JPS6221557A - 静電記録ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、静電記録装置の書込み素子として用いられる
静電記録ヘッドに関し、特に生産性に優れ、低コスト化
及び小型化が可能な静電記録ヘッドに関する。

〔従来の技術〕

従来の静電記録装置の記録ヘッドとして、ドラムに定ピ
ンチでワイヤーを巻き付け、これを絶縁体でモールドし
てからドラムの長さ方向に切出すことによって製造され
る多針電極ヘッドがあるが、この多針電極ヘッドにあっ
てはヘッドと駆動回路との接続及びマトリックス配線の
ためのグルーピング工程の完全自動化が困難であったた
め、工程の大半が人手によって行われており生産性向上
の困難化とコストの増大という問題を有していた。

このようなところから、プリントによる微細加工技術を
用いて多針電極とその周辺回路を形成するプリント多針
電極が提案されており、このようなものとして“電気通
信研究所発行の研究実用化報告ｖｏｌ　２８．　Ｉｌｈ
　１　　’７９　’高速ファクシミリの走査記録方式Ｊ
”に記載されたものが存する。ここに記載されたプリン
ト多針電極は銅張り積層板上にフォトエツチングにより
記録電極と必要な配線を一括形成することにより製造さ
れ、プリント多針電極板上に一括形成されたマトリック
ス回路によって記録電極を選択駆動するように構成され
ている。

また特開昭５９−７３９６９号公報にもフォトエツチン
グ工程によって、絶縁基板の表面に平面状の記録電極と
、該記録電極の中心から左右に対向した平面状の電圧制
御電極とを、絶縁膜を介して層状に形成することによっ
て得られる静電記録ヘッドが開示されている。

これらの記録ヘッドは従来のワイヤーを用いたものに比
べて量産性、コスト、ヘッドの小型化等の点において利
点を有している。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような従来の静電記録装置の記録ヘ
ッドのうち、前記各文献に記載されたフォトエツチング
によるものにあっては、（イ）銅張り積層板を使用した
ものでは高解像度化が困難で、十分な放電面積の確保が
困姥であり、（Ｕ）平面状に記録電極を構成したもので
は、電極部を十分に確保できない為に耐久性低下が早く
、しかも該電極にソリが発生した場合等における電極の
矯正が困難である、という欠点があり、また後者の公報
に記載されたものは針電極と制御電極間の絶縁性が不十
分であるという欠点を有していた。

〔問題点を解決するための手段及び作用〕本発明は上記
に鑑みてなされたものであり、住産性向上、コスト低下
、小型化、信顛性及び安定性の向上を図るため、微細加
工技術によって基板上に多針電極の基部となる導体パタ
ーンその他のグルーピング配線を行い、各導体パターン
間に短絡防止用の壁を予め形成しておいてから該各導体
パターン上に電極を構成するニッケル等をメッキによっ
て一体形成するようにした静電記録ヘッドを提供するも
のである。

〔実施例〕

以下、本発明の静電記録ヘッドについて説明する。

第１図は本発明の静電記録ヘッド１を拡大して示したも
のであり、この静電記録ヘッド１を構成するマトリック
ス配線部Ａと多針電極部５は、セラミック、′或いはガ
ラス等から成る基板上に精細なパターニング技術によっ
て形成される。マトリックス配線部Ａから成るマトリッ
クス回路は、例えば、図示しないコネクタによって図示
しない制御回路に接続されることによって、多針電極部
５を駆動するように構成されている。第２図（イ）〜（
ニ）は第１図の多針電極部５を製造する手順を示す一実
施例であり、セラミックス、ガラス等の基板２上には微
細加工技術により多針電極の基部となる導体パターン３
及びマトリックス駆動のためのグルーピング回路を、例
えば、金によって多層状に形成する（　（イ）　）。（
ロ）は各導体パターン（多針電極の先＠）３間に針電極
同志の短絡を防止する為の壁４を形成する手順を示すも
ので、この壁４は等間隔をおいて形成された導体パター
ン間に位置する基板面（例えば４３μｍ幅）上にラミネ
ートされたドライフィルムフォトレジスト（例えば４０
μｍ厚）を所定のフォトマスクを用いて露光することに
よって焼付は形成される。次に、スルファミン酸ニッケ
ルメッキ液を用いて導体パターン３上にニッケルを厚肉
状（例えば４０μｍ厚）にメッキすることによって針電
極５を形成する（（ハ））。その後、ドライフィルムフ
ォトレジスト４を剥離することにより多針電極５の製造
が完了する（（ニ））。

符号５ａは電極５の先端部を示し、先端部５ａから放電
が行われる。次に、第３図（イ）〜（ニ）は制御電極お
よび同一面制御型静電記録ヘッドの作成手順を示し、（
イ）に示した金属ブロック１０はリン青銅を機械加工に
よって櫛歯状に形成したものであり、この金属プロツタ
１０を（０）のようにエポキシ樹脂１１によってモール
ディングすることによって（ハ）に示すような板状のブ
ロック体１２を成型した後、これをＡ−Ａ線に沿ってク
リスタルカッターを用いて切断する。こうして得られた
切断片１３を２個用いて、第２図（＝）で得られた多針
電極５をサンドイッチすることにより、図示しない駆動
回路と各電極とが開示しないフレキシブル回路によって
接続された静電記録ヘッドが得られる（第３図（＝））
。ここで、金属ブロック１０が制御電極となる。

以上の構成を有した静電記録ヘッドは、グルーピング配
線を微細加工技術によって行うと同時に導体パターン上
に厚メツキによって針電極を形成しているため、生産性
が高く、低コスト化、コンパクト化が可能で、しかも信
頼性が高いという利点を有している。特に、製造コスト
及び寸法は従来の１７５にすることが出来る。また、導
体パターン３上に任意の厚さく例えば４０μｍ）及び任
意の長さく５酊）で、針電極をメッキ形成することがで
きるため、解像度に対して十分な放電面積（例えば１２
ｄｏｔｓ／賞賞に対して４０μｍ×４０μｍ）を確保で
き、その結果として印字の信頼性を向上させることがで
きると同時に、針電極にソリが発生しても再研磨によっ
て、容易に修正することができる。

さらに短絡防止用の壁を形成してメッキの成長方向に規
制を加えながらメッキを行うため、不良品の発生を大幅
に低減することができる。

〔発明の効果〕

以上のように本発明の静電記録ヘッドによれば、微細加
工技術によって基板上に多針電極の基部となる導体パタ
ーンその他のグルーピング配線を行い、各導体パターン
間に短絡防止用の壁を予め形成しておいてから該各導体
パターン上に電極を構成するニッケル等をメッキによっ
て一体形成するようにしたため、生産性向上、コスト低
下、小型化、信頼性及び安定性の向」：を図ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の静電記録ヘッド全体の構成説明図、第
２図（イ）〜（ニ）は多針電極の製造手順の説明図、第
３図は（イ）〜（ニ）は同一面制御型静電記録ヘッドの
製造手順の説明図。 符号の説明 １　−−−−−−−一静電記録ヘソド ２−・−基板　　　　　３　−−−−−・−導体パター
ン４−・−壁　　　　　　５−・−針電極１０−・−−
−−−一金属ブロック（制御電極）１１−・−−−−−
・エポキシ樹脂　１２−−−−−−−ブロック体手続主
甫正書　（自発） 昭和６０年９月２日 昭和６０年特許願第１６１６８６号 ２、発明の名称 静電記録ヘッド ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 名　　称　　　富士ゼロックス株式会社４、代理人（〒
１０２） 住所　東京都千代田区一番町２２−１ 一番町セントラルビルディング ７、補正の内容 図面の第１図を別紙の通り補正する。 ８、添付書類の目録

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板上に所定の間隔を有して複数の針電極を並列
   に配置した静電記録ヘッドにおいて、 前記針電極は、基板上に印刷等の微細加工技術によって
   形成された導体パターンと、該導体パターン上に所定の
   厚さでメッキされたメッキ層とから構成されることを特
   徴とする静電記録ヘッド。
2. （２）前記メッキ層は、前記導体パターン間に隔壁を形
   成した後メッキされることによって構成されることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の静電記録ヘッド。