JPS6250425A - 電子機器用銅合金 - Google Patents

電子機器用銅合金

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JPS6250425A
JPS6250425A JP60190605A JP19060585A JPS6250425A JP S6250425 A JPS6250425 A JP S6250425A JP 60190605 A JP60190605 A JP 60190605A JP 19060585 A JP19060585 A JP 19060585A JP S6250425 A JPS6250425 A JP S6250425A
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JP
Japan
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alloy
heat resistance
strength
electronic appliance
copper alloy
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Application number
JP60190605A
Other languages
English (en)
Inventor
Masato Asai
真人 浅井
Shoji Shiga
志賀 章二
Toru Tanigawa
徹 谷川
Yoshimasa Ooyama
大山 好正
Shigeo Shinozaki
篠崎 重雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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Publication date
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    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49579Lead-frames or other flat leads characterised by the materials of the lead frames or layers thereon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
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    • C22C9/00Alloys based on copper
    • C22C9/02Alloys based on copper with tin as the next major constituent
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C9/00Alloys based on copper
    • C22C9/06Alloys based on copper with nickel or cobalt as the next major constituent
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22FCHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
    • C22F1/00Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
    • C22F1/08Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working of copper or alloys based thereon
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    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は強度が高く、導電率及び耐熱性が優れ、かつ加
工性及びメッキ性(ハンダ付は性)が良好な銅合金に関
し、特に半導体集積回路のリードフレームやコネクター
の用途に適したものである。
牟従秦り鼓≠4 −                l       
 〜’           。
〔従来の技術〕
一般に半導体集積回路のリードフレームやコネクター等
には下記の特性が要求されている。
(1)  強度が高く、耐熱性が良いこと(2)  放
熱性、即ち熱伝導性が高いこと(つ)電気伝導性が高い
こと (II)  加工性が優れ、かつメッキ密着性(ハンダ
付は性)樹脂とのモールド性が良いこと以下、本発明が
最も多量に用いられるリードフレームについて、詳細に
記述する。従来半導体集積回路のリードフレームには、
主としてlt2合金(Fa−42wt%Ni )  が
用いられている。この合金は、引張り強さG5Ky/a
J、耐熱性670℃(30分間の加熱により初期強度の
70チの強度になる張度)の優れた特性を示すも、導電
率は3 % lAC3程度と劣るものである。
近年半導1体集積回路は集積度の増大及び小型化と同時
に高信頼性が求められるようになり、集積回路の形態も
従来のDIP型ICからチップキャリアー型、PGA型
等へと変化しつつある。このため集積回路のリードフレ
ームも薄肉、小型化され、同時に42合金を上回る特性
が要求されるようになった。即ち薄肉化による構成部品
の強度低下を防ぐための強度の向上と、集積度の増大に
よる放熱性向上のために熱伝導性と同一特性である導電
率の向上、更に優れた耐熱性と半導体のフレーム上の固
定及び半導体からリードフレームの足の部分の配線に使
う金線ポンディング前処理としてのリードフレーム表面
へのメッキ性及びメッキ密着性及び封止樹脂とのモール
ド性の向上が望まれている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記42合金は導電率が5%lAC3と低く、放熱性が
劣る欠点があり、これに変えて銅合金を用いれば導電率
を50〜70%I A CS字と飛躍的に向上させるこ
とができるも、11212合金等の強度は一部の銅合金
を溶体化処理することにより達成可能な特性である。
しかして焼入れ、焼戻し等の溶体化処理は生産性を著し
く低下させるばかりか、製品価格を著しく高める欠点が
ある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明はこれに鑑み種々検討の結果、溶体化処理するこ
となく42合金と同等の強度及び耐熱性を示し、かつは
るかに優れた導電率を示す、電子機器用銅合金を開発し
たものであり、 1)  Ti 0.1〜L 0wt% (以下係と略記
)、Niα1〜30%、 Sn 0.1〜60係 を含
み残部錐と不可避的不純物からなる。
2)  Ti 0.1〜10%、 Nip、 1〜3.
0%、 Sn0、1〜6.0%、 Mg、 Zn、、 
Mn、 P、 M、M、 、 B、 Sb、 Te。
Si、 Co、 Al、 Zr(以下これ等をXと略記
)の内、何れか1種又は2種以上を合計で0.005〜
3.0チ含み残部Cuと不可避的不純物からなる。
以上の事を特徴とするものである。
〔作 用〕
CuにT1を添加するとCu−Ti化合物を作り、これ
をCu中に析出させると強度及び導電率が向上すること
が知られている。このような析出は高温にける溶体化水
焼入れとその後の時効処理により行ってお沙、溶体化に
よってT1をCu中に固溶させ、これを焼き入れ、時効
処理により伽中にCu−Ti化合物として析出させるこ
とにより、強度及び導電率を向上させたものである。本
発明はCuにTi。
Ni、 Sn 及び第5元素であるXを添加する事によ
り、高温の溶体化水焼入れ、時効処理を行うことなり、
Cu中に、T1含有化合物(Ti−Ni、 Ti−Ni
−3n。
Ti−N1〜X、 Ti−Ni−3n−X等)を析出せ
しめる事により、優れた特性を得だものである。
本発明合金の強度は、熱間加工と、その後の冷間加工と
焼鈍による、T1含有化合物の析出によシ向上させたも
ので、十分な強度を得たものである。
導電率は、T1含有化合物を析出せしめる事により著し
く向上させたものである。
次に耐熱性はリードフレームに要求される重要な特性の
一つであり、一般には1100〜500℃で十分である
とされている。このような耐熱性ばCuにT1を添加す
ることにより、すでにクリアーできるものである。しか
しT1添加量が1%を越えてくると、Cu−Ti合金の
耐熱性は650℃以上となり、製造工程における焼鈍温
度の上昇等エネルギー効率を悪化する。
そこで、本発明では、Ti、 Ni、 Sn 及びXを
添加する事により、焼鈍温度、時間の上昇を抑制し、エ
ネルギー効率の悪化を防ぐとともに、リードフレーム材
としての耐熱性も充分に確保している。
更にメッキ密着性()・ンダ付は性)、封止樹脂とのモ
ールド性は、リードフレームに必要な条件であり、メッ
キ密着性()・ンダ付は性)では基材とメッキ(・・ン
ダ)との界面、モールド性においては基材と酸化膜界面
での連続性が要求される。
しかして、半導体製造時における熱処理中に、基材(リ
ードフレーム)中の溶質元素が、界面に拡散し、脆性層
を生成してしまい、連続性を破るため、剥離やモールド
不良の原因となる。本発明では、これを防ぐため、Cu
中にTi−Ni、 Ti−Ni−3n。
Ti−Ni−8n−X、 Ti−N1〜X等のT1含有
析出物を形成し、溶質元素を固定化し、界面への拡散を
抑え、脆化をなくしたものである。
まだ、Mg、 Zn、 Mn、 P、 M、M、 、 
B、 Sb は脱酸剤として働き、本発明合金を安定し
て鋳造するに有意であるばかシでなく、Ti、 Ni、
 Sn  との相乗効果によって、特性の向上をはかつ
ている。
次に、本発明合金の組成を上記の如く限定したのは、T
i、 Ni、 Sn 含有量が0,1%未満では相乗効
果による特性の向上が見られないためであり、各々の請
求範囲を越えて、添加されると、鋳造性・加工性が著し
く低下し、製造が困難となるためであ・る。
また、X含有量を0. OO5〜3.0%と限定したの
は、O,OO5未満では、十分な効果が得られず、3、
0%を越えるとCu中において、過剰となシ、メッキ密
着性(・・ンダ付は性)、モールド性を低下させるため
である。
尚、本発明合金は、熱間加工後の冷間加工とI+00〜
800℃10秒〜560分間の焼鈍をくりかえし、最終
的に、2ooy5oo℃の焼鈍を行う事によって、より
優れた特性を得ることが可能となる。
以下本発明を実施例について詳細に説明する。
〔実施例〕
黒鉛ルツボを用いて銅を溶解し、その湯面を木炭粉末で
覆い、十分に溶解した後T1を添加し、ついでNi、 
Sn  次に第5元素であるXを添加して第1表に示す
組成の合金を溶製し、これを鋳造して巾150咽、厚さ
25 wn 、長さ200間の鋳塊を得た。
これを1面あたり2.5mm面削した後、熱間圧延し、
巾150m、厚さ8WMの板とした。これに冷間圧延と
中間焼鈍(600℃、1時間)を繰返し行ない、最終冷
間圧延によ540%の加工を行って厚さ0.25■の板
に仕上げた。
尚耐熱性は、前記圧延材よりJ I S −22201
に規定する引張り試験片を切り出し、これをアルゴン雰
囲気中で50分間加熱した時、引張強度が初期強度の7
0%となる温度である。
また密着性は、供試材よp30X30+n+nのサンプ
ルを切出し、表面清浄処理後、Agメッキを行い、これ
を大気中で加熱して、その後のメッキ表面の膨れを観察
したものであシ、550℃、5分間加熱で膨れの見られ
ないものを「良」、膨れが見られるものを「不良」とし
た。
酸化膜剥離性は、供試材より1010X50のサンプル
を切り出し、表面清浄処理後、大気中で420℃1分間
加熱し、表面に酸化膜を形成した後、セロテープによる
剥離試験を行い、はとんど剥離が見られないものを「良
」、全面に剥離しているものを「不良Jとした。
第1表から明らかなように、本発明合金Nα1〜1つは
、リードフレームとして十分な耐熱性を示し、従来合金
Nα24と比較して強度及びメッキ密着性、モールド性
は同等で、導電率は、はるかに優れていることが判る。
これに対し、Ti含有量の少ない比較合金Nα20では
、強度・メッキ密着性、耐熱性に劣り、更にT、含有量
の多い比較合金Nα22は鋳造性・加工性が悪く板材に
加工する事ができなかった。又、X含有量の多い比較合
金N[L25は、メッキ密着性・モールド性が劣ってい
る。
〔発明の効果〕
このように、本発明合金は、製造が容易でコストも易く
、導電率、引張強さ、メッキ密着性・モールド性及び耐
熱性にも優れておシ、リードフレーム及びコネクター等
の電子機器用材料に使用して、その薄肉化・小型化を可
能にするなど工業上顕著な効果を奏するものである。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)Ti0.1〜1.0wt%、Ni0.1〜3.0w
    t%、Sn0.1〜6.0wt%を含み、残部Cuと不
    可避的不純物からなる電子機器用銅合金。 2)Ti0.1〜10wt%、Ni0.1〜3.0wt
    %、Sn0.1〜6.0wt%、Mg、Zn、Mn、P
    、M.M、B、Sb、Te、Si、Co、Al、Zrの
    内何れか1種又は2種以上を、合計で0.005〜3.
    0wt%含み、残部Cuと不可避的不純物からなる電子
    機器用銅合金。
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