ローラ7と、コンベア2の下方に位置しコンベ
ア2と一体に回動するように前記支持アーム20
に固設した軸受部材26に枢支した中間伝動ロー
ラ27と、中間伝動ローラ27の下方にあつて図
示しない本体基枠に固定金具30を介して設けら
れた搬送駆動モータ31と、減速手段32を介し
てこの駆動モータ31に連動連結された駆動プー
リ33とを備えて成り、駆動プーリ33と中間伝
動ローラ27の第1プーリ28とをコンベア2の
回動中心線Z上に配設してこれらに断面円形の弾
性無端ベルト34を巻き掛け、中間伝動ローラ2
7の第2プーリ29とコンベア2の伝動ローラ7
とに同じく弾性無端ベルト35を巻き掛けて構成
されている。従つて、コンベア2が基板受け取り
位置Cにある状態では駆動プーリ33の軸心Xに
対して中間伝動ローラ27の軸心Yは略90°の交
差角度を有しながら回転伝動するようになる。か
かる構成は、前記光センサ10の固定配置と同様
搬送駆動モータ31を固定したことにより、コン
ベア2が回動しても光センサ10や搬送駆動モー
タ31に接続した電線がねじれないため、その断
線を防止するという効果が得られる。殊に連続稼
働する装置にあつては断線に原因する故障発生率
を極度に低減させることができるので非常に重要
な効果を奏する。
動ローラ7と、コンベア2の下方に位置しコンベ
ア2と一体に回動するように前記支持アーム20
に固設した軸受部材26に枢支した中間伝動ロー
ラ27と、中間伝動ローラ27の下方にあつて図
示しない本体基枠に固定金具30を介して設けら
れた搬送駆動モータ31と、減速手段32を介し
てこの駆動モータ31に連動連結された駆動プー
リ33とを備えて成り、駆動プーリ33と中間伝
動ローラ27の第1プーリ28とをコンベア2の
回動中心線Z上に配設してこれらに断面円形の弾
性無端ベルト34を巻き掛け、中間伝動ローラ2
7の第2プーリ29とコンベア2の伝動ローラ7
とに同じく弾性無端ベルト35を巻き掛けて構成
されている。従つて、コンベア2が基板受け取り
位置Cにある状態では駆動プーリ33の軸心Xに
対して中間伝動ローラ27の軸心Yは略90°の交
差角度を有しながら回転伝動するようになる。か
かる構成は、前記光センサ10の固定配置と同様
搬送駆動モータ31を固定したことにより、コン
ベア2が回動しても光センサ10や搬送駆動モー
タ31に接続した電線がねじれないため、その断
線を防止するという効果が得られる。殊に連続稼
働する装置にあつては断線に原因する故障発生率
を極度に低減させることができるので非常に重要
な効果を奏する。
以下、上記実施例装置の動作について説明す
る。
る。
基板1を受け取るには、方向切換用駆動モータ
16を逆転させて支持アーム20を回動位置Cに
回動させることにより基板受け渡し用コンベア2
を受け取り位置Cに位置させるとともに、搬送駆
動モータ31を駆動することにより中間伝動ロー
ラ27を介してコンベア2を作動させて矢印A方
向より搬入されてくる基板1をその無端ベルト
4,5上に受け取り、センサ10が「基板有り」
を検知することにより搬送駆動モータ31を停止
させてコンベア上のほぼ中央部に基板1を受け取
つた状態になる。
16を逆転させて支持アーム20を回動位置Cに
回動させることにより基板受け渡し用コンベア2
を受け取り位置Cに位置させるとともに、搬送駆
動モータ31を駆動することにより中間伝動ロー
ラ27を介してコンベア2を作動させて矢印A方
向より搬入されてくる基板1をその無端ベルト
4,5上に受け取り、センサ10が「基板有り」
を検知することにより搬送駆動モータ31を停止
させてコンベア上のほぼ中央部に基板1を受け取
つた状態になる。
基板1を引き渡すには、方向切換用駆動モータ
16を正転させて支持アーム20を回動位置Dに
回動させることにより基板受け渡し用コンベア2
を引き渡し位置Dに位置させる。次いで搬送駆動
モータ31を駆動することによりコンベア2を作
動させて、コンベア上に載置されている基板1を
矢印B方向へ搬出する。
16を正転させて支持アーム20を回動位置Dに
回動させることにより基板受け渡し用コンベア2
を引き渡し位置Dに位置させる。次いで搬送駆動
モータ31を駆動することによりコンベア2を作
動させて、コンベア上に載置されている基板1を
矢印B方向へ搬出する。
以上の動作を繰り返すことにより、次々と搬入
されてくる基板の方向を転換するようになつてい
る。
されてくる基板の方向を転換するようになつてい
る。
なお、上記実施例においては方向転換角度が略
直角の場合について図示したが、これに限らず、
任意の方向転換角度を選択することができること
は云うまでもない。
直角の場合について図示したが、これに限らず、
任意の方向転換角度を選択することができること
は云うまでもない。
《考案の効果》
(イ) 上記説明から明らかなように本考案に係る搬
送方向転換装置によれば、基板受け渡し用コン
ベアを基板受け取り位置と基板引き渡し位置と
の間で方向切換手段によつて水平回転させて方
向転換し、一方より送られてきた基板をコンベ
ア上に受け取り、方向を転換して他方に引き渡
すように構成したから、基板と搬送ベルト間で
スリツプが生じることなく、かつ、当該ピンや
規制手段を用いずとも方向転換後の基板の中心
位置のズレを生じることもない。これにより発
塵や基板の欠損をなくし基板を搬送することが
できる。
送方向転換装置によれば、基板受け渡し用コン
ベアを基板受け取り位置と基板引き渡し位置と
の間で方向切換手段によつて水平回転させて方
向転換し、一方より送られてきた基板をコンベ
ア上に受け取り、方向を転換して他方に引き渡
すように構成したから、基板と搬送ベルト間で
スリツプが生じることなく、かつ、当該ピンや
規制手段を用いずとも方向転換後の基板の中心
位置のズレを生じることもない。これにより発
塵や基板の欠損をなくし基板を搬送することが
できる。
(ロ) 以上の説明で明らかなように、本考案ではコ
ンベア搬送駆動手段の中間伝動ローラは、コン
ベアの下方に位置しコンベアと一体的に回動す
るが、中間伝動ローラの下方に配置された搬送
駆動モータは固定配置されたまま、コンベアを
搬送駆動し、センサも同様にコンベアの回動中
心に固定配置した状態で基板の有無を検知する
ので、コンベアが回動してもセンサや搬送駆動
モータに接続した電線が捩れて断線するのを回
避することができる。
ンベア搬送駆動手段の中間伝動ローラは、コン
ベアの下方に位置しコンベアと一体的に回動す
るが、中間伝動ローラの下方に配置された搬送
駆動モータは固定配置されたまま、コンベアを
搬送駆動し、センサも同様にコンベアの回動中
心に固定配置した状態で基板の有無を検知する
ので、コンベアが回動してもセンサや搬送駆動
モータに接続した電線が捩れて断線するのを回
避することができる。
これにより、信頼性の高い搬送方向転換装置を
提供できる。
提供できる。
第1図は本考案に係る搬送方向転換装置の一部
分解斜視図、第2図は従来例による搬送方向転換
装置の平面図、第3図はその側面図である。 1……基板、2……基板受け渡し用コンベア、
10……センサ、13……方向切換手段、25…
…コンベア搬送駆動手段、27……中間伝動ロー
ラ、28……第1プーリ、29……第2プーリ、
31……駆動モータ、33……駆動プーリ、3
4,35……無端ベルト。
分解斜視図、第2図は従来例による搬送方向転換
装置の平面図、第3図はその側面図である。 1……基板、2……基板受け渡し用コンベア、
10……センサ、13……方向切換手段、25…
…コンベア搬送駆動手段、27……中間伝動ロー
ラ、28……第1プーリ、29……第2プーリ、
31……駆動モータ、33……駆動プーリ、3
4,35……無端ベルト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 水平回動自在に設けられた基板受け渡し用コン
ベアと、当該コンベアを基板受け取り位置と基板
引き渡し位置との間で回動させる方向切換手段
と、コンベア搬送駆動手段と、コンベアにおける
基板の有無を検知するセンサとを備えて成り、一
方より送られてきた基板を当該コンベア上に受け
取り、方向を転換して他方へ引き渡すように構成
した基板の搬送方向転換位置において、 コンベア搬送駆動手段が、コンベアの伝動ロー
ラと、コンベアの下方に位置しコンベアと一体的
に回動するように設けられた中間伝動ローラと、
搬送駆動モータとともに中間伝動ローラの下方に
回動不能に定置された駆動プーリとを備え、駆動
プーリと中間伝動ローラの第一プーリとをコンベ
アの回動中心線上に配置して無端ベルトを巻き掛
け、中間伝動ローラの第2プーリとコンベアの伝
動ローラとの無端ベルトを巻き掛けて成り、 上記センサはコンベアの回動中心線上で、コン
ベア搬送路の下側位置に、回動不能に固定配置し
たことを特徴とする基板の搬送方向転換装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986170012U JPH0527373Y2 (ja) | 1986-11-04 | 1986-11-04 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986170012U JPH0527373Y2 (ja) | 1986-11-04 | 1986-11-04 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6376722U JPS6376722U (ja) | 1988-05-21 |
JPH0527373Y2 true JPH0527373Y2 (ja) | 1993-07-13 |
Family
ID=31104351
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986170012U Expired - Lifetime JPH0527373Y2 (ja) | 1986-11-04 | 1986-11-04 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0527373Y2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5662329A (en) * | 1979-10-26 | 1981-05-28 | Toshiba Corp | Conveying direction turning device for semiconductor wafer |
JPS5784146A (en) * | 1980-11-14 | 1982-05-26 | Fujitsu Ltd | Detection of existence of wafer |
JPS59117230A (ja) * | 1982-12-24 | 1984-07-06 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 部品移載装置 |
JPS59215800A (ja) * | 1983-05-24 | 1984-12-05 | 松下電器産業株式会社 | プリント基板搬送方向変換装置 |
-
1986
- 1986-11-04 JP JP1986170012U patent/JPH0527373Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5662329A (en) * | 1979-10-26 | 1981-05-28 | Toshiba Corp | Conveying direction turning device for semiconductor wafer |
JPS5784146A (en) * | 1980-11-14 | 1982-05-26 | Fujitsu Ltd | Detection of existence of wafer |
JPS59117230A (ja) * | 1982-12-24 | 1984-07-06 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 部品移載装置 |
JPS59215800A (ja) * | 1983-05-24 | 1984-12-05 | 松下電器産業株式会社 | プリント基板搬送方向変換装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6376722U (ja) | 1988-05-21 |
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