JPH06329251A - ウエハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ウエハを搬送しながら位置合せすることが可能
なウエハ搬送装置を提供することにある。 【構成】二本の搬送ベルト２、３を有し、搬送ベルト
２、３がウエハ７を支持しながら走行してウエハ７を搬
送するウエハ搬送装置１において、搬送ベルト２、３が
ウエハ７を支持したまま回転させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、半導体ウエハ
をベルト搬送するウエハ搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体素子の製造の際には、Ｓ
i ウエハが、各製造プロセスを実行するための作業ステ
−ジへ搬送される。搬送のための手段として、ベルトが
利用されている。二本のベルトが平行に架設され、ウエ
ハがベルトの上に水平に載置される。そして、両ベルト
が所定の搬送方向へ走行し、ウエハがベルトに載置され
たまま移動する。

【０００３】ウエハに対して所定のプロセスを実行する
ために、ウエハを位置合せする必要がある。ウエハの位
置合せは、通常、専用の位置合せ装置が利用されてい
る。ウエハを位置合せするにあたって、その時点のウエ
ハの位置を認識する必要がある。ウエハの位置を認識す
るために、ウエハのオリフラ（オリエンテ−ション・フ
ラット）が利用される。また、位置合せ装置は搬送装置
に組込まれている。そして、ウエハは、搬送装置によっ
て所定位置に搬送された後、搬送装置から位置合せ装置
に移される。

【０００４】ウエハの搬送や位置合せのための技術を示
した文献として、特開昭６２−１６２３４２号公報や特
開平０２−１３７２４３号公報等がある。前者には、ウ
エハを搭載台とガイドレ−ルとによって搬送し、回転台
を用いてウエハを位置合せする方法が示されている。ま
た、後者には、溝が形成されたベルトを利用してウエハ
を搬送する方法が示されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
にウエハをベルトやレ−ルに載せて搬送する場合、搬送
装置に位置合せ装置を組合わせる必要がある。このた
め、搬送装置は、位置合せ装置の分だけ大型化する。さ
らに、搬送装置と位置合せ装置とには別々の動力源が用
いられるため、この動力源によっても搬送装置が大型化
する。そして、動力源の数が多いと、動力制御の技術も
複雑になる。

【０００６】また、ウエハが搬送装置から位置合せ装置
に移されるので、移し代えた際にウエハに過度な衝撃が
加わると、ウエハが破損する場合もある。さらに、ウエ
ハはベルトやレ−ルの上に水平に乗せられるので、搬送
の際にはウエハの表面が上を向いている。このため、環
境中の粉塵がウエハの表面に付着し易い。

【０００７】請求項１の発明の目的とするところは、ウ
エハを搬送しながら位置合せすることが可能なウエハ搬
送装置を提供することにある。また、請求項３の発明の
目的とするところは、ウエハに粉塵が付着しにくいウエ
ハ搬送装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するために請求項１の発明は、少なくとも二本の走行
体を有し、走行体がウエハを支持しながら走行してウエ
ハを搬送するウエハ搬送装置において、走行体がウエハ
を支持したまま回転させる。

【０００９】また、請求項３の発明は、少なくとも二本
の走行体を有し、走行体がウエハを支持しながら走行し
てウエハを搬送するウエハ搬送装置において、走行体を
上下に配設し、ウエハを立てて搬送する。

【００１０】そして、請求項１の発明は、搬送しながら
ウエハを位置合せできるようにした。また、請求項３の
発明は、粉塵がウエハに付着することを防止できるよう
にした。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の各実施例を図１〜図５に基づ
いて説明する。図１及び図２は本発明の第１実施例の要
部を示すもので、図中の符号１はウエハ搬送装置であ
る。このウエハ搬送装置１は、走行体としての第１及び
第２の搬送ベルト（以下、ベルトと称する）２、３、ウ
エハガイド４、及び、ウエハ位置センサ（以下、位置セ
ンサと称する）５を備えている。これらのうち、ベルト
２、３は互いに平行に離間している。さらに、ベルト
２、３は平坦な載置面６、６を有しており、これら載置
面６、６は同じ高さに位置している。そして、載置面
６、６にウエハ７が載置されており、ウエハ７はベルト
２、３によって支持されている。

【００１２】さらに、ベルト２、３はベルト駆動装置８
に繋がっており、この駆動装置の動力を受けて走行す
る。ベルト２、３の走行方向は、矢印Ａ、Ａで示すよう
に同方向、及び、矢印Ｂ、Ｃで示す逆方向に設定されて
いる。同方向／逆方向の切換えは、動力切換手段９によ
って行われる。ここで、動力切換手段として、一般的な
種々の機構を採用することができる。

【００１３】ウエハガイド４は二つのガイド体１０、１
０を有しており、これらガイド体１０、１０は各ベルト
２、３の外側に配置されている。さらに、ガイド体１
０、１０は、略垂直なガイド面１１、１１を有してお
り、ガイド面１１、１１は互いに平行に対向している。
そして、ガイド面１１、１１の間隔はウエハ７の直径
（全幅）に略一致している。

【００１４】位置センサ５は光学式のもので、発光素子
１２を有している。発光素子１２は一列に並んだ複数の
発光体１３…を有しており、これら発光体１３…の配列
はベルト３（及び２）に沿っている。発光体１３…が配
設されている長さは、ウエハ７の直径よりも大きい。発
光素子１２は、ガイド体１０、１０の間に位置してい
る。また、発光素子１２は、ウエハ７がウエハガイド４
に到達した際に、ウエハ７の下側に位置する。発光体１
３…は上向きに光を発し、この光は上方に配置された受
光素子（図示しない）によって検出される。

【００１５】つぎに、上述のウエハ搬送装置１の作用を
説明する。まず、ベルト２、３が同方向（矢印Ａ、Ａ）
に走行し、ウエハ７を所定の搬送方向へ搬送する。ウエ
ハ７は、ウエハガイド４のガイド体１０、１０の間に進
入し、外周面１４をガイド体１０、１０に接する。

【００１６】ウエハ７が発光素子１２の上に到達する
と、発光体の１３…の光が遮られ、位置センサ５の検知
結果に基づいてウエハ７の外周端が認識される。そし
て、ウエハ７の位置が、オリフラ（オリエンテ−ション
・フラット）１５を利用して検出される。

【００１７】ここで、発光体１３…の間隔の設定、或い
は、光センサを利用したオリフラ１５の検出法として、
一般的な種々の技術を採用できる。また、位置センサと
して、投受光素子を備え、ウエハ７に当り反射してもど
って来た光を検知すタイプのものを利用することも可能
である。

【００１８】図２（ａ）に示すように、ウエハ７が位置
ずれしたまま搬送されている場合、図２（ｂ）に示すよ
うに、ベルト２、３が逆方向に走行する。ウエハ７はベ
ルト２、３に載置されているので、ベルト２、３が逆方
向に走行することにより、ウエハ７に回転力が作用し、
ウエハ７が矢印Ｄで示すように回転する。そして、オリ
フラ１５に基づいてウエハ７が位置合せされ、ウエハ７
の位置合せが完了した後には、ベルト２、３が再び同方
向に走行する。

【００１９】すなわち、上述のようなウエハ搬送装置１
においては、ベルト２、３によってウエハ７が回転させ
られるので、専用の位置合せ装置を用いることなく、ウ
エハ７を位置合せできる。このため、位置合せ装置、及
び、位置合せ装置のための動力源が不要である。したが
って、搬送装置の小型化が可能である。また、ウエハ７
を位置合せ装置に移し代える必要がないので、ウエハ７
の破損を防止することができる。

【００２０】なお、本発明は、要旨を逸脱しない範囲で
種々に変形することが可能である。本実施例では、ベル
ト２、３が逆方向に走行してウエハ７を回転させるが、
例えば、ベルト２、３に速度差を設定するためだけで
も、ウエハ７を回転させることが可能である。

【００２１】また、本実施例では一つの位置センサ５に
よってウエハ７の位置が検出されるが、例えば、複数の
位置センサ５を適宜配設することによって、オリフラ１
４の位置を任意に合せることが可能になる。

【００２２】また、ガイドレ−ルに沿ってウエハ搭載台
が移動するタイプの搬送装置においても、ガイドレ−ル
を互いに逆方向に移動させれば、同様の効果を奏するこ
とができる。

【００２３】つぎに、本発明の第２実施例を図３（ａ）
及び（ｂ）に基づいて説明する。なお、第１実施例と同
様の部分については、図示や説明を省略する。本実施例
においては、ベルト２、３だけではなく、ウエハガイド
２１のガイド体２２、２３も、矢印Ｄ、Ｅで示すように
互いに逆方向に移動する。ガイド体２２、２３は、ベル
ト２、３の逆走行時にのみ移動し、各ガイド体２２、２
３の移動方向及び速度は、各々に近い側のベルト２、３
と一致している。ガイド体２２、２３を移動させる手段
として、一般的な動力源や動力伝達機構を採用すること
ができる。また、ベルト２、３の走行力をガイド体２
２、２３に伝達することも考えられる。

【００２４】このようにガイド体２２、２３を逆方向に
移動させれば、ウエハ７とガイド体２２、２３との間の
摩擦を低減できる。このため、摩擦を原因とする発塵を
防止できる。

【００２５】なお、ウエハ７の位置検出のために、第１
実施例と同様の位置センサを利用することが可能であ
る。図４及び図５は本発明の第３実施例を示している。

【００２６】本実施例においては、ベルト２、３が上下
に配置されており、高低差を保ったまま、矢印Ａ、Ａで
示すように同方向へ走行する。ベルト２、３の間隔は、
ウエハ７の直径に略一致している。ウエハ７は垂直に立
てられて、ベルト２、３の間に挟まれている。そして、
ウエハ７は立ったまま搬送される。

【００２７】このような、ウエハ搬送装置においては、
ウエハ７が表面１６を側方に向けたまま搬送されるの
で、表面１６に環境中の粉塵が付着しにくい。したがっ
て、粉塵の影響が少ない。また、ウエハ７を寝かせて搬
送する場合に比べて、搬送装置３１の面積が小さい。し
たがって、省スペ−ス化を図れる。さらに、ウエハ７の
表面及び裏面１７のいずれも擦れないので、発塵がほと
んどない。

【００２８】なお、オリフラ１５を下側のベルト３に沿
わせれば、搬送時にウエハ７が位置ずれしにくい。ま
た、第１実施例のようにベルト２、３を逆方向に走行さ
せれば、ウエハ７を位置合せすることもできるまた、ガ
イドレ−ルに沿ってウエハ搭載台が移動するタイプの搬
送装置においても、ガイドレ−ルを上下に配設すれば、
同様の効果を奏することができる。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したように請求項１の発明は、
少なくとも二本の走行体を有し、走行体がウエハを支持
しながら走行してウエハを搬送するウエハ搬送装置にお
いて、走行体がウエハを支持したまま回転させる。

【００３０】したがって、請求項１の発明は、搬送しな
がらウエハを位置合せできるという効果がある。また、
請求項３の発明は、少なくとも二本の走行体を有し、走
行体がウエハを支持しながら走行してウエハを搬送する
ウエハ搬送装置において、走行体を上下に配設し、ウエ
ハを立てて搬送する。したがって、請求項３の発明は、
粉塵がウエハに付着することを防止できるという効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の要部を示す構成図。

【図２】（ａ）はウエハの搬送時を示す説明図、（ｂ）
はウエハ位置合せ時を示す説明図。

【図３】本発明の第２実施例のウエハ搬送装置を示して
おり、（ａ）はウエハの搬送時を示す説明図、（ｂ）は
ウエハ位置合せ時を示す説明図。

【図４】本発明の第３実施例のウエハ搬送装置を示す構
成図。

【図５】（ａ）はウエハの側方から示す構成図、（ｂ）
はウエハの正面から示す構成図。

【符号の説明】

１、２１、３１…ウエハ搬送装置、２、３…搬送ベルト
（走行体）、７…ウエハ。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも二本の走行体を有し、上記走
   行体がウエハを支持しながら走行して上記ウエハを搬送
   するウエハ搬送装置において、上記走行体を相対的に逆
   方向に走行或いは走行速度に差を設定して上記ウエハを
   支持したまま回転させることを特徴とするウエハ搬送装
   置。
2. 【請求項２】 上記ウエハに接して上記ウエハを案内す
   るガイド体を備えるとともに、これらガイド体を上記ウ
   エハの回転方向に応じて移動させることを特徴とする前
   記請求項１記載のウエハ搬送装置。
3. 【請求項３】 少なくとも二本の走行体を有し、上記走
   行体がウエハを支持しながら走行して上記ウエハを搬送
   するウエハ搬送装置において、上記走行体を上下に配設
   し、上記ウエハを立てて搬送することを特徴とするウエ
   ハ搬送装置。