JPH0527373Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 この考案は半導体ウエハ、ガラス基板等の薄板
状の基板を一方より受け取り、方向を転換して他
方へ引き渡すのに用いられる基板の搬送方向転換
装置に関するものである。

《従来の技術》 前記半導体ウエハやガラス基板等の薄板状の基
板の搬送方向を転換する装置としては、第１従来
例として紹介する例えば第２図及び第３図に示す
ものが知られている（特開昭58−48934号公報。） これは、基板１０１を搬送する一対の供給側搬
送ベルト１０２と、この供給側搬送ベルト１０２
の下側にあつて、供給側搬送ベルト１０２と交差
する方向にプーリ取付台１０３に取付けられた複
数のプーリ１０４…を介して略Ｗ字状に張設され
た一対の受入側搬送ベルト１０５と、プーリ取付
台１０３を所定ストロークだけ上下動させる偏心
カム１０６とを備えて成り供給側搬送ベルト１０
２で基板１０１を矢印Ａ方向から交差部へ供給し
た後に、偏心カム１０６を回動させてプーリ取付
台１０３を所定ストロークだけ上昇させることに
より受入側搬送ベルト１０５を供給側搬送ベルト
１０２よりもわずかに高く位置させて基板１０１
を受入側搬送ベルト１０５上に受け取り、次いで
受入側搬送ベルト１０５を作動させて交差部より
基板１０１を矢印Ｂ方向へ搬送するように構成さ
れている。

また、前記第１従来例のように薄板状の基板の
搬送方向を転換する装置とは搬送対象物が異なる
装置（プリント基板を搬送）であるが、基板の搬
送方向を転換する装置として、第２従来例として
紹介する特開昭59−215800号公報に開示されたも
のが知られている。

これは、水平回動自在に設けられたプリント基
板受け渡し用コンベアと、コンベア搬送駆動手段
と、コンベアで搬入されてきたプリント基板を検
知するセンサとをそれぞれ回動可能に設けられた
回動ユニツト上に搭載し、方向切換手段で回動ユ
ニツトを回動して当該コンベアを基板受け取り位
置とプリント基板引き渡し位置との間で回動さ
せ、一方より送られてきたプリント基板を当該コ
ンベアで受け取り、方向を転換して他方へ引き渡
すように構成されている。

《考案が解決しようとする問題点》 しかしながら上記第１従来例のものは、交差部
での基板の受け渡し位置を規制する手段を有しな
いため、基板がオーバーランした場合等のように
供給側搬送ベルトにおける停止位置の前後にズレ
量が、そのまま受入側搬送ベルトにおける基板載
置位置の搬送方向側方へのズレ量となつて搬送さ
れることになるので、このズレ量を修正するため
の規制手段が必要となる。

このような難点を解消するには、例えば第２図
の仮想線で示すように一対の当接ピン１０７，１
０７を昇降可能に設けるとともに、供給側搬送ベ
ルト１０２で基板１０１を交差部へ供給するに際
し、基板１０１の周縁をこの当接ピン１０７，１
０７に当接させて位置決めし、次いで偏心カム１
０６を回動させて受入側搬送ベルト１０５上へ基
板を受け取り、次いで当接ピン１０７，１０７を
基板１０１の搬送に邪魔にならない高さに下降さ
せ、受入側搬送ベルト１０５を作動させて基板１
０１を矢印Ｂ方向へ搬送するように構成すること
も考えられる。

しかしながら、この改良案では方向転換した基
板の中心位置のズレは解消できるが、基板１０１
が極めて薄く割れ易いことから、当接ピン１０７
に当接した際に無理な力が作用して欠損したり、
基板１０１の下面とベルトとの摩擦により塵埃を
生じる等の難点が残る。

上記第２従来例のものは、コンベア搬送駆動用
の駆動モータやセンサが回動ユニツト上に搭載さ
れているため、この装置が作動するたびに電気配
線等が捩れて断線し、故障の原因になる。

また、ストツパにプリント基板を当接すること
によりコンベア上にて停止位置決めするため、半
導体ウエハやガラス基板のような薄板状の基板で
は、基板が欠損したり、基板下面とコンベアとの
摩擦により塵埃を生じる虞がある。

本考案はこのような事情を考慮してなされたも
ので、電気配線等の断線を回避して装置の信頼性
を高め、かつ、当接ピンやストツパを用いずとも
方向転換後の基板の中心位置のズレを生じないよ
うにすることによつて薄板状の基板の欠損や下面
での発塵を解消した基板の搬送方向転換装置を提
供することを技術課題とする。

《課題を解決するための手段》 本考案は上記課題を解決するものとして以下の
ように構成される。

即ち、水平回動自在に設けられた基板受け渡し
用コンベアと、当該コンベアを基板受け取り位置
と基板引き渡し位置との間で回動させる方向切換
手段と、コンベア搬送駆動手段と、コンベアにお
ける基板の有無を検知するセンサとを備えて成
り、一方より送られてきた基板を当該コンベア上
に受け取り、方向を転換して他方へ引き渡すよう
に構成した基板の搬送方向転換位置において、 コンベア搬送駆動手段が、コンベアの伝動ロー
ラと、コンベアの下方に位置しコンベアと一体的
に回動するように設けられた中間伝動ローラと、
搬送駆動モータとともに中間伝動ローラの下方に
回動不能に定置された駆動プーリとを備え、駆動
プーリと中間伝動ローラの第一プーリとをコンベ
アの回動中心線上に配置して無端ベルトを巻き掛
け、中間伝動ローラの第２プーリとコンベアの伝
動ローラとの無端ベルトを巻き掛けて成り、 上記センサはコンベアの回動中心線上で、コン
ベア搬送路の下側位置に、回動不能に固定配置し
たことを特徴とするものである。

《作用》 本考案では、基板受け渡し用コンベア上に基板
を受け取るには、方向切換手段で当該コンベアを
基板受け取り位置に位置させ、コンベアをコンベ
ア搬送駆動手段で作動させ、一方より送られてき
た基板をコンベア上に受け取り、コンベアの回動
中心線上で、コンベア搬送路の下側位置に、回動
不能に固定配置したセンサが「基板有り」を検知
することにより、コンベア搬送駆動手段が作動停
止し、基板をコンベア上に受け取つた状態で停止
する。

このとき、コンベア搬送駆動手段の中間伝動ロ
ーラは、コンベアの下方に位置しコンベアと一体
的に回動するが、駆動プーリとともに中間伝動ロ
ーラの下方に回動不能に定置された搬送駆動モー
タは回動しない。つまり、駆動モータの駆動プー
リと中間伝動ローラとはコンベアの回動中心線上
に配置され、基板受け取り位置にある状態では両
者の軸心は交差しながら回転伝動する。また、セ
ンサも同様にコンベアの回動中心線上で、コンベ
ア搬送路の下側位置に、回動不能に固定配置した
状態で基板の有無を検知する。

なお、上記中間伝動ローラ介在させて、この中
間伝動ローラの第２プーリとコンベアの伝動ロー
ラとに無端ベルトを巻き掛ける構成を採ることに
より、センサをコンベアの回動中心線上で、コン
ベア搬送路の下側位置に、回動不能に固定配置す
ることが可能になる。

これにより、コンベアが回動してもセンサの検
出位置には変動が無く、基板の有無を確実に検出
することができる。

方向を転換して基板を他方へ引き渡すには、当
該コンベアを方向転換手段で基板引き渡し位置に
位置させ、コンベアをコンベア搬送駆動手段で作
動させ、基板を送り出すことにより引き渡す。

これにより、コンベアが回動してもセンサや搬
送駆動モータに接続した電線が捩れて断線するの
を回避することができる。

コンベアは基板の受け取り、引き渡しに際し、
その搬送速度が供給側及び排出側搬送装置の搬送
速度と同期しており、基板とベルト間でスリツプ
を生じることはない。また、基板を受け取つた後
の停止位置は、コンベアの惰性でオーバーランの
過不足を生ずることもあり得るが、コンベアが基
板を載置したまま回動して基板引き渡し位置へ方
向転換することから、オーバーランの過不足が基
板の載置位置のズレを生じさせることにはならな
い。

《実施例》 以下本考案に係る搬送方向転換装置の一実施例
について、第１図に基づいて説明する。

この搬送方向転換装置は水平回動自在に設けら
れた基板受け渡し用コンベア２と、このコンベア
２を基板受け取り位置Ｃと基板引き渡し位置Ｄと
の間で回動させる方向切換手段１３と、コンベア
２を回転駆動するコンベア搬送駆動手段２５と、
略回動中心位置に配設され基板１の有無を検知す
るセンサ１０とを備えて成る。

基板受け渡し用コンベア２は、後述する方向切
換手段１３の支持アーム２０の上端にねじ止め固
定され、基板受け取り位置Ｃと基板引き渡し位置
との間で水平回動自在に支持されたコンベアアー
ム３と、このコンベアアーム３の両側に設けら
れ、それぞれ２対の搬送用無端ベルト４，４及び
５，５を連設させて巻き掛けた伝動ローラ６，
６，７，７，８，８とを備えて成り、後述するコ
ンベア搬送駆動手段２５で伝動ローラ７を回転駆
動することにより、無端ベルト４，４，５，５上
に基板１を受け取り、あるいは、受け取つた基板
１を搬送して引き渡すように構成されている。

センサ１０は、上記コンベアアーム３の回動中
心部をくり抜いて孔９をあけ、この孔９内に遊嵌
せしめ、図示しない本体基枠に取付金具１１を介
して固設されており、コンベア２上の基板１の有
無を検知することにより、その検知信号に基づい
てコンベア搬送駆動手段２５を停止するように構
成されている。なおセンサ１０としては、光セン
サ等が用いられ、断線防止の見地より回動するコ
ンベア３に固設せず、現実に実施する場合、無端
ベルト５，３５の着脱の容易性を考慮して、コン
ベア２の伝動ローラ７をコンベアアーム３の横側
面に片持ち状に設け、また、センサ１０をコンベ
ア搬送路（無端ベルト５，５上の基板載置面）の
下側位置で、本体基枠に回動不能に固定配置する
のが良い。

方向切換手段１３は図示しない本体基枠に取付
金具１４及び軸受金具１５を介して設けられた正
逆転する方向切換用駆動モータ１６と、減速器１
７を介して回転駆動軸１８に回動可能に連結され
た略Ｌ字状の支持アーム２０と、支持アーム２０
の回動位置Ｃ，Ｄを位置制御するため回転駆動軸
１８に固設された位置決め用デイスク２１及び当
該デイスク２１の位置決めマークを検知する２個
の検知器２３，２４を備えて成り、支持アーム２
０の位置Ｃと位置Ｄとの間でその方向を切換え得
るように構成されている。

なお、上記方向切換手段１３の駆動モータ１６
に代えてエアシリンダやソレノイド等のアクチユ
エータを用いることもできる。

コンベア搬送駆動手段２５は、コンベア２の伝
動ローラ７と、コンベア２の下方に位置しコンベ
ア２と一体に回動するように前記支持アーム２０
に固設した軸受部材２６に枢支した中間伝動ロー
ラ２７と、中間伝動ローラ２７の下方にあつて図
示しない本体基枠に固定金具３０を介して設けら
れた搬送駆動モータ３１と、減速手段３２を介し
てこの駆動モータ３１に連動連結された駆動プー
リ３３とを備えて成り、駆動プーリ３３と中間伝
動ローラ２７の第１プーリ２８とをコンベア２の
回動中心線Ｚ上に配設してこれらに断面円形の弾
性無端ベルト３４を巻き掛け、中間伝動ローラ２
７の第２プーリ２９とコンベア２の伝動ローラ７
とに同じく弾性無端ベルト３５を巻き掛けて構成
されている。従つて、コンベア２が基板受け取り
位置Ｃにある状態では駆動プーリ３３の軸心Ｘに
対して中間伝動ローラ２７の軸心Ｙは略90°の交
差角度を有しながら回転伝動するようになる。か
かる構成は、前記光センサ１０の固定配置と同様
搬送駆動モータ３１を固定したことにより、コン
ベア２が回動しても光センサ１０や搬送駆動モー
タ３１に接続した電線がねじれないため、その断
線を防止するという効果が得られる。殊に連続稼
働する装置にあつては断線に原因する故障発生率
を極度に低減させることができるので非常に重要
な効果を奏する。

以下、上記実施例装置の動作について説明す
る。

基板１を受け取るには、方向切換用駆動モータ
１６を逆転させて支持アーム２０を回動位置Ｃに
回動させることにより基板受け渡し用コンベア２
を受け取り位置Ｃに位置させるとともに、搬送駆
動モータ３１を駆動することにより中間伝動ロー
ラ２７を介してコンベア２を作動させて矢印Ａ方
向より搬入されてくる基板１をその無端ベルト
４，５上に受け取り、センサ１０が「基板有り」
を検知することにより搬送駆動モータ３１を停止
させてコンベア上のほぼ中央部に基板１を受け取
つた状態になる。

基板１を引き渡すには、方向切換用駆動モータ
１６を正転させて支持アーム２０を回動位置Ｄに
回動させることにより基板受け渡し用コンベア２
を引き渡し位置Ｄに位置させる。次いで搬送駆動
モータ３１を駆動することによりコンベア２を作
動させて、コンベア上に載置されている基板１を
矢印Ｂ方向へ搬出する。

以上の動作を繰り返すことにより、次々と搬入
されてくる基板の方向を転換するようになつてい
る。

なお、上記実施例においては方向転換角度が略
直角の場合について図示したが、これに限らず、
任意の方向転換角度を選択することができること
は云うまでもない。

《考案の効果》 (イ) 上記説明から明らかなように本考案に係る搬
送方向転換装置によれば、基板受け渡し用コン
ベアを基板受け取り位置と基板引き渡し位置と
の間で方向切換手段によつて水平回転させて方
向転換し、一方より送られてきた基板をコンベ
ア上に受け取り、方向を転換して他方に引き渡
すように構成したから、基板と搬送ベルト間で
スリツプが生じることなく、かつ、当該ピンや
規制手段を用いずとも方向転換後の基板の中心
位置のズレを生じることもない。これにより発
塵や基板の欠損をなくし基板を搬送することが
できる。

(ロ) 以上の説明で明らかなように、本考案ではコ
ンベア搬送駆動手段の中間伝動ローラは、コン
ベアの下方に位置しコンベアと一体的に回動す
るが、中間伝動ローラの下方に配置された搬送
駆動モータは固定配置されたまま、コンベアを
搬送駆動し、センサも同様にコンベアの回動中
心に固定配置した状態で基板の有無を検知する
ので、コンベアが回動してもセンサや搬送駆動
モータに接続した電線が捩れて断線するのを回
避することができる。

これにより、信頼性の高い搬送方向転換装置を
提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る搬送方向転換装置の一部
分解斜視図、第２図は従来例による搬送方向転換
装置の平面図、第３図はその側面図である。 １……基板、２……基板受け渡し用コンベア、
１０……センサ、１３……方向切換手段、２５…
…コンベア搬送駆動手段、２７……中間伝動ロー
ラ、２８……第１プーリ、２９……第２プーリ、
３１……駆動モータ、３３……駆動プーリ、３
４，３５……無端ベルト。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 水平回動自在に設けられた基板受け渡し用コン
   ベアと、当該コンベアを基板受け取り位置と基板
   引き渡し位置との間で回動させる方向切換手段
   と、コンベア搬送駆動手段と、コンベアにおける
   基板の有無を検知するセンサとを備えて成り、一
   方より送られてきた基板を当該コンベア上に受け
   取り、方向を転換して他方へ引き渡すように構成
   した基板の搬送方向転換位置において、 コンベア搬送駆動手段が、コンベアの伝動ロー
   ラと、コンベアの下方に位置しコンベアと一体的
   に回動するように設けられた中間伝動ローラと、
   搬送駆動モータとともに中間伝動ローラの下方に
   回動不能に定置された駆動プーリとを備え、駆動
   プーリと中間伝動ローラの第一プーリとをコンベ
   アの回動中心線上に配置して無端ベルトを巻き掛
   け、中間伝動ローラの第２プーリとコンベアの伝
   動ローラとの無端ベルトを巻き掛けて成り、 上記センサはコンベアの回動中心線上で、コン
   ベア搬送路の下側位置に、回動不能に固定配置し
   たことを特徴とする基板の搬送方向転換装置。